The untold story of House Bonder A game of thrones The untold story of House Bonder „High voltage, high pressure, high technology!”

Szervező: Daróczi Csaba Diák: Kadlecsik Ármin Szervező: Daróczi Csaba Mentor: Kárpáti Tamás MFA, Nyári Iskola 2013

Szeletkötés A szeletkötés fajtái: - Fúziós (Thermo-Kompressziós) - Szilícium Szilíciummal - Anódos - Szilícium üveggel Fogalma

Az eszköz Wafer bonder: Hőmérséklet Vákuum Fejnyomás Feszültség

Elökészület Fúziós (therm.-komp.) kötés - Si szelet előkészítése: Sav (H2NO3 100%) Mosás (DI vízzel) Plazma bombázás (felület aktivizálása) Hosszú hidratálás Szárítás (N2 gázzal) Illesztés & összenyomás (maszk illesztő eszközzel) Mehet a bonderbe!  Ember, hatalmas hülyeséget csináltál! Miért kellett? Ezt nem bondoltam át eléggé!

Az AFM Fúziós (therm.-komp.) kötés - Atomic force microscope: - Atomnyi tű - Letapogatás - Felszín kiértékelése - Si, SiO2, üvegszelet Fizikus vagyok, az AFM-mel dolgozom. Hű! Az Ask FM-nél?

Az AFM Fúziós (therm.-komp.) kötés Si szelet felülete: Ra: 0,253 nm Rms: 0,317 nm

Az AFM Fúziós (therm.-komp.) kötés SiO2 szelet felülete: Ra: 0,49 Rms: 0,68

Az AFM Fúziós (therm.-komp.) kötés Üvegszelet felülete: Ra: 2,0 nm Ra2: 0,4 nm Rms: 5,6 nm Rms2: 0,5 nm

A bonderban Fúziós (therm.-komp.) kötés Mi zajlik a bonderban? Szeletek összepréselése Hőközlés (500 ºC) Hidrofób/hidrofil felületek ↓ Fúzió (fusion) - Which one is the most convenient bond? - The cushion bond.

Elökészület Anódos kötés - Si szelet előkészítése: Nem szükséges komoly előkészület Nem olyan érzékeny a felületi simaságra Si- és üvegszelet illetsztése: Különleges üveglap magas alkáli (Na+ ion tartalom) Hosszú hidratálás Szárítás (N2 gázzal) Illesztés & összenyomás Mehet a bonderbe!  A marások előtt a védelem érdekében lakkot használunk. Nem hiszem el! Hiszen a chipeknek nincs is körmük…

A bonderban Anódos kötés Mi zajlik a bonderban? Sorrend (↑): Hot plate, Si, üveg, anód Feszültség kapcsolása Na+ ionok felfelé indulnak, O- marad. O- kötésbe lép a Si-vel → erős kovalens kötés

Saját munka Fúziós kötés Sikertelen fúziós kötés Látható Newton-gyűrűk Mit kapott Newton felesége az esküvőjén? Newton gyűrűt.

Saját munka Anódos kötés Legelső kötés (szimpla üveg & Si):

Saját munka Anódos kötés Sikeres (flow-cyto meter) anódkötés: Mert a fizikus nem mosdótükörben készít profilképet!

Saját munka Anódos kötés

Saját munka Anódos kötés

Köszönöm a megtisztelö figyelmet! Mi a neved? Bonder. Wafer Bonder.