LABORATÓRIUMI GYAKORLATOK Bohátka Sándor és Langer Gábor VákuumTECHNIKAi LABORATÓRIUMI GYAKORLATOK Bohátka Sándor és Langer Gábor 24 ÓRÁS KURZUS TANANYAGA A VÁKUUMTECHNIKA ÉS A VÁKUUMTECHNIKAI ALAPISMERETEK KURZUSOK GYAKORLATI KIEGÉSZÍTÉSÉRE TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő képzési és K+F feladatokra"

VákuumTECHNIKAi LABORATÓRIUMI GYAKORLATOK Bohátka Sándor és Langer Gábor BEVEZETŐ ÉS TARTALOMJEGYZÉK TÁMOP-4.1.1.C-12/1/KONV-2012-0005 projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő képzési és K+F feladatokra"

VÁKUUMTECHNIKA 24 órás kurzus, illetve Célja a VÁKUUMTECHNIKA 24 órás kurzus, illetve a VÁKUUMTECHNIKAI ALAPISMERETEK 12 órás kurzus elméleti oktatásának kiegészítése gyakorlatok elvégzésével, a legfontosabb vákuumtechnikai eszközök és eljárások gyakorlati megismertetése; Módszere a gyakorlatok elméleti hátterének ismertetése után a gyakorlat leírása olyan módon, hogy annak alapján a gyakorlat – oktató felügyelete mellett – önállóan elvégezhető legyen; Célközönsége a fent említett két kurzus bármelyikét vagy azzal egyenértékű, máshol tartott kurzust elvégzett hallgatók, szakemberek.

A-M2 1. 1. DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ ALKATRÉSZEINEK MEGISMERÉSE ÉS A SZIVATTYÚ ÖSSZESZERELÉSE 1.1. A DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ MŰKÖDÉSE 1.2. A DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ FELÉPÍTÉSE 1.3. A DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ ALKATRÉSZEI 1.4. A DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ ÖSSZESZERELÉSE 1.5. A GYAKORLAT MENETE A-M2 2. 2. PIRANI VÁKUUMMÉRŐ MEGISMERÉSE, BEÁLLÍTÁSA, MŰKÖDTETÉSE 2.1. HŐVEZETÉSES VÁKUUMMÉRŐK MŰKÖDÉSÉNEK ELVI ALAPJA 2.2. PIRANI VÁKUUMMÉRŐ 2.2.1. Szilárdtest Pirani mérőfej 2.3. TERMOKERESZTES (TERMOPÁR) VÁKUUMMÉRŐ 2.4. A PIRANI VÁKUUMMÉRŐ BEKAPCSOLÁSA ÉS HITELESÍTÉSE 2.5. A GYAKORLAT MENETE

A-M2 3. 3. DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚS NAGYVÁKUUM-RENDSZER ÜZEMELTETÉSE 3.1. DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚ MŰKÖDÉSI ELVE ÉS TULAJDONSÁGAI 3.2. A LABORATÓRIUMI GYAKORLAT DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚS RENDSZERÉNEK FELÉPÍTÉSE 3.3. SZÍVÓSEBESSÉG MÉRÉSE 3.4. A LABORATÓRIUMI GYAKORLAT DIFFÚZIÓS SZIVATTYÚS RENDSZERÉNEK MŰKÖDTETÉSÉVEL KAPCSOLATOS FELADATOK 3.4.1. A vákuumrendszer bekapcsolása és használata 3.4.2. Szívósebesség mérése a Vákuumkamra 1.-ben 3.4.3. A rendszer kikapcsolása A-M2 4. 4. FORGÓLAPÁTOS SZIVATTYÚ VÍZZEL SZENNYEZETT OLAJÁNAK MEGTISZTÍTÁSA GÁZBALLASZT ÜZEMMÓDBAN, ELLENŐRZÉSE NYOMÁSMÉRÉSSEL 4.1. FORGÓLAPÁTOS SZIVATTYÚ FELÉPÍTÉSE 4.2. KONDENZÁLÓDÓ GŐZÖK SZIVATTYÚZÁSA – GÁZBALLASZT 4.3. A GYAKORLAT MENETE

A-M2 5. 5. VÁKUUMTECHNIKAI KÖTÉSEK, TÖMÍTÉSEK, ÁTVEZETŐK, ÖSSZEKÖTŐ/ELZÁRÓ ESZKÖZÖK, ALKATRÉSZEK MEGISMERÉSE 5.1 KÖTÉSEK, TÖMÍTÉSEK, CSATLAKOZÓK, ÁTVEZETŐK 5.1.1. Oldható kötések 5.1.2. Fémtömítés – ultravákuum használatra 5.1.3. Egyéb fémtömítések ultravákuum használatra 5.1.4. Állandó kötések 5.1.5. Csatlakozások, átvezetők 5.1.5.1. Hajlékony csatlakozó elemek 5.1.5.2. Mozgásátvezetők 5.1.5.3. Szigetelt átvezetők 5.2. VÁKUUMTECHNIKAI ALKATRÉSZEK, ELEMEK 5.2.1. Szelepek 5.2.2. Zsilipek 5.3. A GYAKORLAT MENETE A-M2 6. 6.TURBÓMOLEKULÁRIS SZIVATTYÚVAL SZÍVOTT NAGYVÁKUUM-RENDSZER ÜZEMELTETÉSE 6.1. A TURBÓMOLEKULÁRIS SZIVATTYÚ MŰKÖDÉSI ELVE 6.2.TURBÓMOLEKULÁRIS SZIVATTYÚVAL SZÍVOTT VÁKUUMRENDSZER LEÍRÁSA 6.3. A GYAKORLAT MENETE

A-M2 7. 7. MÉRÉS KVADRUPÓL TÖMEGSPEKTROMÉTERREL (KTS) 7.1. TÖMEGSPEKTROMETRIAI ALAPFOGALMAK 7.2. A KVADRUPÓL TÖMEGSPEKTROMÉTER (KTS) FELÉPÍTÉSE 7.3. A MÉRŐRENDSZER 7.3.1. A mérőrendszer be- és kikapcsolása 7.3.2. A kvadrupól tömegspektrométer működtetése 7.4. MÉRÉSI FELADATOK KVADRUPÓL TÖMEGSPEKTROMÉTERREL 7.4.1. A KTS kezelőszervei és hatásainak megismerése 7.4.2. A KTS érzékenységének meghatározása A/mbar egységben 7.4.3. Az O2 és Ar izotópok kimutatása levegőben 7.4.4. A kimutatható legkisebb parciális nyomás meghatározása 7.4.5. A kimutatható legkisebb koncentráció meghatározása 7.4.6. Maradékgázok mérése A-M2 8. 8. LYUKKERESÉS 8.1. KERESŐGÁZ HASZNÁLATA 8.1.1. Keresőgáz kiválasztása 8.1.2. Keresőgáz alkalmazásának módja 8.2. A Pirani vákuummérő tulajdonságai

8.3. Az ionizációs vákuummérők tulajdonságai 8.4. A tömegspektrométerek tulajdonságai 8.5. Lyukkeresés hitelesítése 8.6. LYUKKERESÉSI GYAKORLATOK A-M2 9. 9. VÁKUUMRENDSZER ALKATRÉSZEINEK TISZTÍTÁSA MOSÁSSAL 9.1. A TISZTÍTÁS JELENTŐSÉGE 9.2. TISZTÍTÁSI SZEMPONTOK 9.3. A TISZTÍTÁS FOLYAMATA 9.3.1. Szemrevételezés 9.3.2. Mechanikus tisztítás 9.3.3. Kémiai tisztítás 9.3.3.1. Savak használata 9.3.3.2. Hegesztési beégések kezelése 9.3.4. Jelölések 9.3.5. Mosás 9.4. GYAKORLAT: EGY VÁKUUM-ALKATRÉSZ MOSÁSA A-M2 10. 10. VÁKUUMRENDSZER TERVEZÉSE ÉS ÖSSZEÁLLÍTÁSA MEGADOTT KÖVETELMÉNYEK ALAPJÁN, A VÁKUUMTECHNIKAI ESZKÖZÖKET GYÁRTÓ CÉGEK KATALÓGUSAINAK FELHASZNÁLÁSÁVAL

10.1. NAGYVÁKUUM-SZIVATTYÚ TÍPUSÁNAK KIVÁLASZTÁSA 10.2. ELŐVÁKUUM-SZIVATTÚ TÍPUSÁNAK KIVÁLASZTÁSA 10.3. VÁKUUMMÉRŐK KIVÁLASZTÁSA 10.4. A NAGYVÁKUUM OLDALON HASZNÁLT TÖMÍTÉS TÍPUSA 10.5. A TERVEZETT VÁKUUMRENDSZER VÁZLATA 10.6. A TERVEZETT VÁKUUMSZIVATTYÚK SZÍVÓSEBESSÉGÉNEK MEGHATÁROZÁSA 10.7. ALKALMAZANDÓ ZSILIP MÉRETÉNEK MEGHATÁROZÁSA 10.8. ELŐVÁKUUM-OLDALI CSATLAKOZÓK MÉRETÉNEK MEGADÁSA 10.9. A VÁKUUMEDÉNYEN LÉVŐ VÁKUUMMÉRŐ ÉS KÉZI SZELEP CSATLAKOZÓI 10.10. A VÁKUUMEDÉNYEN LEVŐ CSATLAKOZÓK 10.11. NÉHÁNY ÁLTALÁNOS MEGJEGYZÉS A VÁKUUMELEMEK MEGRENDELÉSÉHEZ 10.12. ÁRAJÁNLATKÉRŐ 10.13. A GYAKORLAT MENETE A-M2 11. 11. CSIGAVONALAS (SCROLL) SZIVATTYÚ TISZTÍTÁSA 11.1. A SPIRÁL VAGY CSIGAVONALAS (SCROLL ) SZIVATTYÚ MŰKÖDÉSI ELVE 11.2. A CSIGAVONALAS SZIVATTYÚ SZÉTSZERELÉSE 11.3. A GYAKORLAT MENETE

A-M2 12. 12. NYOMÁSMÉRÉS EGY FORGÓLAPÁTOS SZIVATTYÚVAL SZÍVOTT CSŐ KÉT VÉGÉN KÜLÖNBÖZŐ GÁZBEÖMLÉSEKNÉL; AZ ÁRAMLÁS JELLEGÉNEK MEGHATÁROZÁSA ÉS A CSŐ VEZETŐKÉPESSÉGÉNEK KISZÁMÍTÁSA A MÉRT NYOMÁSOKON 12.1. A VÁKUUMMÉRÉS ALAPJAI 12.2. A HŐVEZETÉSEN ALAPULÓ VÁKUUMMÉRŐK MŰKÖDÉSI ELVE 12.2.1. A Pirani vákuummérő használatával kapcsolatos megjegyzések 12.3. GÁZOK ÁRAMLÁSA 12.4. ÁRAMLÁSI TARTOMÁNYOK 12.4.1. Viszkózus (kontinuum) áramlás 12.5. GÁZVEZETÉKEK ÁRAMLÁSI VEZETŐKÉPESSÉGE ÉS ELLENÁLLÁSA 12.6. VÁKUUMSZIVATTYÚ SZÍVÓSEBESSÉGE 12.7. GÁZBEÖMLÉS, SZÍVÓSEBESSÉG MÉRÉSE 12.8. ÁRAMLÁS CSÖVEKBEN 12.8.1. Lamináris áramlás csövekben 12.8.2. Átmenet a molekuláris és a lamináris áramlási tartomány között csövekben (Knudsen-áramlás) 12.8.3. Molekuláris áramlás csövekben 12.9. MÉRÉSI ÖSSZEÁLLÍTÁS 12.10. A MÉRÉS MENETE 12.11. MÉRÉSI FELADATOK

A-M2 13. 13. SZÁMÍTÁSI FELADAT MEGOLDÁSA A-M2 14. 14. HIVATKOZOTT ÉS AJÁNLOTT IRODALOM JEGYZÉKE A-M2 15. 15. ÖNELLENÖRZŐ KÉRDÉSEK