Atomi rétegleválasztás Prezentálja: Kiss Fruzsina Mentorált: Dr. Baji Zsófia
Tartalom Mi is az ALD? Platina növesztés Átlátszó vezető ZnO növesztés AFM mérés Hidrotermális növesztés
Mi is az ALD? ALD (Atomic layer deposition)
Platina növesztés Elektrokémiai marás porózus Al2O3 Platina ALD leválasztás pórusokba
Átlátszó vezető ZnO növesztés Atomi rétegleválasztás (dietilcink+H2O) Rétegvastagság mérés (foto litográfiával+lépcső méréssel) Felület érdesség vizsgálata AFM-el Vezetőképesség vizsgálata Hall méréssel
AFM mérés
Hidrotermális ZnO növesztés
Köszönöm a figyelmet! Forrás: Képek: http://fizikaiszemle.hu/archivum/fsz1309/baji1309.html (letöltve:2016.06.23. 12:42) http://www.nist.gov/cnst/nanofab/bruker_xt.cfm (letöltve:2016.06.23. 15:00)