Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Nanotechnológiai kísérletek

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "Nanotechnológiai kísérletek"— Előadás másolata:

1 Nanotechnológiai kísérletek
Lévay Mátyás Udvardi Péter 1

2 Technológia Elektronsugaras litográfia 20nm-es pontosság
Viszonylag gyors eljárás 2

3 Alumínium réteg leválasztása
Lépései Tervezés Resist felvitele Expozíció Hordozó előkészítése Lift-off Alumínium réteg leválasztása Előhívás Kész

4 50µm×120µm méretű MFA felirat
Eredmény 50µm×120µm méretű MFA felirat

5 Mérések, ellenőrzés Optikai mikroszkóp Pásztázó elektronmikroszkóp
Atomi erő mikroszkóp (AFM)

6 Optikai mikroszkópos képek
Visszavert fénnyel Átmenő fénnyel

7 Pásztázó elektronmikroszkópos képek

8 AFM-es képek

9 Köszönjük a figyelmet és mentorainknak a segítséget!
Dr. Lukács István Dr. Volk János


Letölteni ppt "Nanotechnológiai kísérletek"

Hasonló előadás


Google Hirdetések