Gázérzékelők, mikroméretű eszközök kutatás-fejlesztése Budai Róbert-Mihály Kolozsvár, Apáczai Csere János E. L. (11.B) Témavezetők: Takács Máté és Bíró Ferenc
Gázérzékelők típusai Reakcióhő mérésén alapuló Vezetőképesség változásán alapuló Gázok hővezetésén alapuló
Pellisztor-chip felépítése: Spirál fűtőszál Felépítése: Tappancsok Membrán
Előállítása elektrokémiai oxidálás (anodizálás) Előállítása elektrokémiai oxidálás (anodizálás) 60 V – teljes oxidáció, vákum párologtatott alumínium filmből ALD platina katalizátor
Eredmények 1. A szenzor hőmérséklet és a leadott teljesítményt ábrázoltuk a relatív ellenállás függvényében.
Eredmények 2. Propán Be LEL: Alsó robbanási határ Fűtőfelület átlaghőmérséklet: 450 °C Katalizátor: Pt (ALD) Szintetikus Levegő Be
Köszönöm a figyelmet! Külön köszönet: dr Daróczi Csaba Sándor-nak, mentoraimnak és az MFA Intézetnek.