1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.

Az előadások a következő témára: "1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs."— Előadás másolata:

1 1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs

2 2 A pórusos szilíciumot elektrokémiai marással állítottuk elő. Elektrolizáló cella szerkezete:

3 3

4 4 Elektrokémiai marás Az elektrolizáló cellába különböző koncentrációjú HF elegyet önthetünk. A cella vezérlése számítógépel történik: Megadható az áramsűrűség, a marás ideje. A különböző paraméterkombinációk különböző struktúrákat eredményeznek.

5 5 Mezopórusos struktúra előállítása MFA emblémás p+ típusú Si szeleten Polírozott Si szelet termikus oxidációja Fotolitográfia: Lakkábra készítés MFA embléma maszkkal. polySi bevonat készítése Kémia: polySi marás, SiO 2 marás, elekrokémiai marás→a szeleten sötét háttér

6 6 Mezopórusos Si

7 7 Nanopórusos Si struktúra előállítása A Si szelet felületén apró hibahelyek helyezkednek el közel egymáshoz. Ezek közrezárnak kvantumméretű szemcséket, amelyek ezért nem vezetnek. Így az elektrokémiai marás csak a felületre merőlegesen történhet Pórusos szilícium képződik, miközben H 2 SiF 6 megy oldatba Kvantumméretű a falvastagság a PorSi-ban

8 8 Nanopórusos réteg passziválása anodikus oxidációval Lényege: pórusos Si stabilizálása, Elektrolumineszcencia vizsgálata Fotolumineszcencia vizsgálata

9 9 Pórusos Si felhasználási lehetőségei Feláldozható réteg 3D struktúrák előállításánál Vékony membránok előállításánál

10 10 Köszönet Vázsonyi Éva mentor Erős Magdolna Páyer Károlyné