Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola 2012.06.25.-2012.06.29.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Elektromos mező jellemzése
Advertisements

Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
A monolit technika alaplépései
Elektromos alapismeretek
Folyadékok vezetése, elektrolízis, galvánelem, Faraday törvényei
Dr. Mizsei János előadásai alapján készítette Balotai Péter
MIKROELEKTRONIKA 3. 1.Felületek, felületi állapotok. 2.Térvezérlés. 3.Kontakt effektusok a félvezetőkben. 4.MES átmenet, eszközök.
KOLLOID OLDATOK.
12. előadás Elektrosztatikus és mágneses mezők Elektronfizika
Készítette Varga István VEGYÉSZETI-ÉLELMISZERIPARI KÖZÉPISKOLA CSÓKA
ELEKTROMOS ÁRAM, ELEKTROMOS TÖLTÉS.
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
Nanorészecskés bevonatok Pósa Vivien, Bolyai Tehetséggondozó Gimn., Zenta Berekméri Evelin, Bolyai Farkas Elm. Lic., Marosvásárhely MFA Nyári Iskola 2013.
1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
VOLFRÁM-OXID NANOSZÁLAK VIZSGÁLATA ÉS ELŐÁLLÍTÁSA ELECTROSPINNINGEL MFA NYÁRI ISKOLA 2010 BALÁSI SZABOLCS JÚNIUS 25.
Szerkezeti színek a természetben
Biológiai vizsgálatok in situ ellipszometriával Bérces Klára Mentorok: Fodor Bálint, Patkó Dániel Deák Téri Evangélikus Gimnázium.
Mérések ellipszométerrel - Fehérjerétegek vizsgálata
Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Volfrám-oxid nanoszálak előállítása elektrospinninggel
 Selyemfonálra függesztünk egy alumíniumfonálból készített üreges hengert.  A henger nincs elektromosan töltve.  Elektromosan töltött rúddal közelítünk.
Coulomb törvénye elektromos - erő.
MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette:Gál Réka, g g g g g ____ rrrr eeee kkkk aaaa yyyy aaaa hhhh oooo oooo....
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-mel
Grafit vizsgálata STM-mel és AFM-mel Készítette: Kovács Máté, Tanára:Győri István, Ságvári Endre Gyakorló Gimnázium, Szeged.
Súrlódási jelenségek vizsgálata (Tribológia)
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet ● Magyar Tudományos Akadémia MFA Nyári Iskola ● Csillebérc (Bp) június 27.- július 1. ● „Tanuljunk.
Témavezető: Bíró Ferenc
Optikai rács kialakítása holográfiával
Ellipszométeres mérések Fehérjék és aminosavak leválasztása és optikai modell készítése Kovács Kinga Dóra ELTE Apáczai Csere János Gyakorlógimnázium és.
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Szerkezeti színek a természetben Témavezető: Kertész Krisztián.
Szerkezeti színek a természetben
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Hidroxiapatit alapú biokompatibilis nanokompozitok előállítása
Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Készítette: Horváth Balázs Batthyány Lajos Gimnázium,
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Megalehetőségek a nanovilágban
A főzőedénytől a nanoméretű eszközig: lépések a nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása felé Szemes Gábor Bence Garay János Gimnázium, Szekszárd MTA-MFA.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Az elektromos áram.
H3PO4 Hidrogén-foszfát Foszforsav
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 A pn átmenet működése: Sztatikus.
Szén nanoszerkezetekkel erősített szilícium nitrid alapú kerámiák vizsgálata Berezvai Orsolya Témavezető Dr. Tapasztó Orsolya Vékonyréteg-fizika osztály.
Elektromos áram, áramkör
a laboratórium egy chipen?
#07D – Nanorészecskék és filmjeik MFA Nyári Iskola Beszámoló #07D – Nanorészecskék és filmjeik Pusztai Árpád Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel.
Mágneses anyagvizsgálat és képalkotás Készítette: Oláh Attila Témavezető: Dr. Gasparics Antal MFA Nyári Iskola Csillebérc.
Elektromosságtan.
The untold story of House Bonder
I. Az anyag részecskéi Emlékeztető.
Gázérzékelők, mikroméretű eszközök kutatás-fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Fotonikus kristályok előállítása és vizsgálata
Balogh Ádám Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel
a laboratórium egy chipen?
Szerkezeti színek a természetben
Előadás másolata:

Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola

Tükörsimára polírozott szeletek szobahőmérsékleten egymáshoz tapadnak kötőanyagok nélkül. Hőkezelés hatására erősödik a kötés.

Mi is az a szeletkötés? Üveg anódos kötés Szilícium zárt üreg, alagút Chipek üveghordozón Tokozott chip Szilícium fúziós kötés

Anódos kötés Üveg negatív potenciál Nagy feszültség (500 – 2000V) Üvegben lévő Na + ionok az anód felé vándorolnak. Az érintkezési felület negatív töltésű lesz (Si pozitív). Coulomb-erő Létrejön a kötés

A nyári iskolában készített anódos kötés (1 db 500µm-es membrán struktúrájú szilícium és 1 db 500µm-es üvegszelet csatornákkal)

Termokompressziós kötés hidrofil felület szeletek összepréselése magas hőmérséklet (500°C) A nyári iskolában készített termokompressziós kötés (2db 200µm- es üveglap)

SÜSS MicroTech SB6L Wafer Bonder készülék

Kötések vizsgálata Newton-gyűrűk porszemcsék, gázbuborékok A Newton-gyűrűk üveg használatakor szabad szemmel láthatóak. Két szilícium szelet estén infravörös fénnyel megvilágítva válnak láthatóvá.

Kötés erősségének vizsgálata Szakító szilárdság méréseVizsgálat TEM-mel

Köszönöm a figyelmet! Köszönetnyilvánítás Köszönöm a lehetőséget, hogy részt vehettem a nyári iskolában. Külön köszönet Daróczi Csabának a táboroztatásért, és Kárpáti Tamásnak az egész heti munkájáért.