Az integrált áramkörök gyártása
Mi is az az integrált áramkör? Több, néha igen sok alapelemet tartalmazó egyetlen, nem osztható egységben elkészített áramkör. Gyártási technológia szerint megkülönböztetünk vastagréteg-, vékonyréteg- és félvezet ő alapú integrált áramköröket. Az els ő integrált áramkört Jack Kilby, a Texas Instruments mérnöke készítette 1958-ban
Hogyan készül? Planár technológia Planár szó: a gyártás síkbeli elrendezésben történik. Síkja: a félvezet ő szelet felülete. 2-12 átmér ő j ű kb. negyed milliméter vastag szeletek. 1 szeleten több ezer chip vagy die készül egyszerre.
A megmunkálás során a szeletek csoportosan járják végig a technológia lépéseit, egy ilyen csoport neve: party. Nagy tisztaság igény. Technológiai lépések: ún. tiszta szobában
Planár technológia
A planár technológia legfontosabb lépései: A szilícium szelet felületén szilícium-dioxid réteg kialakítása. A szilícium szelet felületén létrehozott oxidrétegből fotolitográfiai és maratási eljárással oxidmaszk kialakítása. Az adalékanyag (P vagy N típusú szennyező) bejuttatása az oxidmaszk nyílásán keresztül a kristályba.
Források a.html a.html _%C3%A1ramk%C3%B6r _%C3%A1ramk%C3%B6r a.ic1.pdf a.ic1.pdf
Köszönjük a figyelmet! Készítették: Istráb Anna és Burai Jenni