Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

MFA Nyári Iskola - 2010. június 21-25. - Beke Lilla 1 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Beke Lilla.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "MFA Nyári Iskola - 2010. június 21-25. - Beke Lilla 1 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Beke Lilla."— Előadás másolata:

1 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 1 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Beke Lilla Fazekas Mihály Gimnázium, Debrecen Témavezetők: Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Holczer Eszter

2 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 2 BIOMIMETIKA A természetben előforduló struktúrák tanulmányozásával, lemásolásával foglalkozó tudományág LÓTUSZ-EFFEKTUS A levélen a víz gömbölyű cseppeket alkot, amelyek könnyen legördülnek róla Oka: a leveleken szabálytalan oszlopocskák találhatók amiket egy viaszos réteg borít. Alkalmazás Öntisztuló ablaküveg, szélvédő, napelem Két egyensúlyi állapot: Lótuszlevél: a, SEM képe; b, SEM kép nagyobb nagyítással; c, vízcsepp lótuszlevélen Csepp a: Cassie állapotban; b, Wenzel állapotban

3 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 3 MESTERSÉGES MEGVALÓSÍTÁS Mikrotechnológia, MEMS technológia litográfia 3D marás Anizotróp marások: Marás sebessége irányfüggő KOH, NaOH - lúgos marószerek DRIE – Mély Reaktív Ionmarás

4 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 4 Szilícium hordozó Fotoreziszt (kb. 2  m vastag) Maszk SiO 2 (kb. 1  m vastag) Előhívás + oxidmarás Szilícium anizotróp marása: 1. KOH 2. NaOH + hipó 3. DRIE KOHNaOH + hipó v. DRIE MESTERSÉGES MEGVALÓSÍTÁS

5 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 5 KIALAKULT STRUKTÚRÁK NaOH + hipó egyenes állású maszk NaOH + hipó 45 o -kal orientált maszk DRIE egyenes állású maszk Fénymikroszkópos képElektronmikroszkópos kép

6 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 6 HIDROFÓB RÉTEG FELVITELE DRIE-ben: Plazma-polimerizált fluorokarbon Teflonszerű bevonat Vízcsepp kontaktszöge natív oxiddal borított szilíciumon (bal) és teflonnal borított sík szilíciumon (jobb)

7 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 7 SZUPERHIDROFÓB? vízcsepp alakja a teflonnal borított nyolcszögletű oszlopokon vízcsepp alakja a teflonnal borított négyzetes oszlopokon 3D strukturálás: NaOH + hipó:

8 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 8 SZUPERHIDROFÓB? 3D strukturálás: DRIE A legnagyobb elért kontaktszög ~170 o SZUPERHIDROFÓB! A kontaktszögek az oszloptávolságok függvényében: Oszlopfelület: 25x25  m2 Átmenet a Cassie állapotból a Wenzel állapotba

9 MFA Nyári Iskola június Beke Lilla 9 Köszönöm a figyelmet! Köszönöm a MEMS Labor minden dolgozójának segítőkészségét!


Letölteni ppt "MFA Nyári Iskola - 2010. június 21-25. - Beke Lilla 1 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással Beke Lilla."

Hasonló előadás


Google Hirdetések