Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése Készítette: Szécsi Péter Arany János Általános Iskola és Gimnázium 11/B Százhalombatta Témavezetőm:

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése Készítette: Szécsi Péter Arany János Általános Iskola és Gimnázium 11/B Százhalombatta Témavezetőm:"— Előadás másolata:

1 Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése Készítette: Szécsi Péter Arany János Általános Iskola és Gimnázium 11/B Százhalombatta Témavezetőm: Bíró Ferenc

2 Gázérzékelők típusai Mikropellisztor funkciója és előnyei:  Éghető és robbanásveszélyes gázok detektálása az alsó robbanási határ alatti koncentrációban.  Alacsony fogyasztású (néhányszor 10 mW)  Kisméretű 2 db fűtőtest (100 µm * 100 µm)  Nagy mennyiségben olcsón gyártható  MEMS technológia Hotplate és perforált típusú mikropellisztor SEM felvétele Optikaimikroszkópos felvétel egy telemembrános pellisztor párról Makropellisztor és szerkezete

3 Működési elve Mikropellisztor kalorimetrikus, elven működik A mérendő gáz fizikai-kémiai tulajdonságát használják fel a méréshez. 1.katalizált reakció során felszabaduló reakcióhő 2.elektromos ellenállás változás (wheatstone-híd kapcsolás) Hídegyensúly megváltozik, feszültség változás ΔV Referencia fűtőtest, nincs rajta katalizátor Katalizátor anyaggal ellátott fűtőtest

4 Telemembrános gázérzékelő platina TK meghatározása A mérőrendszer kapcsolása

5 Gázmérés Mérés menete: 1)propán-levegő keverék 2)Wheatstone-hídban ∆V változás 3)Ahol megnőtt a feszültség ott gázzal érintkezett a szenzor A mérőrendszer A gázmérőcella Gázmérés diagramon

6 Köszönetnyilvánítás Köszönöm a lehetőséget Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet vezetőjének, illetve az MFA Nyári Iskola szervezőinek, hogy megismerkedhettem az MFA-val és részt vehettem egy kutatási folyamatban. Továbbá köszönöm témavezetőmnek és a Mikrotechnológiai Osztály valamennyi munkatársának a segítségét. Köszönöm a figyelmet!


Letölteni ppt "Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése Készítette: Szécsi Péter Arany János Általános Iskola és Gimnázium 11/B Százhalombatta Témavezetőm:"

Hasonló előadás


Google Hirdetések