Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer"— Előadás másolata:

1 LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer
Tóth Attila Lajos

2 A nanotechnológia evolúciója
Egy áramköri elem: 1950 1960 1970 1980 1990 2000 ma holnap ? macska bolha sejt vírus atom A nanotechnológia evolúciója FIZIKA definíciója: (1) hasznos anyagok, eszközök és szerkezetek létrehozása az anyag nanométer méretekben történő megmunkálásával, valamint Elektro- technológia (2) az így kifejlesztett új tulajdonságok és jelenségek tanulmányozása és hasznosítása Elektronika Mikroelektronika BIOLÓGIA Anyag- mérnökség A biológiai elvek, a fizikai törvények és a kémiai tulajdonságok MÓDSZERES INTEGRÁLT KIHASZNÁLÁSA Sejtbiológia Kvantumelektronika Szenzorok Molekuláris biológia Elektronikus és fotonikus eszközök Funkconális molekula-mérnökség Biochipek ... Komplex- kémia Szupermolekuláris kémia KÉMIA

3 fizikai nanotech. példák

4 bio-fizikai nanotech. példák

5 Mikrotartományok vizsgálata  SEM
A hagyományos pásztázó elektron- mikroszkóp (SEM) jellemzői: sokoldalú felhasználhatóság 2-10 nm sugárátmérő de a hagyományos elektronoptika és az Eo ~ keV elektronenergia miatt nagy behatolási mélység ( nm) és nagy gerjesztett térfogat . keletkezik, ezért alkalmatlan nanoméretű objektumok vizsgálatára

6 Nanotartományok  FEG-SEM
Újtípusú elektronoptika: Téremissziós katód (FEG) (hideg / Schottky) Speciális lencserendszerek Immerziós kondenzor Immerziós objektiv Gemini Speciális (in lens) detektorok segítségével megvalósítható a nanoscope: 5 nm alatti felbontás 1 keV alatti energiákon, vagyis nanométeres gerjesztett térfogat

7 A FESEM primer elektronsugarának 0,1-5 keV közötti energiatartományát kihasználva az elektronok behatolási mélysége által meghatározott gerjesztett térfogat is nm nagyságrendbe kerül, ezáltal (1) a morfológiai képeken a létrehozott nano-objektumok megfigyelhetők, illetve nem átlátszóak (a sugár nem, vagy alig hatol át rajtuk), ezáltal a nanomegmunkáló rendszer működtetése megbízhatóan lehetővé válik. (2) a nem morfológiai jelek információs térfogatának mérete is az objektumok nagyságrendjébe kerül, ezáltal lokális fizikai alapkísérletek és technológiai mérések válnak lehetővé a nanoszerkezetek tulajdonságainak meghatározására.

8 fotonikus rendszer: lepkeszárny

9 fotonikus rendszer: lepkeszárny

10 szén nanocsövek

11 szén nanocsövek

12 pórusos Si töret

13 pórusos Si keresztmetszeti finomszerkezet

14 (FIB) : Ionsugaras marás
Nanomegmunkálás (1): Keresztsugaras elrendezés: Marás gallium ionokkal energia: 30 keV, sugárátmérő <10 nm Megfigyelés a SEM szekunder elektron képén (FIB) : Ionsugaras marás IN SITU ionsugaras marás (FIB) FOLYAMATOS nyomonkövetése a SEM NAGY FELOLDÁSÚ SEI képén

15 pórusos Si keresztmetszet Az ionsugaras bemetszés, majd a rákövetkező „előhívás” az MTA-MFA-ban Barna Árpád által kifejlesztett Ar ionágyúval történt

16 pórusos Si

17 pórusos Si keresztmetszet

18 (GIS) : reaktiv marás és depozició
Nanomegmunkálás (2): Gázbevezetés: W leválasztás Pt leválasztás SiO2 leválasztás Fém-marás Szigetelő-marás Speciális vákuumrendszer: (GIS) : reaktiv marás és depozició

19 elektronsugár alatti W depozició

20 pórusos Si horizontális marás és „gödör”

21 pórusos Si mart hosszmetszet

22 EREDMÉNY porózus Si marás
pórusos Si mart hosszmetszet EREDMÉNY porózus Si marás


Letölteni ppt "LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer"

Hasonló előadás


Google Hirdetések