Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer Tóth Attila Lajos

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer Tóth Attila Lajos"— Előadás másolata:

1 LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer Tóth Attila Lajos

2 FIZIKA BIOLÓGIA KÉMIA A nanotechnológia evolúciója (2) az így kifejlesztett új tulajdonságok és jelenségek tanulmányozása és hasznosítása Elektro- technológia Elektronika Mikroelektronika Anyag- mérnökség Kvantumelektronika Sejtbiológia Molekuláris biológia Funkconális molekula-mérnökség Komplex- kémia Szupermolekuláris kémia Szenzorok A biológiai elvek, a fizikai törvények és a kémiai tulajdonságok MÓDSZERES INTEGRÁLT KIHASZNÁLÁSA Elektronikus és fotonikus eszközök Biochipek... macska bolha sejt vírus atom Egy áramköri elem: ma holnap ? definíciója : (1) hasznos anyagok, eszközök és szerkezetek létrehozása az anyag nanométer méretekben történő megmunkálásával, valamint

3 fizikai nanotech. példák

4 bio-fizikai nanotech. példák

5 Mikrotartományok vizsgálata  SEM és nagy gerjesztett térfogat A hagyományos pásztázó elektron- mikroszkóp (SEM) jellemzői: • sokoldalú felhasználhatóság • 2-10 nm sugárátmérő de a hagyományos elektronoptika és az Eo ~ keV elektronenergia miatt • nagy behatolási mélység ( nm). keletkezik, ezért alkalmatlan nanoméretű objektumok vizsgálatára

6 Nanotartományok  FEG-SEM •Újtípusú elektronoptika: –Téremissziós katód (FEG) (hideg / Schottky) –Speciális lencserendszerek •Immerziós kondenzor •Immerziós objektiv •Gemini •Speciális (in lens) detektorok segítségével megvalósítható a nanoscope : 5 nm alatti felbontás 1 keV alatti energiákon, vagyis nanométeres gerjesztett térfogat

7 • A FESEM primer elektronsugarának 0,1-5 keV közötti energiatartományát kihasználva az elektronok behatolási mélysége által meghatározott gerjesztett térfogat is nm nagyságrendbe kerül, ezáltal •(1) a morfológiai képeken a létrehozott nano-objektumok megfigyelhetők, illetve nem átlátszóak (a sugár nem, vagy alig hatol át rajtuk), ezáltal a nanomegmunkáló rendszer működtetése megbízhatóan lehetővé válik. •(2) a nem morfológiai jelek információs térfogatának mérete is az objektumok nagyságrendjébe kerül, ezáltal lokális fizikai alapkísérletek és technológiai mérések válnak lehetővé a nanoszerkezetek tulajdonságainak meghatározására.

8 fotonikus rendszer : lepkeszárny

9

10 szén nanocsövek

11

12 pórusos Si töret

13 pórusos Si keresztmetszeti finomszerkezet

14 Nanomegmunkálás (1): • Keresztsugaras elrendezés: –Marás gallium ionokkal energia: 30 keV, sugárátmérő <10 nm –Megfigyelés a SEM szekunder elektron képén (FIB) : Ionsugaras marás • IN SITU ionsugaras marás (FIB) • FOLYAMATOS nyomonkövetése a SEM NAGY FELOLDÁSÚ SEI képén

15 pórusos Si keresztmetszet Az ionsugaras bemetszés, majd a rákövetkező „előhívás” az MTA-MFA-ban Barna Árpád által kifejlesztett Ar ionágyúval történt

16 pórusos Si

17 pórusos Si keresztmetszet

18 Nanomegmunkálás (2) : Gázbevezetés: – W leválasztás – Pt leválasztás – SiO2 leválasztás – Fém-marás – Szigetelő-marás (GIS) : reaktiv marás és depozició Speciális vákuumrendszer:

19 elektronsugár alatti W depozició

20 pórusos Si horizontális marás és „gödör”

21 pórusos Si mart hosszmetszet

22 EREDMÉNY porózus Si marás pórusos Si mart hosszmetszet


Letölteni ppt "LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer Tóth Attila Lajos"

Hasonló előadás


Google Hirdetések