Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel Készítette: Szigeti Bertalan György Veszprém, Lovassy László Gimnázium Tanárom: Varga Vince.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel Készítette: Szigeti Bertalan György Veszprém, Lovassy László Gimnázium Tanárom: Varga Vince."— Előadás másolata:

1 Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel Készítette: Szigeti Bertalan György Veszprém, Lovassy László Gimnázium Tanárom: Varga Vince

2 A makropellisztortól a mikropellisztorig Porózus Al 2 O 3 mátrixban diszpergált finomszemcsés Pt- katalizátor Pt fűtőszál 100  m 100 μm MEMS- technológia

3 A működési elv Levegő- éghető gáz keverék + Pt katalizátor Katalitikus égés Termikus energia felszabadulás Ellenállás változás – Wheatstone- híd Hőmérsékletváltozás okai: –Gázáramlás hűtőhatása –Környezet hőmérséklet változása

4 Gázérzékelő chipek előkészítése a teszthez  Egy szilícium-szeleten több száz egyforma chip  A szelet fűrészelése  Chipek válogatása ép hidak alapján

5 Chipek elektromos tesztelése Tűs mérővel mérjük a platina fűtőszálának ellenállását (jelenlegi technológiával átlagosan Ω)

6 Chipek termikus vizsgálata A hotplate fűtőellenállásának hőmérséklete a fűtőáram függvényében áramgenerátoros meghajtás esetén. A platina meander lineáris temperatúra koefficiense 1,9* /ºC.

7 Gázérzékelő chipek tokozása A chipek tokozása DIL16- os és TO12-es fémtokokkal történik. A chip kikötése 50µm-es alumíniumhuzallal

8 A katalizátor anyag felvitele és a kalcinálás folyamata A katalizátor alapanyaga hexaklór platinasav + Al 2 O 3 + oldószer (víz vagy glicerin) Passzív bevonat: Al 2 O 3 + víz Felvitele: dip&drop technika Kalcinálás (kiégetés): a hotplate saját fűtésével (áramgenerátor, mikroszkóp és színváltozás)

9 A gázérzékelés mikropellisztorral Tesztkamra Gázvezérlő rendszer Sűrített levegő Mérőgázok és szabályozók Keithley 2000 áramgenerátor Tömegáram szabályozók Mágnesszelepek

10 A tesztkamra és mérési paraméterek Mérőgáz: propángáz- sűrített levegő keveréke Pellisztor fűtőáram: 7 mA Gázciklusok: 4*60 s levegő, 3*60 s propán+levegő, 1*120 s propán+levegő

11 P+L

12 Köszönetnyilvánítás Először is köszönöm a lehetőséget a Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet vezetőjének, illetve Nyári Iskola szervező bizottságának, hogy részt vehettem az MFA-ban folyó kutatási munkában. Köszönöm a segítséget mentoromnak, Bíró Ferencnek és a Mikrotechnológia Osztály dolgozóinak, akik nélkül nem boldogultam volna. Köszönöm tanáromnak, Varga Vince Tanár Úrnak, hogy támogatott a tanulmányaim során. Végezetül köszönöm szépen a családomnak, hogy ezúttal is számíthattam rájuk.

13 Köszönöm szépen a figyelmet!


Letölteni ppt "Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel Készítette: Szigeti Bertalan György Veszprém, Lovassy László Gimnázium Tanárom: Varga Vince."

Hasonló előadás


Google Hirdetések