BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS

Az előadások a következő témára: "BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS"— Előadás másolata:

1 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás

2 Mi is az a lótusz-effektus?
Biomimetika – a „természet utánzása” Lótuszvirág Lehetőség: öntisztuló felületek (Barthlott & Ehler, 1977) Pl. szélvédő, textilek, napelemek Mi okozza? Mikro-nanostrukturáltság oszlopocskák viaszos réteggel borítva Hogyan? Kontaktszög Két egyensúlyi állapot: Wenzel Cassie-Baxter

3

4 Mesterséges megvalósítás –
Laboratóriumban Szilícium szeleten vékonyréteg mikromegmunkálással Maszktervezés Litográfia 3D marás: izotróp/anizotróp Anizotróp marások: Irányszelektív marás a. NaOH+hipó 0 fok, 45 fok maszk orientáció b. DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Szuperhidrofób felület feltétele: Strukturált, hidrofób réteg (C4F8)

5 Mintapreparáció Litográfiás maszk 1. Fotolitográfia Fotoreziszt SiO2
2. Oxidmarás Tömény HF NaOH + hipó DRIE – Mély Reaktív Ionmarás 3. Lúgos marás / DRIE

6 Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk
Fénymikroszkópos kép Elektronmikroszkópos kép Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk Lúgos marás, 45 fokban elforgatott maszk DRIE – Mély Reaktív Ionmarás

7 Hidrofób réteg szerepe

8 Kontaktszög – oszloptávolság összefüggése
DRIE - mart

9 BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Köszönöm a figyelmet! Köszönöm a MEMS Labor minden dolgozójának segítőkészségét! Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás