Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron."— Előadás másolata:

1 1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás

2 2 BIOMIMETIKA Mi is az a lótusz-effektus? -Biomimetika – a „természet utánzása” -Lótuszvirág -Lehetőség: öntisztuló felületek (Barthlott & Ehler, 1977) -Pl. szélvédő, textilek, napelemek Mi okozza? -Mikro-nanostrukturáltság -oszlopocskák viaszos réteggel borítva Hogyan? -Kontaktszög -Két egyensúlyi állapot: -Wenzel -Cassie-Baxter

3 3 BIOMIMETIKA

4 4 BIOMIMETIKA Mesterséges megvalósítás – Laboratóriumban Szilícium szeleten vékonyréteg mikromegmunkálással -Maszktervezés -Litográfia -3D marás: izotróp/anizotróp Anizotróp marások: Irányszelektív marás a. NaOH+hipó -0 fok, 45 fok maszk orientáció b. DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Szuperhidrofób felület feltétele: Strukturált, hidrofób réteg (C 4 F 8 )

5 5 BIOMIMETIKA Mintapreparáció Litográfiás maszk Fotoreziszt SiO 2 1. Fotolitográfia 2. Oxidmarás 3. Lúgos marás / DRIE Tömény HF a.NaOH + hipó b.DRIE – Mély Reaktív Ionmarás (1 µm)

6 6 BIOMIMETIKA Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk Lúgos marás, 45 fokban elforgatott maszk DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Fénymikroszkópos képElektronmikroszkópos kép

7 7 BIOMIMETIKA Hidrofób réteg szerepe

8 8 BIOMIMETIKA Kontaktszög – oszloptávolság összefüggése DRIE - mart

9 9 BIOMIMETIKA Köszönöm a figyelmet! Köszönöm a MEMS Labor minden dolgozójának segítőkészségét! Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken


Letölteni ppt "1 BIOMIMETIKA BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron."

Hasonló előadás


Google Hirdetések