MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.

Az előadások a következő témára: "MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr."— Előadás másolata:

1 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr. Pap Andrea

2 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 2 2 A szeletkötés felhasználási területei Összetett, többrétegű MEMS struktúrák kialakítása. Csomagolás, tokozás (packaging). 3D struktúrák kialakítása. Többrétegű áramkörök – összeköttetések kialakítása

3 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 3 3 Szeletkötések fajtái: Termokompressziós szeletkötés - Si -400°C, 4h, 1600mBar Anódos szeletkötés -Si - Pyrex üveg -380°C, 10 min, -1000V -380°C, 10 min, -2000V

4 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 4 4 Termokompressziós szeletkötés létrehozása 1.Szeletek előkészítése RCA tisztítással, majd kezelés ultrahangos rázóban 2.Szeletek behelyezése a szeletkötő berendezésbe, ami létrehozza az összeköttetést a két Si szelet között. Hidrofil, -OH csoportokat tartalmazó két Si felület között a végleges kötést Si-O-Si alakítja ki. 3.Minősítés

5 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 5 5 Szeletkötő berendezés

6 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 6 6 Vezérlőszoftver

7 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 7 7 Anódos szeletkötés létrehozása 1.Szeletek előkészítése RCA tisztítással 2.Si szelet és Pyrex üveg behelyezése a szeletkötő berendezésbe, ami létrehozza közöttük az összeköttetést. Az alkalmazott magas feszültség hatására ionáram indul meg az üveg és a Si (Na + és O 2- ) között. Végeredményként Si-O-Si kötés alakul ki. 3.Minősítés

8 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 8 8 Vizsgálat és minősítés infra kamerával Termokompressziós szeletkötés: Számított felületi energia: 8.57 N/m

9 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 9 9 Anódos szeletkötéskötés: a kötés olyan erős hogy a pengét nem tudtuk betolni a Si szelet és a Pyrex üveg közé Felületi energia: nagyságrendekkel nagyobb -1000V-on -2000V-on

10 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 10 MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – nickl.istvan@pr.hu 10 Köszönöm a figyelmet!