Cim Design flow, production flow, maszkok, technológia Tervezési szabályok, lambda. Pálcika diagram, alap layoutok1Fa03.27 P Layout tervezés, P&R1Fa03.30 H Layout reprezentáció és kezelés, DRC, Ext, LVS1Re04.03 P
Inverter layout
Proc1
Proc2
1
2
LOCOS Így nem
LOCOS
3
4 Etch thin oxide
4
4
5 p
6
7
Inv keresztmetszet
5 Mask 1 Mask 2
4 Mask 3
3 Mask 4
2 Mask 5
1 Mask 6
Mask 7
CMOS gate array
NOR A B Y VDD VSS
A B VDD VSS NAND Y
A VDD VSS Inverter Y
1 réteges szabályok Aktív PoliSi Fém Kontaktus
2 réteges szabályok Kontaktus Tranzisztor