Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
MIKROÖNTÖZÉS Lényege: a berendezés kis nyomáson (
Advertisements

Elektrotechnikai lemezek mágneses vizsgálata
Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
Energia a középpontban
A FLUIDUMOK SZÁLLÍTÁSA
A monolit technika alaplépései
A bolygók atmoszférája és ionoszférája
Budapest University of Technology and Economics Elektronikus Eszközök Tanszéke mikofluidika.eet.bme.hu Nagy átbocsátóképességű nanokalorimetriás Lab-on-a-Chip.
Dr. Mizsei János előadásai alapján készítette Balotai Péter
Tartalom A periódusos rendszer felfedezése
MIKROSZKÓPOS VIZSGÁLATOK
Intelligens anyagok.
A virtuális technológia alapjai Dr. Horv á th L á szl ó Budapesti Műszaki Főiskola Neumann János Informatikai Kar, Intelligens Mérnöki Rendszerek.
Levegőtisztaság-védelem 3. előadás Természetes és antropogén eredetű légszennyezők. Pont-,vonal-, diffúz források.
Levegőtisztaság-védelem 3. előadás Természetes és antropogén eredetű légszennyezők. Pont-,vonal-, diffúz források.
MOLNÁR LÁSZLÓ MILÁN adjunktus február 9.
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Volfrám-oxid nanoszálak előállítása elektrospinninggel
Elektronikus Eszközök Tanszék
Dr. Nagy Géza Csóka Balázs PTE TTK Általános és Fizikai Kémia Tanszék
Agy-számítógép interfész Önálló laboratórium Konzulens: Mészáros Tamás Készítette: Bartók Ferenc 2012 tavaszi félév.
Elektromos áram.
BrandFestivalDigital Magyarország internettérképe Ki van hatással kire? Kovács Márton Szonda Ipsos OPTE project: térkép a világhálóról(inverz)
Az oxigén 8. osztály.
MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
Súrlódási jelenségek vizsgálata (Tribológia)
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Témavezető: Bíró Ferenc
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
ZnO réteg adalékolása napelemkontaktus céljára
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Készítette: Horváth Balázs Batthyány Lajos Gimnázium,
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Szilícium egykristály előállítása
Megalehetőségek a nanovilágban
Kutatóegyetemi stratégia - NNA FELÜLETI NANOSTRUKTÚRÁK Dr. Harsányi Gábor Tanszékvezető egyetemi tanár Budapest november 17. Nanofizika, nanotechnológia.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 A pn átmenet működése: Sztatikus.
Nanotechnika az iparban és az autóiparban
Üledékes sorozatok tagolás - agyagindikátorok
Bevezetés a méréskiértékelésbe (BMETE80ME19) 2014/
Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
Szalisznyó László és segéde Takács Viktor. Feltalálója  Jack Kilby  Fizikus  Jack St. Clair Kilby amerikai fizikus volt, ő találta fel és hozta létre.
Klepács Márk 10.b Debrecen, Mechwart András Gépipari és Informatikai SzKI. Témavezető: Takács Máté Módszerek: Reakcióhő mérése alapján Vezetőképesség változása.
Ellipszometria laboratórium Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium Székesfehérvár Kopacz.
Ellipszometria laboratórium ELLIPSZOMETRIÁS MÉRÉSEK Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium.
Szilárd anyagok: 1.Felépítő részecskéik: a.Atomok: pl.: gyémánt: C, szilícium: Si, kvarc: SiO 2 b.Ionok: pl.:, mészkő: CaCO 3,mész: CaO, kősó: NaCl c.Fém-atomtörzsek:
Készítette: Sovák Miklós Konzulens: Dr. Kiss Endre
The untold story of House Bonder
Általános kémia előadás Gyógyszertári asszisztens képzés
A jövő Készítette: Bodó Beáta
Gázérzékelők Módszerek: Reakcióhő mérése alapján
Balogh Ádám Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel
Másodrendű kötések molekulák között ható, gyenge erők.
Méréstechnika 15. ML osztály részére 2017.
A félvezető dióda Segédanyag a Villamosmérnöki Szak Elektronika I. tárgyához Belső használatra! BME Villamosmérnöki és Informatikai Kar Elektronikus Eszközök.
Előadás másolata:

Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010

Wafer bonding (szeletkötés) Két tükörsimára polírozott szelet szobahőmérsékleten kötőanyag nélkül is egymáshoz tapad. A fizikai környezet megfelelő alakításával (pl.: hőkezelés) erősebbé tehető a kötés. Típusai: Közvetlen szeletkötés Közvetett szeletkötés Si fúziós kötése Elektrosztatikus kötés

Felhasználási területek Összetett, többrétegű MEMS [Mikro-(Opto-) Electro Mechanical Systems] struktúrák kialakítása Csomagolás, tokozás 3D struktúrák kialakítása Többrétegű áramkörök – összeköttetések kialakítása

Süss SB6L szeletkötő berendezés Süss Micro Tech SB6L Wafer Bonder készülék

Anódos szeletkötés Speciális összetételű üveg (magas alkáli-ion tartalom) Na + ionok mozgása – kiürített réteg jön létre Kötési felületnél maradó oxigén kötésbe lép a szilíciummal Kevésbé érzékeny a felületi simaságra

Szeletkötés Membránnal ellátott szilíciumszelet és bórüveg összekötése. Cél: atmoszférikustól eltérő nyomás létrehozása a membrán és az üveglap között.

Minősítés Szakítószilárdság mérése

Egyéb vizsgálati módszerek Infrakamerás – Newton gyűrűk „Pengés” módszer - felületi energia mérése

Tokozás 3D erőmérő tokozásai

Köszönöm a figyelmet!