Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette: Fehér Áron (Bolyai Farkas Elm. Líc.), Ódor Gergely (Fazekas Mihály Gy. Gimn.)

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette: Fehér Áron (Bolyai Farkas Elm. Líc.), Ódor Gergely (Fazekas Mihály Gy. Gimn.)"— Előadás másolata:

1 NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette: Fehér Áron (Bolyai Farkas Elm. Líc.), Ódor Gergely (Fazekas Mihály Gy. Gimn.) Tanárok: Papp Sándor, Dvorák Cecília Mentor: Fogarassy Zsolt

2 Bevezető A kutatás alatt két az intézetben folyó európai uniós projektbe is bekapcsolódtunk: – TEM-es vizsgálattal HIGH-EF (www.high-ef.eu) – HRTEM-es vizsgálattal Rodsol (www.rodsol.eu) Mindkét projekt célja újfajta napelem gyártási technológia kialakítása.

3 Ismerkedés Anyagtudományi ismeretek Mintakészítés, vékonyítás TEM és HRTEM működése és kezelése Diffrakció kiértékelő program – (intézetben kifejlesztett Process Diffraction) JEMS szimulációs program

4 Transzmissziós Elektronmikroszkóp Működése Üzemmódok – Képi A képsík leképezése – Diffrakciós A fókuszsík leképezése

5 A Vékonyfizika osztály feladata: a minták szerkezetének TEM- es vizsgálata A gyártási folyamat: Lézeres kezelés (Si kristályosítása) Vastagabb amorf Si réteg felvitele Amorf Si felvitele Epitaxiális kristályosítás Üveg hordozó TEM

6 Ragasztó Epitaxiálisan növesztett Si Lézerrel kristályosított Si (mag réteg) Üveg Epitaxiálisan növesztett Si Világos látóterű kép Ikrek

7 Extra reflexiók ikresedés hatására Az ikresedés hatására extra reflexiók jelennek meg az (1 1 1) típusú síkokra tükrözötten Az extra reflexiók alátámasztották a epitaxiális rétegben az ikrek jelenlétét [-1 1 0]-s zóna TEM Diffrakció

8 A Vékonyfizika osztály feladata: a minták szerkezetének TEM-es vizsgálata Gyártási folyamat: Si hordozó Au csepp katalizátor SiH 4 gáz Si bejut az Au aláSi szál növekedése A folyamat sikerességét a HRTEM-el vizsgáltuk HRTEM

9 Si szál Au

10 HRTEM Si nagyfelbontású rácsképe Amorf ragasztó

11 JEMS szimulációs program Szimuláció menete: 1.Kísérleti felvételek segítségével modellalkotás 2.Modell alapján atomi szintű szerkezeti felépítés 3.A kísérletben használt mikroszkóp paramétereivel a szimuláció

12 JEMS szimulációs program Kísérleti felvételek 0,5nm Szimuláció Magréteg Hőkezelt réteg

13 Összefoglalás Az elektronmikroszkóp segítségével információkat nyertünk a vizsgált minták mikroszkopikus tulajdonságairól A szimuláció hozzájárult az atomi szerkezet jobb megértéséhez. Mindezeket felhasználhatjuk a gyártási technológia optimalizálására.

14 Köszönetnyilvánítás Mentorunknak, Fogarassy Zsoltnak Tanárainknak, Papp Sándornak és Dvorák Cecíliának MFA Nyári Iskola szervezőinek, és az MFA intézetnek Osztályon dolgozó kollégáknak, külön köszönet Radnóczi György Zoltánnak Szüleinknek

15 Köszönjük a figyelmet!


Letölteni ppt "NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette: Fehér Áron (Bolyai Farkas Elm. Líc.), Ódor Gergely (Fazekas Mihály Gy. Gimn.)"

Hasonló előadás


Google Hirdetések