SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand. Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop.

Az előadások a következő témára: "SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand. Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop."— Előadás másolata:

1 SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand

2 Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop -1938 - M. von Ardenne – STEM megepitese -1942 – Zworykin -elso szilard felulet vizsgalata (RCA Lab. USA). -1988 – elso ESEM (environmental SEM) 1963

3

4 SEM felépítése -Detektorok -BSE (back scattered electron) -SEI (secondary electron imaging) -X-ray -EDS (Energy Dispersive Xray Spectroscopy) -WDS (Wavelength Dispersive Spectrometer) -Targyasztal - X, Y, Z - mozgatas

5 Minta előkészités - Minta elokeszitese - Minta felvitele a tartolemezre vagy epoxi gyantaba - Minta bevonasa (Au vagy C) -~20 nm bevonat -Vekonycsiszolatok eseten nem hasznalunk fedolemezt - Problemak - Ha a minta vizet tartalmaz - Homerseklet valtozasra erzekeny asvany -Alacsony nyomason vegbemeno atalakulasok

6

7 ESEM -ESEM (environmental scanning electron microscope) -A vakum hianya miatt nem hasznalhato a masodlagos elektron detektor -Masodlagos elektron (SE) detektor egy GDD (gaseous detection device) -Modositott BSE detektor

8

9

10 Bibliográfia http://en.wikipedia.org/wiki/File:Misc_pollen.jpg http://en.wikipedia.org/wiki/File:FEIQuanta3DFEG.jpg http://en.wikipedia.org/wiki/File:SEM_chamber1.JPG Dr. Forray Ferenc.: PDF