Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand. Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand. Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop."— Előadás másolata:

1 SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand

2 Bevezető M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop M. von Ardenne – STEM megepitese – Zworykin -elso szilard felulet vizsgalata (RCA Lab. USA) – elso ESEM (environmental SEM) 1963

3

4 SEM felépítése -Detektorok -BSE (back scattered electron) -SEI (secondary electron imaging) -X-ray -EDS (Energy Dispersive Xray Spectroscopy) -WDS (Wavelength Dispersive Spectrometer) -Targyasztal - X, Y, Z - mozgatas

5 Minta előkészités - Minta elokeszitese - Minta felvitele a tartolemezre vagy epoxi gyantaba - Minta bevonasa (Au vagy C) -~20 nm bevonat -Vekonycsiszolatok eseten nem hasznalunk fedolemezt - Problemak - Ha a minta vizet tartalmaz - Homerseklet valtozasra erzekeny asvany -Alacsony nyomason vegbemeno atalakulasok

6

7 ESEM -ESEM (environmental scanning electron microscope) -A vakum hianya miatt nem hasznalhato a masodlagos elektron detektor -Masodlagos elektron (SE) detektor egy GDD (gaseous detection device) -Modositott BSE detektor

8

9

10 Bibliográfia Dr. Forray Ferenc.: PDF


Letölteni ppt "SEM Jakab Attila Kis Péter Lorand. Bevezető -1935 - M. Knoll (nemetorszag) - SEM alapelve -SEM (Scaning Electron Microscopy) = Pasztazo elektron mikroszkop."

Hasonló előadás


Google Hirdetések