A főzőedénytől a nanoméretű eszközig: lépések a nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása felé Szemes Gábor Bence Garay János Gimnázium, Szekszárd MTA-MFA Nyári iskola ‘10 MFA mentor: Nguyen Quoc Khánh
Hova kerültem? MTA MFA - Kerámia és Nanokompozitok Osztály Milyen témához? ZnO nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása MTA-MFA Nyári iskola ‘10
Hogy néz ki az ilyen bioszenzor? MTA-MFA Nyári iskola ‘10 Amikor a detektálandó részecske rátapad a szálra, a szál ellenállása megváltozik! Detektálandó biorészecske Fogó (receptor) Kontaktus ZnO nanoszál
Növesztés Oldat: Zn nitrát vizes oldata Szubsztrát: Si/ZnO T:95C t:13h
1 mmol 5 mmol 20 mmol
5 mmol
1 mmol
Rázás Ultrahang Etil alkohol
Szálainkat rácseppentése a chipre
Szálaink keresése a LEO-ban
ZnO nanoszál Si SiO 2
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
Si ZnO nanoszál Rezisztréteg Fém SiO 2
ZnO nanoszál Rezisztréteg Fém Aceton Si SiO 2
Fém ZnO nanoszál Si SiO 2
Reziszt réteg feltétele
Kontaktustervezés
Elektronnyalábos litográfia
Rezisztréteg előhívás után
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
Fémezés
Acetonfürdő (Lift-off) Idő híjján elmaradt
Élményeim Jó volt!
Köszönöm Dr. Nguyen Quoc Khanh mentoromnak munkavezetésért Dr. Lukács Istvánnak SEM képekért és elektronnyalábos litográfiában nyújtott segítségéért Dr. Molnár Györgynek a fémréteg párologtatásáért Dr. Daróczi Csabának a nyáriiskola szervezéséért MFA vezetőségének a lehetőségért, hogy itt lehettem És mindazoknak akik segítettek
Köszönöm a figyelmet