Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Fluoreszcens mérőkészülék a fluoreszcencia-dinamika kiszajú mérésére kis festék (bead) koncentrációk esetére November 4. Zelles Tivadar, Offenmüller.
Advertisements

Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
Nanométeres oxidáció gyors hőkezeléssel
Pincehely Lakhely, általános iskola Ozora.
8.C OSZTÁLY KÉSZÍTETTE: KUTTOR CSABA. TALÁLKOZÁSUNK M ár óvodában is összetalálkoztunk, de más-más csoportokban voltunk. Az 1. osztályban találkoztunk,
Az elektrosztatikus feltöltődés keletkezése
AZ ÉGHAJLATOT KIALAKÍTÓ TÉNYEZŐK IV.
STM nanolitográfia Készítette: VARGA Márton,
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Transzmissziós elektronmikroszkóp
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
VOLFRÁM-OXID NANOSZÁLAK VIZSGÁLATA ÉS ELŐÁLLÍTÁSA ELECTROSPINNINGEL MFA NYÁRI ISKOLA 2010 BALÁSI SZABOLCS JÚNIUS 25.
Szerkezeti színek a természetben
Mérések ellipszométerrel - Fehérjerétegek vizsgálata
Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése
Készítette: VÁLI Tamás, MTA TTK MFA, H-1525 Budapest, Pf. 49.
Volfrám-oxid nanoszálak előállítása elektrospinninggel
Kémiai baleset egy fővárosi gimnáziumban, öten megsérültek
A DURATT keretében megvalósuló anyagtudományi modellezés GLEEBLE technikai bemutatása Magyar Öntészeti Szövetség, Ráckeve, 2008 Készítette: Jenei István.
MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette:Gál Réka, g g g g g ____ rrrr eeee kkkk aaaa yyyy aaaa hhhh oooo oooo....
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-mel
Súrlódási jelenségek vizsgálata (Tribológia)
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet ● Magyar Tudományos Akadémia MFA Nyári Iskola ● Csillebérc (Bp) június 27.- július 1. ● „Tanuljunk.
Témavezető: Bíró Ferenc
Frank György, Berzsenyi Dániel E. Gimnázium, Sopron
Optikai rács kialakítása holográfiával
Ellipszométeres mérések Fehérjék és aminosavak leválasztása és optikai modell készítése Kovács Kinga Dóra ELTE Apáczai Csere János Gyakorlógimnázium és.
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Szerkezeti színek a természetben Témavezető: Kertész Krisztián.
Szerkezeti színek a természetben
Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Szerkezeti színek a természetben
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Hidroxiapatit alapú biokompatibilis nanokompozitok előállítása
Az anyagok részecskeszerkezete
Villamos tér jelenségei
A főzőedénytől a nanoméretű eszközig: lépések a nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása felé Szemes Gábor Bence Garay János Gimnázium, Szekszárd MTA-MFA.
Tájföldrajzi megfigyelések a Szentendrei-szigeten
Képződéshő kiszámítása gyors és pontos módszerrel
Szén nanoszerkezetekkel erősített szilícium nitrid alapú kerámiák vizsgálata Berezvai Orsolya Témavezető Dr. Tapasztó Orsolya Vékonyréteg-fizika osztály.
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
Elektromos áram, áramkör
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
Ionok, ionvegyületek Konyhasó.
#07D – Nanorészecskék és filmjeik MFA Nyári Iskola Beszámoló #07D – Nanorészecskék és filmjeik Pusztai Árpád Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel.
Mágneses anyagvizsgálat és képalkotás Készítette: Oláh Attila Témavezető: Dr. Gasparics Antal MFA Nyári Iskola Csillebérc.
Molekula A molekula semleges kémiai részecske, amely két vagy több atom összekapcsolódásával alakul ki.
The untold story of House Bonder
JELÖLÉSMENTES BIOSZENZORIKAI MÉRÉSEK
Gázérzékelők, mikroméretű eszközök kutatás-fejlesztése
Gázérzékelők, mikroméretű eszközök kutatás-fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Fotonikus kristályok előállítása és vizsgálata
8. AGY „Digitális technikák fejlődése az anyagvizsgálatban”
Balogh Ádám Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel
Másodrendű kötések molekulák között ható, gyenge erők.
Szerkezeti színek a természetben
Szigetelő anyagok ionnyalábos analízise Fizikus vándorgyűlés, Szeged augusztus Szilágyi Edit, Kótai Endre MTA Wigner FK, Nukleáris Anyagtudományi.
NANOMECHANIKAI KÍSÉRLETEK
3. osztályban.
Előadás másolata:

Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás 2011. június 27 – július 1. MFA Nyári Iskola

Kapacitív nyomásmérő kialakításának folyamata mikrotechnológiai szeletkötéssel Si szelet üveg szelet bondolás darabolás chip tokozás

Anódos szeletkötés Üveg szelet Borofloat 33, 500µm vastagság Si szelet Az üvegben, az elmozduló Na+ ionok helyhez kötött negatív töltésű oxigén molekulákat hagynak hátra. Ezáltal a két szelet között elektrosztatikus vonzó erő jön létre.

Alkalmazott berendezések

Összekötött szeletpár

Illesztés, hibajelenségek Szeletillesztés Newton gyűrűk Lyukas membrán

A kötés paraméterei: Hőmérséklet: 200 °C Feszültség: -1000 V Idő: 40 min Vákuum: 10-3 mbar Présnyomás: 1000 mbar A kötés erőssége szakítószilárdság méréssel: 34 MPa (1 chip)

MEMS kapacitív nyomásmérő 100°C feletti működés 1000 mbar alatti méréstartomány kapacitív mérési elv

Köszönöm a figyelmet! Köszönetnyilvánítás Az MFA-nak a Nyári Iskola lehetőségéért; Daróczi Csaba Sándornak a segítségéért; mentoromnak, Kárpáti Tamásnak; Erős Magdolnának; és a Mikrotechnológiai osztály összes dolgozójának.