MFA Nyári Iskola - 2009. június 22-26. - Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
„Esélyteremtés és értékalakulás” Konferencia Megyeháza Kaposvár, 2009
Advertisements

Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
Nanométeres oxidáció gyors hőkezeléssel
Pincehely Lakhely, általános iskola Ozora.
MIKROÁRAMKÖRI TECHNOLÓGIÁK
16. Speciális nyomtatott huzalozások és technológiájuk
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
STM nanolitográfia Készítette: VARGA Márton,
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Optikai rács kialakítása holográfiával
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szén erősítésű kerámia kompozitok és grafit nanoréteg előállítása
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
Nanorészecskés bevonatok Pósa Vivien, Bolyai Tehetséggondozó Gimn., Zenta Berekméri Evelin, Bolyai Farkas Elm. Lic., Marosvásárhely MFA Nyári Iskola 2013.
1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
VOLFRÁM-OXID NANOSZÁLAK VIZSGÁLATA ÉS ELŐÁLLÍTÁSA ELECTROSPINNINGEL MFA NYÁRI ISKOLA 2010 BALÁSI SZABOLCS JÚNIUS 25.
Mérések ellipszométerrel - Fehérjerétegek vizsgálata
Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Volfrám-oxid nanoszálak előállítása elektrospinninggel
MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM Készítette:Gál Réka, g g g g g ____ rrrr eeee kkkk aaaa yyyy aaaa hhhh oooo oooo....
SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón Készítette: Bucz Gábor, Földes Ferenc Gimnázium Tanára: dr. Zsúdel László, Földes Ferenc.
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet ● Magyar Tudományos Akadémia MFA Nyári Iskola ● Csillebérc (Bp) június 27.- július 1. ● „Tanuljunk.
Témavezető: Bíró Ferenc
Optikai rács kialakítása holográfiával
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
Ellipszométeres mérések Fehérjék és aminosavak leválasztása és optikai modell készítése Kovács Kinga Dóra ELTE Apáczai Csere János Gyakorlógimnázium és.
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
NAGYFELBONTÁSÚ ELEKTRONMIKROSZKÓPIA és a JEMS SZIMULÁCIÓS PROGRAM
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Készítette: Horváth Balázs Batthyány Lajos Gimnázium,
Készítette: Földváry Árpád
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Technológia: alaplépések,
Bipoláris technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
Mikroelektronikába: technológiai eljárások
Megalehetőségek a nanovilágban
Új technológiák elterjedésének modellezése
Vezeti: Szigetváriné Söjtöry Andrea
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 10.
NP Fotolitográfia Történetileg a litográfia olyan nyomtatási eljárás, amely a víz és olaj kémiailag eltérő tulajdonságain alapul. Photo-litho-graphy: latin:
Anyagtudományi vizsgálati módszerek
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Technológia: alaplépések,
Szén nanoszerkezetekkel erősített szilícium nitrid alapú kerámiák vizsgálata Berezvai Orsolya Témavezető Dr. Tapasztó Orsolya Vékonyréteg-fizika osztály.
hatásterület lehatárolása az IMMI 2011 szoftver segítségével
1 13. AZ OBJEKTÍV LÁTÓSZÖGE Jegyzet Készítette: Nikli Károly 2013.
7. Litográfiai mintázatkialakítási eljárások. Nedves kémiai maratás.
a laboratórium egy chipen?
Az integrált áramkörök gyártása. Mi is az az integrált áramkör?  Több, néha igen sok alapelemet tartalmazó egyetlen, nem osztható egységben elkészített.
Ellipszometria laboratórium Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium Székesfehérvár Kopacz.
Ellipszometria laboratórium ELLIPSZOMETRIÁS MÉRÉSEK Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium.
Mágneses anyagvizsgálat és képalkotás Készítette: Oláh Attila Témavezető: Dr. Gasparics Antal MFA Nyári Iskola Csillebérc.
Egervari Pénelopé Magdolna
Nanotechnológiai kísérletek
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Fotonikus kristályok előállítása és vizsgálata
Balogh Ádám Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel
a laboratórium egy chipen?
Előadás másolata:

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva, Erős Magdolna

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 2 A fotólitográfia : Foto = fényLito = kőGráfia = írás A szilícium szeletre felvitt vékonyrétegek (SiO 2, Si 3 N 4, SiN x, Al, stb…) megmunkálásának technológiája.

3 Az ábrakészítés folyamatai 1.Szelettisztítás 2.Dehidratálás (300 o C vagy 900 o C) 3.Adhézió növelő réteg felvitele 4.Fotoreziszt felvitele 5.Szárítás (hotplate)

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 4 Az ábrakészítés folyamatai 6. Megvilágítás 7. Előhívás 8. Beégetés

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 5 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 6 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata 4,8  m Alulvilágított Optimális Széles időtartomány áll rendelkezésünkre, ahol pontos a leképezés.

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 7 5  m-es szélességű vonal leképezésének vizsgálata Adott tartományban a lakkvastagság nem befolyásolja a leképezés pontosságát.

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 8 5  m-es ábra esetén az eltérés 0,1  m, ami elhanyagolható. Megfelelő: a maszkillesztő berendezés optikai rendszere a szilícium és a maszk összeszorítása kontakt állásban a lakk minősége

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 9 Hajrá csapat!

MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 10 Köszönöm a figyelmet! Készítette: Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva, Erős Magdolna