Elektronikus Eszközök Tanszék

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
Advertisements

LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer
A monolit technika alaplépései
Talajvízszintet stabilizáló visszatöltés bányatavak közelében Dr. Csoma Rózsa egyetemi docens BME Vízépítési és Vízgazdálkodási Tanszék.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Termikus kérdések, termikus elvű alrendszerek.
Az optikák tulajdonságai
Budapest University of Technology and Economics Elektronikus Eszközök Tanszéke mikofluidika.eet.bme.hu Nagy átbocsátóképességű nanokalorimetriás Lab-on-a-Chip.
MEMS alkalmazása az űrben
MEMS mikrorelé és nanorelé MEMS mikrorelé: Bognár György NEMS nanorelé: Szabó Péter VLSI előadás Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem.
Bipoláris integrált áramkörök alapelemei
MOS integrált áramkörök alkatelemei
MIKROÁRAMKÖRI TECHNOLÓGIÁK
Feladatok Mikro és nanotechnika pót ZH-ra na meg pótpótZH-ra 
Si egykristály előállítása
CMOS technológia a nanométeres tartományban
Szélességi bejárás , 0.
NC - CNC.
Ez a dokumentum az Európai Unió pénzügyi támogatásával valósult meg. A dokumentum tartalmáért teljes mértékben Szegedi Tudományegyetem vállalja a felelősséget,
Színfurnér-gyártás Kétszer késelt furnér (Többször késelt furnér)
TRANSZMISSZIÓS ELEKTRONMIKROSZKÓP (TEM)
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
MOS integrált áramkörök Mikroelektronika és Technológia BME Elektronikus Eszközök Tanszéke 1999 október.
A nyomás összefoglalás
EJF Építőmérnöki Szak (BSC)
EJF VICSA szakmérnöki Vízellátás
EJF Építőmérnöki Szak (BSC)
Ismétlő kérdések 1. Mennyi helyzeti energiát veszít a húgod, ha leejted őt valahonnan? Hegedül-e közben? 2. Számold ki az Einstein tétel segítségével a.
Szemelvények törésmechanikai feladatokból Horváthné Dr. Varga Ágnes egyetemi docens Miskolci Egyetem, Mechanikai Tanszék.
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Témavezető: Bíró Ferenc
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Az elektrosztatikus mozgatás Székely Vladimír Mizsei.
Termomechanikus aktuátorok BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Székely Vladimír Budapest, 2007.
A fésűs meghajtó Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx.
Bipoláris integrált áramkörök alapelemei Elektronika I. BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Mizsei János 2004.március.
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
RF MEMS Microrelays Készítette: Bognár György 2003 május 6. VLSI előadás Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Integrált mikrorendszerek:
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Mikroelektronikába: technológiai eljárások
Numerikus módszerek az elektromágneses térszámításban Dr
Megalehetőségek a nanovilágban
Csapágyak-1 Csapágyakról általában Siklócsapágyak.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 10.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 A pn átmenet működése: Sztatikus.
AUTOMATIKAI ÉPÍTŐELEMEK Széchenyi István Egyetem
IN-SITU MIKROMECHANIKAI DEFORMÁCIÓK Hegyi Ádám István május 27.
Gördülőelemes hajtómű
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
A FONTOSABB MÓDSZEREK:
Digitális tábla az oktatásban Class Mate PC és a digitális tábla alkalmazása az iskolai tanórán.
Vállcsapágyak miniatűr kivitelben
Gázérzékelők Módszerek: Reakcióhő mérése alapján
Skála és mutató elemek A tiszta látás távolsága: 25 cm
Automatikai építőelemek 6.
Automatikai építőelemek 3.
Automatikai építőelemek 3.
Automatikai építőelemek 6.
Előadás másolata:

Elektronikus Eszközök Tanszék INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems Elektronikus Eszközök Tanszék 1999

Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m HOGYAN KÉSZÜL?

A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függő, szelektív marás A felület: <100> sík <111> síkok

Alkalmazás: gyorsulásmérő, rezgésmérő Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelő (hídkapcsolásban)

A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO2 a poli alatt

Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat

Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés

Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés

Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor

A mikro-motor légrése és csapágyazása

Elektrosztatikus mozgatás: billenőtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System

A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!