Elektronikus Eszközök Tanszék INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems Elektronikus Eszközök Tanszék 1999
Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!
Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m HOGYAN KÉSZÜL?
A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függő, szelektív marás A felület: <100> sík <111> síkok
Alkalmazás: gyorsulásmérő, rezgésmérő Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelő (hídkapcsolásban)
A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO2 a poli alatt
Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat
Függesztett membrán, feláldozandó réteggel
Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés
Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés
Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor
A mikro-motor légrése és csapágyazása
Elektrosztatikus mozgatás: billenőtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System
A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!