1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs
2 A pórusos szilíciumot elektrokémiai marással állítottuk elő. Elektrolizáló cella szerkezete:
3
4 Elektrokémiai marás Az elektrolizáló cellába különböző koncentrációjú HF elegyet önthetünk. A cella vezérlése számítógépel történik: Megadható az áramsűrűség, a marás ideje. A különböző paraméterkombinációk különböző struktúrákat eredményeznek.
5 Mezopórusos struktúra előállítása MFA emblémás p+ típusú Si szeleten Polírozott Si szelet termikus oxidációja Fotolitográfia: Lakkábra készítés MFA embléma maszkkal. polySi bevonat készítése Kémia: polySi marás, SiO 2 marás, elekrokémiai marás→a szeleten sötét háttér
6 Mezopórusos Si
7 Nanopórusos Si struktúra előállítása A Si szelet felületén apró hibahelyek helyezkednek el közel egymáshoz. Ezek közrezárnak kvantumméretű szemcséket, amelyek ezért nem vezetnek. Így az elektrokémiai marás csak a felületre merőlegesen történhet Pórusos szilícium képződik, miközben H 2 SiF 6 megy oldatba Kvantumméretű a falvastagság a PorSi-ban
8 Nanopórusos réteg passziválása anodikus oxidációval Lényege: pórusos Si stabilizálása, Elektrolumineszcencia vizsgálata Fotolumineszcencia vizsgálata
9 Pórusos Si felhasználási lehetőségei Feláldozható réteg 3D struktúrák előállításánál Vékony membránok előállításánál
10 Köszönet Vázsonyi Éva mentor Erős Magdolna Páyer Károlyné