1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Galvánelemek és akkumulátorok
Advertisements

GTO-k SZERKEZETE Négyrétegű félvezető
Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer
A monolit technika alaplépései
TÁMOP /1-2F Analitika gyakorlat 12. évfolyam Vegyipari termékek hatóanyag- tartalmának meghatározása Fogarasi József 2009.
Folyadékok vezetése, elektrolízis, galvánelem, Faraday törvényei
Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC Okt 18. BME.
Elektrokémiai és árammentes rétegfelviteli eljárások
Rétegmegmunkálás marással
12 Elektromos korrózióvédelem
Borland C/C++ mintapéldák struktúrákra. 1. példa /* Egyszerû példa a struktúrák használatára */ #include #define SIZE 5 struct szemely { char nev[26];
Redoxi-reakciók, elektrokémia Vizes elektrolitok
ÁTMENETIIFÉMEK (a d-mező elemei)
Kémiai maratás.
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szén erősítésű kerámia kompozitok és grafit nanoréteg előállítása
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
Nanorészecskés bevonatok Pósa Vivien, Bolyai Tehetséggondozó Gimn., Zenta Berekméri Evelin, Bolyai Farkas Elm. Lic., Marosvásárhely MFA Nyári Iskola 2013.
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Kelemen Laura; Klimkó Júlia Luca
Dr. Nagy Géza Csóka Balázs PTE TTK Általános és Fizikai Kémia Tanszék
Pfeifer Judit és Arató Péter
MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-mel
SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón Készítette: Bucz Gábor, Földes Ferenc Gimnázium Tanára: dr. Zsúdel László, Földes Ferenc.
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Frank György, Berzsenyi Dániel E. Gimnázium, Sopron
Optikai rács kialakítása holográfiával
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Készítette: Horváth Balázs Batthyány Lajos Gimnázium,
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
Félvezető fotoellenállások dr. Mizsei János, 2006.
Monolit technika MOS technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
Kémiai leválasztás gőzfázisból (CVD) Mizsei János 2013.
Mikroelektronikába: technológiai eljárások
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány
Összeállította: Csizmazia Ferencné dr. főiskolai docens
Struktúrák a C nyelvben 1 Akkor használjuk, ha az egy egyedre jellemző különböző típusú adatokat együtt akarjuk tárolni. Lényegében típusdeklaráció. A.
TÁMOP /1-2F Analitika gyakorlat 12. évfolyam Fizikai és kémiai tulajdonság mérése műszeres vizsgálatokkal Fogarasi József 2009.
Oldatok kémhatása és koncentrációjuk
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
Egykristályok előállítása
7. Litográfiai mintázatkialakítási eljárások. Nedves kémiai maratás.
a laboratórium egy chipen?
Fotokróm anyagok Fotokromizmus fogalma Történeti áttekintés Szerves fotokrómok 1. Spiropiránok 2. Spirooxazinok 3. Benzo- és naftopiránok (kromének) 4.
Nagyfeloldású Mikroszkópia Dr. Szabó István 9. Litográfia TÁMOP C-12/1/KONV projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő.
Az integrált áramkörök gyártása. Mi is az az integrált áramkör?  Több, néha igen sok alapelemet tartalmazó egyetlen, nem osztható egységben elkészített.
Ellipszometria laboratórium Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium Székesfehérvár Kopacz.
Ellipszometria laboratórium ELLIPSZOMETRIÁS MÉRÉSEK Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium.
Készítette: Sovák Miklós Konzulens: Dr. Kiss Endre
Gázérzékelők, mikroméretű eszközök kutatás-fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Az elektrolízis.
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Energiaforrások.
Proteomika, avagy a fehérjék „játéka”
a laboratórium egy chipen?
MOS technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
Előadás másolata:

1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs

2 A pórusos szilíciumot elektrokémiai marással állítottuk elő. Elektrolizáló cella szerkezete:

3

4 Elektrokémiai marás Az elektrolizáló cellába különböző koncentrációjú HF elegyet önthetünk. A cella vezérlése számítógépel történik: Megadható az áramsűrűség, a marás ideje. A különböző paraméterkombinációk különböző struktúrákat eredményeznek.

5 Mezopórusos struktúra előállítása MFA emblémás p+ típusú Si szeleten Polírozott Si szelet termikus oxidációja Fotolitográfia: Lakkábra készítés MFA embléma maszkkal. polySi bevonat készítése Kémia: polySi marás, SiO 2 marás, elekrokémiai marás→a szeleten sötét háttér

6 Mezopórusos Si

7 Nanopórusos Si struktúra előállítása A Si szelet felületén apró hibahelyek helyezkednek el közel egymáshoz. Ezek közrezárnak kvantumméretű szemcséket, amelyek ezért nem vezetnek. Így az elektrokémiai marás csak a felületre merőlegesen történhet Pórusos szilícium képződik, miközben H 2 SiF 6 megy oldatba Kvantumméretű a falvastagság a PorSi-ban

8 Nanopórusos réteg passziválása anodikus oxidációval Lényege: pórusos Si stabilizálása, Elektrolumineszcencia vizsgálata Fotolumineszcencia vizsgálata

9 Pórusos Si felhasználási lehetőségei Feláldozható réteg 3D struktúrák előállításánál Vékony membránok előállításánál

10 Köszönet Vázsonyi Éva mentor Erős Magdolna Páyer Károlyné