VÁKUUMTECHNIKA Bohátka Sándor és Langer Gábor 4. GÁZOK ÁRAMLÁSA TÁMOP C-12/1/KONV projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő képzési és K+F feladatokra"

4. GÁZOK ÁRAMLÁSA Vákuumrendszerekben a gázáramlás csökkentett nyomáson megy végbe. Az áramlást erők határozzák meg, - ezek hatása a gáz sűrűsége, nyomása függvényében változó. A nyomáskülönbségből és a súrlódásból származó erők - durva és közepes vákuumban (1000 – mbar): döntőek, - nagy- és ultranagy-vákuumban (<10 -3 mbar): elhanyagolhatóak, itt az áramlást a gázrészecskék egyedi mozgásának statisztikus átlaga alakítja ki ÁRAMLÁSI TARTOMÁNYOK Az áramlási tartományokat a gázáramlás természete (a Knudsen-szám írja le) és a vezetéken átáramló gáz relatív mennyisége határozza meg. A gáz természete szerinti áramlási tartományok: 1. Viszkózus (kontinuum) tartomány (nagy nyomás, azaz kicsi, a gázok egymás közötti ütközése domináns): 2. Molekuláris tartomány (alacsony nyomás, azaz > a gázvezeték keresztmetszeti méreténél, és a gázok egymással nem ütköznek). 3. Átmeneti (Knudsen-) áramlás tartománya: a két előző típus között (a gázok nem csak a fallal, de egymással is ütköznek).

A gáz természetét meghatározó Knudsen-szám:, ahol (4.1.1.) a közepes szabad úthossz, d a vezeték hidraulikus átmérője (az áramlási vezeték jellemző mérete). A d-t a d = 4A/B egyenlőség definiálja, ahol A a vezeték keresztmetszetének területe, B a kerülete. Körnél d az átmérő! tábl. Az áramlás típusa, a Kn, p és d közötti összefüggés (F = levegő / gáz ). *A határok nem élesek, egyes közleményekben a feltétel: Kn > 0,5. ÁramlásKn ( / d)p (mbar), d (cm)Nyomástart. (átlagos méretnél) MolekulárisKn > 1* p  d  F < 0,0066 nagyvákuum (<10 -3 mbar) Átmeneti1 > Kn > 0,01 0,0066<p  d  F<0,66 közepes vákuum(10 -3 – 1 mbar) ViszkózusKn < 0,01 p  d  F > 0,66 Durvavákuum (1 – 1000 mbar) ábra. Az áramlási tartományok, a nyomás és a cső átmérőjének kapcsolata. A tábl. középső oszlopa a korábban megismert p = 0,0066 mbar∙cm (2.4.6.) felhasználásával származtatható.

Viszkózus (kontinuum) áramlás Nagyobb nyomáson ( << d) a nyomáskülönbségből és a súrlódásból származó erők szabják meg a gáz áramlását. -A molekulák egymás közötti ütközésszáma >> fal és molekulák ütközései, -a gáz belső súrlódása számottevő, -a gáz összenyomható, -néhány közepes szabad úthossznyi távolságon a gáz jellemző tulajdonságai változatlanok, a gáz folytonos közegnek tekinthető, -a gáz mozgását a hidrodinamika segítségével elemezhetjük és írhatjuk le. Lamináris áramlás: a gáz sebessége és a felület egyenetlenségei elég kicsik, és a gáz az akadályok körül simán, áramvonalakkal halad el - az áramlást a vezetékben levő nyomáskülönbség hajtja, -a viszkozitás erősen befolyásolja, -kis sebességnél a gáz a vezeték falával párhuzamos vonalakban halad, - az áramlási vezeték közepén a gáz áramlási sebessége maximális, a vezeték falán pedig 0, -áramlási front alakul ki (lásd az ábrát). Áramlási front Turbulens áramlás: a sebesség növekedésével egy kritikus sebességnél az áramvonalak megtörnek, örvények keletkeznek (kaotikus, mint a jármű utáni légmozgás).

A viszkózus áramlás lamináris és turbulens tartományában más-más módon tudjuk közelíteni a gázszállítás és egyéb jellemzők számítását. A lamináris és turbulens jelleg között a gáz relatív mennyiségére jellemző Reynolds számmal (Re) tudunk különbséget tenni. (4.1.2.) ( a) Re kifejezésében ρ: a gáz sűrűsége; v: a gáz áramlási sebessége;  : a gáz viszkozitása; d: a vezeték hidraulikus átmérője, Q a d átmérőjű csőben egységnyi idő alatt átáramló gázmennyiség (gázmennyiség-áram: (Q = pV/t). A Reynolds-szám a turbulencia, illetve a viszkozitás következtében fellépő nyírási feszültség aránya. Levegőre 22 °C-on Re kifejezése egyszerűsödik: Re = 8,4 Q/d, ahol [Q/d] = mbar∙ℓ∙s -1 cm -1 (4.1.3.) A viszkózus áramlás lamináris átmeneti turbulens haRe <  Re  < Re E feltételekből következik a gázmennyiség-áram és az átmérő viszonyára : Turbulens a 22 °C-os levegő áramlása, ha a mennyiségek számértékére nézve Q > 260 d (ez érvényes, ha [Q] = mbar∙ℓ/s, [d] = cm) Lamináris a 22 °C-os levegő áramlása, ha a mennyiségek számértékére nézve Q < 140 d (ez érvényes, ha [Q] = mbar∙ℓ/s, [d] = cm)

Molekuláris áramlás Alacsony nyomáson a közepes szabad úthossz nagy: > d, Kn > 1. -A molekulák a hőmérséklettől függő termikus sebességgel repülnek, -az edény falával való ütközés gyakorisága >>molekula–molekula ütközés, -egy ütközés után a gázrészecskék szabadon mozognak – a kis gázsűrűség miatt túlnyomó gyakorisággal – a falig. Molekuláris áramlásban a vezetéken átáramlott gáz mennyisége (jóllehet arányos a nyomáskülönbséggel, de azt nem a nyomáskülönbség tartja fenn, hanem) a vezeték két irányában véletlenszerűen haladó molekulák anyagáramának különbségeként fogható fel Átmeneti (Knudsen-) áramlás 1 > Kn > 0,01 tartományban a gázáramlás átmeneti a mol. és viszk. között. A gázrészecskék falon való ütközése a „koszinuszos törvényt” követi ábra. A „koszinuszos törvény” szemléltetése. A falon való ütközés után a tetszőleges Θ szögű repülés valószínűsége (cos Θ)-val arányos. A valószínűségek a fekete kör kerületét rajzolják ki.

4.2. GÁZÁRAM, SZÍVÓSEBESSÉG, SZIVATTYÚZÓ KÉPESSÉG (GÁZSZÁLLÍTÁS) – szivattyú szívósebessége, gázszállítása A gázáram az A keresztmetszeten átáramló közeg  X mennyiségének és az áthaladás  t időtartamának hányadosa. Def.: q =:  X/  t (4.2.1.) Térfogati áram (ha X a gáz térfogata): (4.2.2.) Tömegáram (ha X a gáz tömege): Moláris áram (ha X a mólok száma): Részecskeszám áram (ha X = N): (4.2.3.) (4.2.4.) (4.2.5.) Az elnevezésben az áram (angolban flowrate) helyett fluxus (fluxrate) is használatos a jellemző mennyiség nevéhez kapcsolva. Gázmennyiség-áram (gázszállítás) (ha X = pV): mbarℓ/s (4.2.6.) Q energia jellegű mennyiség, de nem mozgási vagy potenciális energia, hanem a molekuláknak az adott síkon keresztül való szállításához szükséges energia.

Vákuumszivattyú szívósebessége (pumping speed), jele S: a szivattyú p nyomású torkában időegység alatt elszívott gáztérfogattal definiáljuk – mindig hozzáértjük az értelmezési nyomás(tartomány)át: def.: (4.2.7.) Vákuumszivattyú gázmennyiség-árama (gázszállítása vagy szivattyúzó képessége – throughput): def.: Sok szivattyúnak egy széles nyomástartományban állandó a szívósebessége, ebből következően a gázszállítása a nyomással arányos (ábra). (4.2.8.) (4.2.9.) Q sziv = pS sziv ; S sziv = Q sziv /p ábra. Egy forgólapátos szivattyú szívósebesség- karakterisztikája (DUO 5 MC, Pfeiffer [P2]). A Q gázmennyiség-áram egyenesét mi illesztettük be. mbarℓ/s

Szívósebesség mérése A szivattyú S sz szívósebessége az elszívott gázmennyiség- árammal egyensúlyt tart az üzemi p nyomáson: Ha mesterségesen egy többlet Q 1 gázmennyiség- áramot engedünk be, akkor az  p értékkel növeli a vákuumrendszerben az üzemi nyomást: A két egyenletet egymásból kivonva: ábra. Egy elrendezés szivattyú szívósebességének méréséhez. A  p különbséget mérő vákuummérő 0-pontját nem fontos ismerni, de a leolvasás skálájának pontossága meghatározza a szívósebesség pontosságát is. Az áramlásmérő az elszívott gázmennyiség-áramtól függően különböző típusú lehet, a mérőkamra kialakítására már szabványok is rendelkezésre állnak., ahol p atm, V atm és a V atm térfogat beengedéséhez szükséges t idő a ábra elrendezésével mérhető.

4.3. GÁZVEZETÉKEK ÁRAMLÁSI ELLENÁLLÁSA, VEZETŐKÉPESSÉGE A szivattyú és a leszívandó tér (recipiens) közé legtöbbször gázvezetőket (nyílások, csövek) kell beiktatni. A vezetékeken szivattyúzáskor áthaladó gázáram nyomáskülönbség hatására jön létre, vagy (mol. áraml.-nál) azzal arányosan alakul ki. A vezetéknek ellenállása van a gázáramlással szemben. A gázvezeték áramlási ellenállását (Z ) az R=U/I elektromos analógiával definiáljuk: A gázvezeték vezetőképessége (C ): A vezetőképesség és a szívósebesség mértékegysége azonos!! ÁRAMLÁSI ELLENÁLLÁSOK, VEZETŐKÉPESSÉGEK ÖSSZEKAPCSOLÁSA Ezt is elektromos analógia alapján értelmezzük. Soros kapcsolás: Z = Z 1 + Z 2 +…+ Z n ; 1/C = 1/C 1 + 1/C 2 +…+1/C n Párhuzamos kapcs.: 1/Z = 1/Z 1 + 1/Z 2 +…+1/Z n ; C = C 1 + C 2 +…+C n (4.3.1.) (4.3.2.) (4.3.3.) (4.3.4.)

4.4. A SZIVATTYÚ EREDŐ ÉS TÉNYLEGES SZÍVÓSEBESSÉGE A szivattyú és a hozzácsatolt vezeték eredő szívósebessége Az edény szívásakor a recipiensnél és a szivattyúnál ugyanannyi gáz áramlik át ábra. Szemléltető ábra. p, S : nyomás és szívósebesség a cső szívótorkában; d, ℓ : az összekötő cső átmérője és hossza; p sz, S sz : a szivattyú torkában mért nyomás és szívósebesség. (4.4.1.) Eredő szívósebesség: A szivattyú eredő szívósebességét a cső áramlási ellenállásából [Z (4.3.1.)] kiindulva is levezethetjük: Z = (p – p sz )/Q Z = 1/S – 1/S sz (4.4.2.a.) (4.4.2.b.) (4.4.2.c.) A C vezetőképességű gázvezetővel sorba kapcsolt szivattyú eredő szívósebessége Ha C→∞, S→S sz, ha C = 0, S = 0.

Gázbeömlés hatása a szivattyú tényleges (effektív) szívósebességére A szivattyú S sz szívósebessége az elszívott hasznos gázáram (Q) és az alap- beömlés (Q 0, pl. szivárgás, falakról leváló gázok stb.) összegével tart egyensúlyt egy p nyomáson: Q + Q 0 = S sz ·p. (4.4.3.) Ha Q = 0, az így kialakuló p = p 0 nyomást a Q 0 beömlés határozza meg: Q 0 = S sz ∙p 0. (4.4.4.) A káros Q 0 alapbeömléssel elérhető tényleges vagy effektív szívósebesség: (S eff ) mindig kisebb, mint a katalógusokban megadott névleges v. volumetrikus szívósebesség (S sz ). Q 0 alapbeömléssel elérhető végnyomás: p 0 = Q 0 /S sz. Példa: egy forgólapátos szivattyú névleges (volumetrikus) szívósebessége: S sz = 7,2 m 3 /h = 2 ℓ/s; végvákuuma: p sz = 1  mbar; a tömítetlenségeiből származó káros beömlés: Q 0 = 0,1 mbar∙ℓs -1. Mennyi a szivattyú effektív szívósebessége, ha az elérni kívánt üzemi nyomás p 1 = 5  mbar, máskor pedig p 2 = 1  mbar? Ha p = p 1 = 5  mbar, akkor: S eff = 2(1-0,05/0,05) ℓs -1 = 0 ℓs -1.→ p 1 /p sz = 50 Ha p = p 2 = 1  mbar, akkor: S eff = 2(1-0,05/0,1) ℓs -1 = 1 ℓs -1. → S eff = S/2

4.5. ÁRAMLÁS KIS, VÉKONY FALÚ NYÍLÁSON ÁT Viszkózus áramlás kis, vékony falú nyíláson át A gáz viszkózus, ha Kn < 0,01 vagy másként: << d (a környílás átmérője) Az áramlás ilyenkor turbulens, ha Re > 2200 és lamináris, ha Re < A gáz turbulens mozgását analitikusan nehéz leírni, a rendszerekben csak a légköri nyomás közelében fordul elő, így a leszívásban-fellevegőzésben rövid ideig tart, ezért ezzel itt nem foglalkozunk. Lamináris áramlás ábra. Kis vékony nyíláson átáramló nagy nyomású gáz áramvonalai. Kb. 85%-ára csökken a keresztmetszet (vena contracta) Gázmennyiség-áram Ha egy nagy tartályban egy d átmérőjű vékony nyílás p 1 (T 1 ) > p 2 (T 2 ) nyomású gázokat választ el, akkor áramlás alakul ki, amely a tapasztalat szerint lamináris, ha p 1 nagy, azaz a közepes szabad úthossz sokkal kisebb a nyílás átmérőjénél. A korábbi tábl. szerint: p 1 > p 2 < d/100, vagy 0,66 mbar  cm <

aholA: a nyílás területe ; r = p 2 / p 1  1 ;  = C p / C V (a hőkapacitások hányadosa); m = a molekula tömege Gázmennyiség-áram vékony, kis nyíláson át lamináris áramlásban – a félempirikus Prandtl-törvény írja le: (4.5.1.) Levegőben, T 1 = 293 K-nél:  = 1,403, a Q kiszámítása egyszerűsödik: (4.5.2.) [Q] = mbarℓs -1, ha [p 1 ] = mbar és [A] = cm 2 Lyukas edény leszívásakor: r = p 2 / p 1 = 1 –nél Q = 0, de ahogy csökkentjük a p 2 nyomást (és r értékét), úgy nő a Q gázáram, majd egy kritikus r értéknél Q maximumot mutat, amelyet megőriz a kritikusnál kisebb r értéken is [(4.5.2.) ábra]. Fojtott vagy korlátozott áramlás: ha a gáz áramlása eléri a hang sebességét, a szívott oldali nyomás (p 2 ) további csökkentése nem jár a gázáram növekedésével. A hangsebesség eléréséhez szükséges kritikus nyomásarány 20 °C hőmérsékletű levegőben: r c = = 0,525 r < r c nyomásarányoknál is maximális marad a gázáram. (4.5.3.)

Q max = 20  A  p 1 (4.5.4.) Vékony kis nyíláson át a lamináris áramlás (r c > r = p 2 /p 1 aránynál ! ) maximális gázmennyiség-árama 20 °C hőmérsékletű levegő gázra: [Q] = mbarℓs -1, ha [p 1 ] = mbar és [A] = cm 2 Más gázoknál ez az érték a molekulatömeg és a hőkapacitások arányának (  = C p / C V ) függvényében a Prandtl-törvény (4.5.1.) szerint változik ábra. A felületegységre jutó viszkózus gázmennyiség-áram kis nyíláson át, a nyomásarány függvényében ábra. Egy p 2 nyomásra szívott edény kis nyíláson át p 1 = 1 bar-ról történő fellevegőzésének folyamata [L2]. Δp = p 1 – p 2 ; a kritikus r c = 0,525-nél (Δp) krit ≈ 470 mbar; q m : gáztömeg-áram.

Vezetőképesség levegőre (Kis vékony nyílás, lamin. áramlás) ha r  0,525 T = 20 °C (4.5.5.) Ha a gáz nyomása a nyíláson áthaladás után a tizedére csökken, a nyílás vezetőképessége 10%-on belül független mindkét oldali nyomástól! [C] = ℓs -1 ha [A] = cm Szívósebesség levegőre (Kis vékony nyílás, lamin. áramlás) C és S nem ugyanaz a mennyiség, csak r  0,1-nél esik egybe az értékük! ha r  0,525, T = 20 °C hőmérsékleten S = 20A (4.5.8.) (4.5.7.) [S] = ℓs -1 ha [A] = cm 2 Más gázoknál ez az érték a Q anyagfüggése miatt m a -1/2 -el arányosan és a hőkapacitások arányától (  = C p / C V ) függően a Prandtl-törvény szerint változik. ha r  0,1, akkor 10%-on belüli pontossággal: C = 20A (4.5.6.)

Nagyobb vagy vastagabb nyílás esetén Q fenti értékét szorozni kell a gázok nyíláson való átjutásának valószínűségével, a transzmisszióval (α). (4.5.9.) Gázszállítás: minden gázra Gázszállítás levegőre, 20 °C-on: Q = 11,6 (p 1 – p 2 ) A ( ) Ha [A] = cm 2 és [p] = mbar, akkor [Q] = mbar ℓ s -1 Vezetőképesség levegőre, 20 °C-on: ( ) Ha [A] = cm 2, akkor [C] = ℓ s -1 Szívósebesség levegőre, 20 °C-on: ahol p 1 > p 2 ( ) Ha [A] = cm 2 és [p] = mbar, akkor [S] = ℓ s -1 Más gáznál és más hőmérsékleten: (T/m a ) 1/2 -el arányosan kell korrigálnunk. Ha p 1 >>p 2 : a kinetikus gázelméletből levegőre számolt 11,6 ℓs -1 cm -2 értéket kapjuk Molekuláris áramlás kis, vékony falú nyíláson át Emlékeztető: molekuláris a levegő áramlása, ha: < = 6,6  mbar  cm, A két oldalról jövő gázmennyiség-áramok eredője ( ) felhasználásával:

ábra. Vékony kis nyílás 1 cm 2 -ére vonatkoztatott vezetőképességek (C viszk, C mol ) és szívósebességek (S viszk, S mol ) viszkózus és molekuláris áramlásnál [L2], a nyomásaránytól (p 2 / p 1 ) függően. A gáz 20 °C hőmérsékletű levegő, r krit = 0,525. Vékony kis nyílás

4.6. MOLEKULÁRIS ÁRAMLÁS NAGY VÉKONY NYÍLÁSON ÁT ábra. Áramlás vékony nagy nyíláson át – szemléltető ábra. Az A nyílás balról nagy, jobbról kicsi a környezetéhez képest. Egyszerű megfontolással közelítőleg kiszámolhatjuk a nagy nyílás vezetőképességét (C A,N,Mol ) és szívósebességét (S A,N,Mol ), amelyek a tapasztalattal jó közelítéssel egyeznek. Noha molekuláris viszonyokra vezették le, de a viszkózus áramlás tartományában is eligazítást ad az itt bevezetett A 0 /(A 0 -A) korrekció. (4.6.1.) (4.6.2.) Szélsőértékben visszaadják a korábbi eredményeket: ha A << A 0, akkor Z A,N = Z A, tehát kis nyílás esetén a kifejezés valóban visszaadja a kis nyílás ellenállását; ha A = A 0, akkor Z A,N = 0, tehát csak a cső ellenállásával kell számolni.

4.7. ÁRAMLÁS CSÖVEKBEN Knudsen egy félempirikus formulát vezetett be 1909-ben a kör keresztmetszetű, egyenes, hosszú csövekben kialakuló gázmennyiség- áramra: (4.7.1.) ahol D: a cső átmérője; L: a cső hossza; η: viszkozitás; = (p 1 + p 2 )/2 ; p 1, p 2 : a cső végén mért nyomások Tiszta molekuláris áramlásnál, azaz feltételek teljesülésekor az első tag zérushoz tart, a második pedig leegyszerűsödik. Tiszta viszkózus áramlásnál, azaz nagy D értéknél a második tag második szorzótényezője 1, az egész második tag pedig elhanyagolható az első tag mellett.

Lamináris áramlás csövekben - Kör keresztmetszetű hosszú csőben a tiszta lamináris áramlás feltétele a táblázatban már említett Kn < 0,01, azaz < D/100) egyenlőtlenség és a belőle levezethető: 0,66 mbar∙cm < D. A (4.7.1.) Knudsen-formulában csak az első tag marad meg. (4.7.2.) [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm [ ] = mbar Vezetőképesség levegőre, 20 °C-on: Vezetőképesség: (4.7.3.) (4.7.4.) [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm, [ ] = mbar Gázmennyiség-áram: Hagen-Poiseuille- egyenlet [Q] = mbar ℓ s -1, ha [D, L] = cm, [p 1, p 2, ] = mbar

Kör keresztm. hosszú cső közepén: Kör keresztm. hosszú cső végén: (4.7.5.a.) ábra. Kör keresztmetszetű cső vezetőképessége 20 °C levegő lamináris áramlásában, különböző átlagnyomásoknál. A cső hossza: L, átmérője: D. A (4.7.4.) egyenlettel számolt értékek. Szívósebesség 20°C levegőre, lamináris áramlásban: (4.7.5.b.) 0,8 ≤ r ≤ 1 tartományban a két szívósebesség 10%-on belül azonos, r = 1-nél S = 0. A vezetékeket mindig a lehető legrövidebbre és kellően nagy átmérőjűre kell választani! [S] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm, [p 1, p 2 ] = mbar; r = p 1 /p 2

ábra. Lamináris áramlásban a 10 cm átmérőjű cső szívósebessége a cső végénél a hosszúság függvényében. Értéke az átlagnyomással arányosan nő, és az r = p 1 /p 2 paraméter csökkenésével is jelentősen nő. Megjegyezzük, hogy a csövek leginkább passzív elemek, önálló szívósebességük csak akkor van, ha előzőleg szivattyúval nyomáskülönbséget hoztunk létre a cső két vége között, pl. egy leszívott tartály és a cső közötti szelepet kinyitjuk, másik oldalán pedig nagyobb nyomás van. A csöveknek inkább a vezetőképességével (ellenállásával) számolunk, amely szivattyúhoz vagy egy másik passzív elemhez csatlakozik, és így számoljuk az eredő szívósebességet/vezetőképességet.

- Rövid cső lamináris vezetőképessége: Ha a cső nem eléggé hosszú, akkor a cső nyílása és a cső ellenállásainak soros kapcsolásával kell számolnunk, azaz a vezetőképességekre igaz: 1/C rövidcső = 1/C cső + 1/C nyílás (4.7.6.) - Más gázok lamináris vezetőképessége: A vezetőképesség fordítottan arányos a viszkozitással (Knudsen- egyenlet). Ezért ha levegő helyett más gázt használunk, akkor a levegőre érvényes vezetőképességeket az alábbi k korrekcióval kell szorozni: C gáz = k∙C lev H2H2 HeH2OH2ONeN2N2 O2O2 CO 2 k2,10,931,90, ,911, Átmenet a molekuláris és a lamináris áramlási tartomány között csövekben (Knudsen-áramlás) Átmeneti az áramlás, ha 1 > Kn > 0,01 A kör keresztmetszetű cső vezetőképessége 20 °C levegőre, (4.7.1.)-ből : ahol (4.7.7.) Ha 0,66 mbar∙cm: lamináris áramlás. (mbar∙cm) 0,02660,05320,07980,10640,1330,2660,5320,798 J1,11,41,72,02,33,86,99,9

Molekuláris áramlás csövekben (4.7.1.a.) Tiszta molekuláris áramlásnál, azaz a (4.7.1.) Knudsen- formula első tagja zérushoz tart, a második pedig leegyszerűsödik. Hosszú cső gázmennyiség-árama: Hosszú cső vezetőképessége: [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm (4.7.8.) Hosszú cső vezetőképessége molek. áramlásban levegőre, 20 °C-on: [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm (4.7.9.) ábra. Hosszú, kör keresztmetszetű csövek vezetőképessége 20 °C-os levegőre, molekuláris áramlásban.

Rövid cső vezetőképessége molekuláris áramlásban, levegőre - Az azonos átmérőjű (D) nyílás és cső vezetőképessége egyenlő, ha a cső L hossza: ( ) - A cső hosszú, ha L >> 4/3D; nyílás, ha L << 4/3D; rövid, ha L ≈ 4/3D. - Rövid cső vezetőképessége a hosszú cső és nyílás vezetőképességének sorba kapcsolásával képezhető jó közelítéssel: - Levezethető - A gáz átjutási valószínűségével (α ) számolva (ahol α 1 a hosszú cső transzmissziós valószínűsége): ( ) [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm ( ) A ( )-ből kiszámítható α értéke csak közelítőleg pontos, mert a modellünk is közelítés volt. 10%-on belül igaz, hogy ha L ≤ 0,1D, akkor α = 3/4L/D, ill. ha L>20D, akkor α=1. Clausing kinetikus elméletre alapozott és a véghatásokat is figyelembe vevő számítása 1%-on belül pontos. Ma már leginkább Monte-Carlo módszerrel számítják ≤1% pontossággal.

20 °C hőmérsékletű levegő esetében a tetszőleges keresztmetszeti alakzatú cső vezetőképessége molekuláris áramlásban: [C] = ℓ s -1, ha [D, L] = cm ( ) A: a cső keresztmetszete, B: a kerülete, L: a hossza. Kör keresztmetszetű csőnél K = 1, és visszakapjuk a már ismertetett (4.7.9.) egyenlőséget. A körtől eltérő keresztmetszeteknél K ≠ 1. A képletből levezethető speciális alakzatok, pl. körgyűrű, háromszög, derékszögű négyszög (ezen belül pl. lapos téglalap) keresztmetszetű cső vezetőképessége is Vezetőképesség csövön keresztül molekuláris áramlásban, levegőben – általános leírás Knudsen szerint jobb eredményt kapunk, ha feltételezzük: az áramlási sebesség arányos a molekulák Maxwell-Boltzman eloszlás szerinti véletlenszerű sebességével. Ekkor levegő gázra számolva:

ábra. Egy V = 200 ℓ térfogatú edény leszívási ideje S = 10 ℓ/s szivattyúval, Q = 0,75 mbar∙ℓ/s állandó beömléssel; az I. tartomány nyomását a térfogatból származó gázáram, a II. tartományét az állandó beömlés szabja meg [L1] RECIPIENS LESZÍVÁSI IDEJE Ha V a recipiens (leszívandó edény) térfogata; benne p 0 : a t = 0 időben, p: a "t" időben mért nyomás; S: a V-nél érvényesülő szívósebesség és Q = pS: az edényből kifolyó gázmennyiség-áram, akkor kiszámítható, hogy:, ahol (4.8.1.) = V/S a rendszer időállandója a leszívási idő p 0 -ról p nyomásra. (4.8.2.) a felezési idő, a p 0 -ról p 0 /2-re szívás ideje (4.8.3.) A leszívási időt, végnyomást növeli: - gázszivárgás (lyuk), - falakról leváló gázok (főleg víz), - a szivattyút az edénnyel összekötő vezeték ellenállása (S-et csökkenti).