Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon

Szimuláció a mikroelektronikában Dr. Mizsei János 2013.

Hasonló előadás


Az előadások a következő témára: "Szimuláció a mikroelektronikában Dr. Mizsei János 2013."— Előadás másolata:

1 Szimuláció a mikroelektronikában Dr. Mizsei János 2013

2 2 Szimuláció Szimuláció: – Pénz- és időmegtakarítás – Célszerű egyszerűsítések, elhanyagolások – Modellek és paraméterek Egymásra épülő lépések, alacsonyabb szintekről paraméterek kivonása a magasabb szintek modelljeihez – Pl. pár tranzisztoros kapcsolás transzfer függvénye -> logikai szinten kapu

3 3 Szimuláció Mikroelektronikai szimulációs szintek

4 4 Technológiai szimuláció Legalsó szint: a technológiai szimuláció Szimulációs modellek: Fizikai-kémiai törvények alapján – Fick-törvények – Határfelületi jelenségek (kémiai reakciók) – Rétegleválási folyamatok

5 5 Technológiai szimuláció Algoritmusok – Hasonlóak más szimulációkhoz – Rácsgenerálás – Differenciálegyenletek megoldása adott peremfeltételekre FEM, Newton-Raphson … Bemenetek – Környezet geometriája, peremfeltételek – Technológiai lépések paraméterei – Hőmérséklet, idő, koncentrációk, nyomás …

6 6 Technológiai szimuláció Eredmények – Struktúra geometriája – Adalékprofilok – Potenciál-, térerősség- eloszlás – Áramsűrűség-, hőmérséklet-eloszlás – Modellparaméterek a fizikai szimulációhoz – Tervezési szabályok layouthoz (pontosság, szórás, torzítás)


Letölteni ppt "Szimuláció a mikroelektronikában Dr. Mizsei János 2013."

Hasonló előadás


Google Hirdetések