Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
KiadtaÁgoston Kozma Megváltozta több, mint 10 éve
1
Kutatóegyetemi stratégia - NNA FELÜLETI NANOSTRUKTÚRÁK Dr. Harsányi Gábor Tanszékvezető egyetemi tanár Budapest 2010. november 17. Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány Kutatóegyetemi stratégia - NNA
2
A megvalósításban résztvevő karok, tanszékek Villamosmérnöki és Informatikai Kar Elektronikai Technológia Tanszék (metrológia – SEM, SPM) Gépészmérnöki Kar Anyagtudomány és Technológia Tanszék (anyagelőállítás, vizsgálatok) Természettudományi Kar Atomfizika Tanszék (felületanalitika) Kutatóegyetemi stratégia - NNA
3
Tartalom Felületek minősítése (felületfizikai méréstechnika, alkalmazások) Felületi nanostruktúrák vizsgálata Biokompatibilis bevonatok készítése és minősítése Alkalmazási példák Kutatóegyetemi stratégia - NNA
4
Felületek minősítése metrológiai infrastruktúra: SIMS, Auger spektroszkópia, LIBS, pásztázó elektronmikroszkópia pásztázószondás mikroszkópia (AFM, STM) alkalmazási területek: félvezetők minősítése, szennyezők kimutatása, felületfizikai folyamatok kutatása szoros együttműködés az NNA egyéb alprojektjeivel
5
Kutatóegyetemi stratégia - NNA 1.Új felületanalitikai mérési technika (Laser Induced Breakdown Spectroscopy - LIBS) kiépítése és nanotechnológiai alkalmazásainak kutatása Előnyei: Nem igényel minta-előkészítést Minden elemet kimutat Kvalitatív és kvantitatív vizsgálatok Érintésmentes Roncsolás mentes Atomfizika Tanszék
6
Kutatóegyetemi stratégia - NNA 2. 32nm-es generációjú mikroelektronikai technológiák foto-modulált reflexiós folyamatellenőrzése Célok: ionimplantáció és fémezések minősítése ipari megvalósítás, partner : Semilab Zrt. Atomfizika Tanszék
7
Kutatóegyetemi stratégia - NNA 3. Femtoszekundumos lézer mikro- és nanostruktúrák létrehozására Mikrostruktúrák megmunkálására Holográfiára Nemlineáris mikroszkópiára Szubmikronos rácsok és struktúrák létrehozására Fény-anyag kölcsönhatás vizsgálatára 2.3 ps impulzus 200 fs impulzus Kutatóegyetemi stratégia - NNA Atomfizika Tanszék
8
Kutatóegyetemi stratégia - NNA Felületi nanostruktúrák vizsgálata Transzport a nano mérettartományban Mikroszkopikus struktúrák Kézzelfogható hibajelenségek! Példa: whisker növekedése Tiszta ónbevonatokból spontán növekedő néhány mikrométer átmérőjű tűszerű ón egykristályok.
9
Kutatóegyetemi stratégia - NNA Felületi nanostruktúrák vizsgálata 9 TEM-XRD vizsgálatok TEM vizsgálat FIB vágat a whisker tövénél Miller indexek meghatározhatók NIMS
10
Kutatóegyetemi stratégia - NNA 10 Mechanikai és környezeti hatások kombinált hatásának vizsgálata. Az whisker növekedést kiváltó környezeti hatások (hőmérséklet, páratartalom, oxidáció, stb.) vizsgálata. A whisker növekedést gátoló köztes rétegek (nikkel, ezüst, stb.) hatás mechanizmusának vizsgálata. A mechanikai nyomás hatásnak vizsgálata és modellezése. Mechanikai és környezeti hatások kombinált hatásának vizsgálata. Whisker növekedés csökkentése ötvöző anyagok segítségével.
11
Kutatóegyetemi stratégia - NNA Biokompatibilis és hatóanyagleadó bevonatok fejlesztése Cél: értágítóbetétek, ortopédiai és fogászati implantátumok felületkezelése, bevonatolása és felületmódosítása Várható eredmény: implantátumok élettartalma megnő, kedvezőbbek az élettani hatások. Eszköztár: „Felületek minősítése” témakör biztosítja a bevonatok méréstechnikai hátterét.
12
Kutatóegyetemi stratégia - NNA Bioreceptor rétegek és arany vékonyréteg elektródok AFM-es vizsgálata Cél: - arany vékonyréteg elektródok felületi minősítése, - a nanométeres tartományban mozgó bioreceptor rétegek orientációjának vizsgálata és optimalizálása, Példa: - DNS nanoborotválás / nanobeültetés
13
Kutatóegyetemi stratégia - NNA Köszönöm a figyelmet! Kutatóegyetemi stratégia - NNA Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány
Hasonló előadás
© 2024 SlidePlayer.hu Inc.
All rights reserved.