A fésűs meghajtó Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx.

Az előadások a következő témára: "A fésűs meghajtó Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx."— Előadás másolata:

1 A fésűs meghajtó Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx nagy legyen, hosszabb elmozdulásnál is állandó erőt szeretnénk, dC/dx tehát ne változzék, miközben a mozgó elektróda elmozdul. Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx nagy legyen, hosszabb elmozdulásnál is állandó erőt szeretnénk, dC/dx tehát ne változzék, miközben a mozgó elektróda elmozdul.

2 A fésűs meghajtó

3

4

5

6 A fésűs meghajtó - az erőhatás

7 A fésűs meghajtó - példa A 2. poli vastagsága w = 2  m. A fogak hosszúsága 40  m, szélessége 3  m, a légrés szélessége s = 3  m. A rugó-szalagok hosszúsága 150  m, szélességük 2  m. A fésűfogak száma 25, tehát N = 50. N/V 2, 1V hatása Se = 0,71 m/N m/V 2

8

9

10 A rugóállandó megállapításának másik útja lehet a rezonancia frekvenciából való visszaszámolás. A mért rezonancia frekvencia f 0 = 20 kHz volt. A mozgórész teljes tömegét a geometriai adatokból és a szilícium sűrűségéből számolhatjuk ki. Ez a számítás a kg ered- ményre vezetett. A frekvenciát az alábbi képlet adja: m/N

11