Ipari vékonyrétegek Lovics Riku Phd. hallgató.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
E. Szilágyi1, E. Kótai1, D. Rata2, G. Vankó1
Advertisements

Porlasztással történő vékonyréteg előállítás
Az optikai sugárzás Fogalom meghatározások
A légkör összetétele és szerkezete
Vékonyrétegek előállítása fizikai módszerekkel (PVD)
ELEKTRONIKAI TECHNOLÓGIA 2.
Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
Vékonyréteg Si napelemek, technológia fejlesztési irányok.
Vékonyrétegek jelentősége, alkalmazásai
A bolygók atmoszférája és ionoszférája
Energiaellátás: Tárolás
FÉLVEZETŐ-FIZIKAI ÖSSZEFOGLALÓ
Bipoláris integrált áramkörök alapelemei
MOS integrált áramkörök alkatelemei
VER Villamos Berendezések
Dr. Mizsei János előadásai alapján készítette Balotai Péter
Vékonyfilm nm körüli vastagság ultravékonyfilm - 1 nm körüli vastagság CVD (chemical vapour deposition) kémiai gőz leválasztás LPD (laser photo-deposition)
MIKROELEKTRONIKA 3. 1.Felületek, felületi állapotok. 2.Térvezérlés. 3.Kontakt effektusok a félvezetőkben. 4.MES átmenet, eszközök.
MIKROELEKTRONIKA 6. A p-n átmenet kialakítása, típusai és alkalmazásai
Készítette: Kálna Gabriella
Felület kezelés, felület nemesítés
Ólommentes forrasztás
Fotoaktív bio-nanokompozit előállítása reakciócentrum fehérje és TiO2 -dal borított többfalú szén nanocsövek felhasználásával Tudományos diákköri dolgozat.
VEGYÉSZETI-ÉLELMISZERIPARI KÖZÉPISKOLA CSÓKA
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
Biológiai vizsgálatok in situ ellipszometriával Bérces Klára Mentorok: Fodor Bálint, Patkó Dániel Deák Téri Evangélikus Gimnázium.
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Szerszámanyagok A szerszámanyagokkal szemben támasztott követelmények
Dr. Nagy Géza Csóka Balázs PTE TTK Általános és Fizikai Kémia Tanszék
5. GÁZLÉZEREK Lézeranyag: kis nyomású (0, Torr) gáz, vagy gázelegy Lézerátmenet: elektronszintek között (UV és látható lézerek) rezgési szintek.
Vékonyréteg szerkezetek mélységprofil-analízise
TERMÉSZETVÉDELMI MÉRNÖKI BSC
Súrlódási jelenségek vizsgálata (Tribológia)
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
ZnO réteg adalékolása napelemkontaktus céljára
Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Készítette: Földváry Árpád
Bipoláris integrált áramkörök alapelemei Elektronika I. BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Mizsei János 2004.március.
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
Félvezető fotoellenállások dr. Mizsei János, 2006.
Mikroelektronikába: technológiai eljárások
H-2310 Szigetszentmiklós, Gyári út 70. Tel./Fax:
Kutatóegyetemi stratégia - NNA FELÜLETI NANOSTRUKTÚRÁK Dr. Harsányi Gábor Tanszékvezető egyetemi tanár Budapest november 17. Nanofizika, nanotechnológia.
Optomechatronika II. Vékonyrétegek - bevonatok
Anyagtudományi vizsgálati módszerek
Nanotechnika az iparban és az autóiparban
Optikai üveggyártás.
A gyorsacélok hőkezelése
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
LÉZER FEJLESZTÉS, GYÁRTÁS ÉS BÉRMUNKAVÉGZÉS A LASRAM KFT.-NÉL
Rólunk részletesen… Bemutatkozás Tevékenységeink Technológia
ASIMO Fejlesztésének története Felépítése, specifikációi
Partner a méréstechnikában és az elektronikai tesztelésben.
Egykristályok előállítása
a laboratórium egy chipen?
1 Kémia Atomi halmazok Balthazár Zsolt Apor Vilmos Katolikus Főiskola.
Nagyfeloldású Mikroszkópia Dr. Szabó István 9. Litográfia TÁMOP C-12/1/KONV projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő.
Az integrált áramkörök gyártása. Mi is az az integrált áramkör?  Több, néha igen sok alapelemet tartalmazó egyetlen, nem osztható egységben elkészített.
A gumi fizikája. Bevezetés Rendkívül rugalmas – akár 1000%-os deformáció Olcsó előállítás.
Készítette: Sovák Miklós Konzulens: Dr. Kiss Endre
Kristályrács molekulákból
Nanotechnológiai kísérletek
Miért fontos a plattírozott Al lemez előállítása?
a laboratórium egy chipen?
Kommunikáció, adatátvitel
Elektronikai technológia
2 mi 4800 ft = ______ ft.
SZAKASZVEZÉRLÉS (HORONYMARÁSI FELADATOK VÉGREHAJTÁSA)
Előadás másolata:

Ipari vékonyrétegek Lovics Riku Phd. hallgató

Áttekintés Solgél Aerosol technikák Fizikai leválasztási módszerek: Párologtatás Porlasztás Kémiai leválasztási módszerek: Plazmatámogatásos leválasztás Alacsony nyomásos leválasztás Légköri nyomásos leválasztás ALD technikák Kémiai / fizikai felület kezelési eljárások Flexibilis kondenzátor és akkumulátor Plazma polimerizáció Felület nitridizálás

Párologtatás Termikus párologtatás Elektronsugaras

Porlasztás DC porlasztás RF porlasztás Magnetronos porlasztás

Solgél Vivőközeggel rendelkező technika Gázfázisban a felviendő anyag Égetés vagy párologtatás Dekorációs eszközök, és üveg bevonatolás Őrülten nagy darabszámok. Óránként kb.126 db 1200 X 1600 üvegtábla

Solgél Zuhanyfej rendszer, mint szórófej Dűzni Gáz Hordozó Égetés, és hajtógázzal az égéstermék elszállítása

Plazma polimerizáció Szilícium alapú műanyag réteg Alkalmazási területek: Autólámpák Autótükrök Ékszerek Háztartási elektronika Dekorációs elemek

Plazma polimerizáció

Plazma polimerizáció Szilícium alapú műanyag rétegek Ilyen anyagok: Glipoxan HMDSO Galxyl Parylene Felületen 10nm vastag Super Top Layer – hosszú fluor mentes hidrocarbid lánc

Flexibilis hordozók Célgépek tömegtermelésre A szalag szélessége 450mm – 2500mm tartományban, a szalag haladási sebessége hangsebesség közeli. Gyártási idő 15-25 másodperc, ez körülbelül 2,5km szalag! Csak a képzelet szab határt annak, hogy mit érdemes és hasznos rugalmassá / flexibilissé tenni!

Flexibilis hordozok

Flexibilis hordozok

Plazmás Nitridizálás Pulzus-Plazma-Diffuzió Szerszám edzés Autóipari alkatrészek Repülőgép ipari alkatrészek pl.: Vágószerszám edzés nélkül 1.000 ciklus Vágószerszám edzéssel >1.000.000ciklus

Plazmás Nitridizálás 110m3 a kamra térfogata Folyamat közbeni nyomás 5 x 10-2 mbar Hőmérséklet 300-600 oC Lassú lehűtés Csak vezető anyagok keményíthetők így Egy ciklus 40-50 óra!!!

Köszönöm a figyelmüket Lovics Riku Phd. hallgató