Termomechanikus aktuátorok BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Székely Vladimír Budapest, 2007.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
1 groupement national interprofessionnel des semences et plants Vetőmagpiac forgalom az Európai Unióban Az EU vetőmag súlya a világ vetőmag termesztésében.
Advertisements

Szigorlati mintafeladat megoldása (folytatás)
21 Years of Partnership and Innovation 1989 Citrix Systems founded 2010 Citrix signed licensing agreement with Microsoft for NT Server Introduced Independent.
1 Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Villamosmérnöki és Informatikai Kar VET Villamos Művek és Környezet Csoport Budapest Egry József.
LED tápegységek - LED, mint villamos alkatrész
Neminvazív lélegeztetés COPD-ben
LED fotobiológia Schanda János és Csuti Péter Pannon Egyetem
Optikai sugázrás hatása az emberi bőrre és szemre
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Termikus kérdések, termikus elvű alrendszerek.
FÉLVEZETŐ-FIZIKAI ÖSSZEFOGLALÓ
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke A termikus tesztelés Székely Vladimír.
Korszakváltás az adapterek alkalmazásában
Korompai Dániel Naperőművek.
Feladatok Mikro és nanotechnika pót ZH-ra na meg pótpótZH-ra 
Egy kis lineáris algebra
Mérés és adatgyűjtés Szenzorok II. Mingesz Róbert
Számelmélet Matematika Matematika.
Védőgázas hegesztések
Pontok (ön) ? 40 pont!!! 38 Pont!! 34 Pont!!!31 Pont!!! 17 Pont!
VILÁGÍTÁSTECHNIKAI TÁRSASÁG LEDek alkalmazása a világítástechnikában
A hagyományos kardiovaszkuláris rizikófaktorok és a diabetes
POLYCYSTÁS OVÁRIUM SZINDROMÁS CSALÁD
Fénynél sebesebben? Kísérleti kétségek és remények ELTE, 2011 október 5.
SELF DIFFUSION BARRIERS IN INTEGRATED CIRCUITS Misják Fanni, Czigány Zsolt, Geszti Tamásné, Rudolf Ádám, Gurbán Sándor, Menyhárd Miklós, Radnóczi György.
Európai Neutronkutató Központ létesítése Magyarországon
AZ INAK ÉS SZALAGOK BIOMECHANIKÁJA
TÖMEGKÖZÉPPONT A kiterjedt test egy idealizált, elméletileg meghatározott pontja, amelyben a testszegmensek súlyerejének forgatónyomatéka nulla.
Akaratlagos izomkontrakció súly mozgatása kontrollált sebesség állandó sebesség változó az idő függvényében állandó gyorsulás (lineáris változó gyorsulás.
KONCENTRIKUS KONTRAKCIÓ Akaratlagos izomkontrakció.
A megértés körei Binzberger Viktor Budapest Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Filozófia és Tudománytörténet Tanszék.
Elektronikus Eszközök Tanszék
szakmérnök hallgatók számára
Válogatott fejezetek sejtbiológiából („VFSB”, BSc, biomérnök)
Válogatott fejezetek sejtbiológiából (BSc, biomérnök)
29. Feladat 6-7-es Termelő Kft..
41. feladat Könyvviteltan szemináriumi és gyakorló feladatok Budapesti Corvinus Egyetem, Számvitel tanszék 2007/2008. tanév.
Lineáris programozás és a szimplex módszer
Confidential All Rights reserved. © Chemistry Logic Ltd mag egy chip-en? Újrakonfigurálható rendszereken mindez ma lehetséges. Bérces Attila,
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
ZnO réteg adalékolása napelemkontaktus céljára
Zöld tetők és zöld falak Forrás:
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke A termikus tesztelés Székely Vladimír.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Az elektrosztatikus mozgatás Székely Vladimír Mizsei.
Megújuló energiaforrások – Lehetőségek és problémák
Termikus szimuláció kiegészítés. Heat equation Boundary conditions ­second kind (Neumann) ­third kind (Robin) ­first kind (Dirichlet)
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Integrált mikrorendszerek:
A térvezérelt tranzisztorok I.
A grafikus megjelenítés elvei
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Integrált áramkörök: áttekintés,
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudomanyi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1 Tokozások termikus tesztje, minősítése.
Készült az ERFP – DD2002 – HU – B – 01 szerzősésszámú projekt támogatásával Chapter 7 / 1 C h a p t e r 7 Behaviour of Plate Elements of Steel Frames.
Készült az ERFP – DD2002 – HU – B – 01 szerzősésszámú projekt támogatásával Chapter 6 / 1 C h a p t e r 6 Elastic Critical Plate Buckling Loads.
Készült az ERFP – DD2002 – HU – B – 01 szerzősésszámú projekt támogatásával Chapter 1 / 1 C h a p t e r 1 Introduction.
Tájföldrajzi megfigyelések a Szentendrei-szigeten
QualcoDuna interkalibráció Talaj- és levegövizsgálati körmérések évi értékelése (2007.) Dr. Biliczkiné Gaál Piroska VITUKI Kht. Minőségbiztosítási és Ellenőrzési.
1 Gyarapodó Köztársaság Növekvő gazdaság – csökkenő adók február 2.
Gyakorlat 10. Számítógép hálózatok I.
1 Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Villamosmérnöki és Informatikai Kar VET Villamos Művek és Környezet Csoport Budapest Egry József.
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Készítette: Horváth Viktória
Parametrikus programozás
Fej irányultságának becslése Ügyféltérben gyanús viselkedés jelzéséhez Kültéren kiegészítő hő szenzor szükséges.
IN-SITU MIKROMECHANIKAI DEFORMÁCIÓK Hegyi Ádám István május 27.
A KÖVETKEZŐKBEN SZÁMOZOTT KÉRDÉSEKET VAGY KÉPEKET LÁT SZÁMOZOTT KÉPLETEKKEL. ÍRJA A SZÁMOZOTT KÉRDÉSRE ADOTT VÁLASZT, VAGY A SZÁMOZOTT KÉPLET NEVÉT A VÁLASZÍV.
Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
FULLERÉNEK ÉS SZÉN NANOCSÖVEK előadás fizikus és vegyész hallgatóknak (2008 tavaszi félév – április 16.) Kürti Jenő ELTE Biológiai Fizika Tanszék
Előadás másolata:

Termomechanikus aktuátorok BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Székely Vladimír Budapest, 2007

Bent-beam electrothermal actuator L. Que et.al.:Bent-beam electrothermal actuators - Part I, Journal of Microelectromechanical systems, V.10,pp , 2001

Bent-beam electrothermal actuator Si beam, méretei 800x13,9x3,7  m, 5  m elmozdulás 180 mW teljesítmény mellett, 1-10 mN erő, 700 Hz sávszélesség

Bent-beam electrothermal actuator

Motor kétfokozatú megtört rúddal

Hőmérséklet eloszlás egy rúd mentén

Az élettartam vizsgálat eredményei A feltapadás elleni bütyök hatása Mind poli, mind egykristály Si 400 fok alatt dc üzem >1400 perc impulzus üzem >30 milllió ciklus Mind poli, mind egykristály Si 400 fok alatt dc üzem >1400 perc impulzus üzem >30 milllió ciklus

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó W=8 um D=34 um L=1000 um Anyag: Ni

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

P = 495  N T max 400 o C 3 V  670 mW

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Kétrudas meghajtó Hot arm width, WHOT (nm) 350 Hot arm length, LHOT (  m) 38 Cold arm width, WCOLD (  m) 1.5 Cold arm length, LCOLD (  m) 28.5 Flexure width, WFLEX (nm) 350 Flexure width, WFLEX (  m) 9.5 Sub-micron metallic electrothermal actuators Jeong-Soo Lee, Daniel Sang-Won Park, Arun Kumar Nallani,Gil-Sik Lee and Jeong-Bong Lee JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING

Kétrudas meghajtó Nickel Young’s modulus 200 GPa Poisson’s ratio 0.31 Thermal expansion coefficient, 17 ppm/K Thermal conductivity 91 W/(mK) Resistivity 15 µ  cm

MEMS integrált izzólámpa Electrical and Optical Characteristics of Vacuum-sealed Polysilicon Microlamps, C.H.Mastrangelo et. al. IEEE Trans. on El. Dev. V.39, No.6

MEMS integrált izzólámpa Optikai teljesítmény 0.25mW Spektrum maximum 2,5  m Az izzószál 510x5x1  m Fűtés 5 mW  1400K Thomson effektus!

Pirani elvű vákuummérő Fabrication and performance of a fully integrated  -Pirani pressure gauge with digital readout C.H.Mastrangelo, R.S.Muller

Pirani elvű vákuummérő

adalékolt poli-Si, vastagság 1 um, alatta 1,5 um gap, 0,02 ohmcm adalékolás. ON-CHIP HERMETIC PACKAGING ENABLED BY POST-DEPOSITION ELECTROCHEMICAL ETCHING OF POLYSILICON Rihui He and Chang-Jin “CJ” Kim

Megtört rudas nyúlásmérő