Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum Elektrokróm rétegek Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Bevezetés Mi az elektrokróm effektus? Reakítv porlasztás Rétegek minősitése Összefoglalás, következtetés
Mi az elektrokróm effektus? Chromos (görög) = szín Egy anyag színe változhat többféle hatásra (termo, foto, piezo …) Elektrokromizmus: színváltozás elektromos potenciál hatására Ismert anyagcsoportok, amelyeken ilyen hatás fellép: szerves pigmentek (reverzibilis redox reakciók) vezető polimerek (polaron képződés) fémoxidok
Alkalmazási területek Kijelzők Tükrök és üvegek („Smart windows”) Autóipar Optikai szűrők
Építészeti alkalmazás
Az eszköz keresztmetszete Mo vagy W oxid aktív réteg Elv: reverzibilis elektrokémiai reakció a MoO3 rétegben
MoO3 rétegépítés : reaktív magnetron porlasztás Önfenntartó kisülés (plazma) – DC, RF Reaktív: oxigén szerepe Paraméterek: gáznyomás, teljesítmény, munkatávolság Magnetron elve: ionizációs hatásfok növelése, „sűrűbb” plazma
A rétegleválasztó berendezés
Leválasztott rétegek minősítése Rétegvastagság mint a fő porlasztási paraméterek (gázarány, teljesítmény ) függvénye Optikai tulajdonságok (transzmisszió) Kristályszerkezet, sávszerkezet – XRD, SEM, TEM, PL …
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása G=konstans S=aP+b a=k1G+k2 b=k3G+k4 S=(k1G+k2)P+k3G+k4 S:[nm/ciklus] P:[W] G: % m/m
Kiértékelés I. – Rétegépülési sebesség leírása Mérési pontok eloszlása Illesztett függvény
Kiértékelés II. - Transzmisszió (1/d(lnI/I0)Eg)2 MoO3 rétegek transzmissziós spektrumai Sávél változása Sávél felett: reflexió miatti minimumok-maximumok Kiértékelt spektrumok Tiltott sáv függése a leválasztási paraméterektől
Összefoglalás Reaktív porlasztással választottam le MoO3 rétegeket Rétegépülési sebesség leírása illesztett tapasztati függvénnyel Transzmissziós tulajdonságok mérése
Köszönöm a figyelmet!