MFA Nyári Iskola 2009. június 22. - 26. Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
„Esélyteremtés és értékalakulás” Konferencia Megyeháza Kaposvár, 2009
Advertisements

Galvánelemek és akkumulátorok
Energetikai folyamatok és berendezések
Az országos pedagógiai-szakmai ellenőrzés rendszere – TÁMOP 3.1.8
Második nap DVD LUMINEERS PLACEMENT. Második nap DVD LUMINEERS PLACEMENT.
AGMI Anyagvizsgáló és Minőségellenőrző Rt. Anyagvizsgálati Üzletág
Pincehely Lakhely, általános iskola Ozora.
A félvezető dióda (2. rész)
© Gács Iván (BME) 1/15 Energia és környezet Kéndioxid és kéntrioxid kibocsátás, csökkentésének lehetőségei.
Dr. Mizsei János előadásai alapján készítette Balotai Péter
Polietilén gázvezetékek hegesztett kötéseinek jellemző meghibásodásai Műanyagvizsgáló Laboratórium Kasik Zoltán szeptember 16.
Amikor nagyon éhesnek érzed magadat, látogass be a Waldgeist Hofheim étterembe. Itt szolgálják fel a legnagyobb bécsi szeletet. A tányérok egy pizza méretei!
Bevezetés Hegesztő eljárások Fémek hegeszthetősége
A diasor csak segédanyag, kiegészítés az előadáshoz!
KOLLOID OLDATOK.
MOLNÁR LÁSZLÓ MILÁN adjunktus február 9.
STM nanolitográfia Készítette: VARGA Márton,
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Nanorészecskék és nanorészecskés bevonatok készítése Készítette: Benedek Ádám Mentor: Fülöp Eszter MFA Nyári Iskola 2010.
Nanorészecskés bevonatok Pósa Vivien, Bolyai Tehetséggondozó Gimn., Zenta Berekméri Evelin, Bolyai Farkas Elm. Lic., Marosvásárhely MFA Nyári Iskola 2013.
1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
VOLFRÁM-OXID NANOSZÁLAK VIZSGÁLATA ÉS ELŐÁLLÍTÁSA ELECTROSPINNINGEL MFA NYÁRI ISKOLA 2010 BALÁSI SZABOLCS JÚNIUS 25.
Mérések ellipszométerrel - Fehérjerétegek vizsgálata
Volfrám-oxid nanoszálak előállítása elektrospinninggel
Sajtódigitalizálás a könyvtárban Czupi Gyula Halis István Városi Könyvtár Nagykanizsa A Magyar Elektronikus Könyvtárért Egyesület rendezvénye június.
A szelektív gyűjtés helyzete, eredményei Kommunikációs kihívások
Ózon előállítás villamos kisülések segítségével
Hegeszthetőség és hegesztett kötések vizsgálata
Gyors mikrobiológiai módszerek
Hegesztés Bevezetés.
FORRASZTÁS.
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
Grafit vizsgálata STM-mel és AFM-mel Készítette: Kovács Máté, Tanára:Győri István, Ságvári Endre Gyakorló Gimnázium, Szeged.
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Témavezető: Bíró Ferenc
Frank György, Berzsenyi Dániel E. Gimnázium, Sopron
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Ellipszométeres mérések Fehérjék és aminosavak leválasztása és optikai modell készítése Kovács Kinga Dóra ELTE Apáczai Csere János Gyakorlógimnázium és.
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Hidroxiapatit alapú biokompatibilis nanokompozitok előállítása
Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Rendezett ZnO nanorudak előállítása és vizsgálata Készítette: Horváth Balázs Batthyány Lajos Gimnázium,
Bipoláris technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
Fehérjerétegek leválasztása és vizsgálata Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet (MTA-MFA), Budapest Lovassy László Gimnázium, Veszprém Janosov.
A főzőedénytől a nanoméretű eszközig: lépések a nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása felé Szemes Gábor Bence Garay János Gimnázium, Szekszárd MTA-MFA.
#07D – Nanorészecskék és filmjeik MFA Nyári Iskola Beszámoló #07D – Nanorészecskék és filmjeik Boldizsár Bálint Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel.
A projekt K+F tevékenységének szakmai háttere a hétköznapok tükrében Dr. Márkus Róbert - egyetemi adjunktus Ferenczi Tibor - mérnöktanár Tisza Kálmán-
VASVÁRI GYÖRGY Gyémánt diplomás villamos mérnök NJSZT és ISACA életműdíjas Az M-3 elektromos szerelése
Pontosabb számításhoz Ha Z1=0, α=0.5 és β=0.81
Hólyagosodással járó károsodások
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
Fekete István. (Gölle, január 25. – Budapest, június 23.) író, számos ifjúsági könyv és állattörténet írója. Barátjával, Csathó Kálmánnal.
a laboratórium egy chipen?
#07D – Nanorészecskék és filmjeik MFA Nyári Iskola Beszámoló #07D – Nanorészecskék és filmjeik Pusztai Árpád Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel.
Mágneses anyagvizsgálat és képalkotás Készítette: Oláh Attila Témavezető: Dr. Gasparics Antal MFA Nyári Iskola Csillebérc.
Nanotechnológiai kísérletek
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Bioinert titán-karbid/amorf szén és biopolimer-HAp-bevonat fejlesztése
Balogh Ádám Mentorok: Pothorszky Szilárd Zámbó Dániel
Társított és összetett rendszerek
NANOMECHANIKAI KÍSÉRLETEK
A szkenner (Lapolvasó)
Itt szolgálják fel a legnagyobb bécsi szeletet.
Szakiskolai fejlesztési program
Előadás másolata:

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 1 1 Mikroelektronikai szeletkötés kialakítása és vizsgálata MTA MFA Mentor: Dr. Pap Andrea

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 2 2 A szeletkötés felhasználási területei Összetett, többrétegű MEMS struktúrák kialakítása. Csomagolás, tokozás (packaging). 3D struktúrák kialakítása. Többrétegű áramkörök – összeköttetések kialakítása

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 3 3 Szeletkötések fajtái: Termokompressziós szeletkötés - Si -400°C, 4h, 1600mBar Anódos szeletkötés -Si - Pyrex üveg -380°C, 10 min, -1000V -380°C, 10 min, -2000V

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 4 4 Termokompressziós szeletkötés létrehozása 1.Szeletek előkészítése RCA tisztítással, majd kezelés ultrahangos rázóban 2.Szeletek behelyezése a szeletkötő berendezésbe, ami létrehozza az összeköttetést a két Si szelet között. Hidrofil, -OH csoportokat tartalmazó két Si felület között a végleges kötést Si-O-Si alakítja ki. 3.Minősítés

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 5 5 Szeletkötő berendezés

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 6 6 Vezérlőszoftver

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 7 7 Anódos szeletkötés létrehozása 1.Szeletek előkészítése RCA tisztítással 2.Si szelet és Pyrex üveg behelyezése a szeletkötő berendezésbe, ami létrehozza közöttük az összeköttetést. Az alkalmazott magas feszültség hatására ionáram indul meg az üveg és a Si (Na + és O 2- ) között. Végeredményként Si-O-Si kötés alakul ki. 3.Minősítés

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 8 8 Vizsgálat és minősítés infra kamerával Termokompressziós szeletkötés: Számított felületi energia: 8.57 N/m

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 9 9 Anódos szeletkötéskötés: a kötés olyan erős hogy a pengét nem tudtuk betolni a Si szelet és a Pyrex üveg közé Felületi energia: nagyságrendekkel nagyobb -1000V-on -2000V-on

MFA Nyári Iskola június Nickl István – 10 MFA Nyári Iskola június Nickl István – 10 Köszönöm a figyelmet!