Transzmissziós elektronmikroszkóp Molnár Janka Sára Mentor: Kiss Koppány Ákos 2012.06.25-29
Vázlat Működése Üzemmód Mérések, Kísérletek Összegzés
Működése Katód Elektron nyaláb Minta Objektív lencse Ernyő Működési elv ~ fénymikroszkóp Elektromágneses lencsék Sokoldalú használat (analitika, anyagszerkezet)
Üzemmódok Orientáció vizsgálata: a fókuszsíkban látott mintázat szoros kapcsolatban van a kristály és a sugár viszonyával, azaz a minta orientációjával. Diffrakciós üzemmód: a lencse fókuszsíkja vetül ki az ernyőre Képi üzemmód: a lencse képsíkja vetül ki az ernyőre
Kísérlet 001 101 111 Indexelés
Minta 2 µm Hordozó: Si + vékony SiO TiN, kevés O2 TiN, több O2 1 2 3 Növekedés iránya: - piros 001 - kék 111
Technikai hibák Zöld: Si Piros: TiN HIBA!!! 001 101 111
TiN orientációja 001 101 111
Összegzés Elektronmikroszkóp használata Nagyon érdekes kísérlet Hasznos információk
Köszönöm a megtisztelő figyelmet! Köszönetnyilvánítás: Dr. Daróczi Csaba Sándor Kiss Koppány Ákos Szívós János