Plazmafizikai kutatások az EMTE marosvásárhelyi karán dr. Kenéz Lajos előadótanár Sapientia – Erdélyi Magyar Tudományegyetem Marosvásárhely Kolozsvár, 2011. október 21.
nanokomopzit vékonyrétegek előállítása elektronmikroszkópia Kutató csoportok dr. Bíró Domokos fizikus, előadótanár dr. Kenéz Lajos fizikus, előadótanár Anyagtudomány Plazmafizika nanokomopzit vékonyrétegek előállítása elektronmikroszkópia plazmadiagnosztika ionforrás-fizika -mérnök kollégák dr. Kutasi Nimród dr. Kelemen András drd. Papp Sándor -technikus kollégák drd. Jakab-Farkas László, fizikus Szöllősi István dr. Filep Emőd fizikus, nyugdíjas mérnök hallgatók (automatizálás, számítástechnika, mechatronika)
1. Elektron Ciklotron Rezonanciás Ionforrás (ECR) kutatás Kutatási terület 1. Elektron Ciklotron Rezonanciás Ionforrás (ECR) kutatás 2. Ionnyaláb elállítás ECR és PIG ionforrások segítségével 3. Lineáris non-izoterm plazmagenerátor fejlesztése 4. Lokális plazmadiagnosztika Langmuir-szondák segítségével
Jelenlegi kutatási bázis Tokyo Institute of Technology – prof. Toshiyuki Hattori - PIG ionforrás - alacsony frekvenciás ECR ionforrás - nyaláb előállító és analizáló rendszer
Jelenlegi kutatási bázis Tokyo Institute of Technology – prof. Toshiyuki Hattori - alacsony frekvenciás ECR ionforrás
felületkezelés nitrogén-hidrogén plazmában szabályozás-technika Jelenlegi kutatási bázis Plazmaterm KFT. – NITRION 10 lineáris non-izoterm plazmareaktor (DCPN) dr. Filep Emőd DCPN plazmareakor ASPN plazmareakor eszközfejlesztés plazmadiagnosztika felületkezelés nitrogén-hidrogén plazmában szabályozás-technika
Jövőbeli tervek National Institute for Radiologycal Sciences (NIRS) Japán – prof. Atsushi Kitagawa Tokyo Institute of Technology (TiTech) Japán – prof. Toshiyuki Hattori Ion-implantáló rendszer - ECR ionforrás - lineáris gyorsító - ion-implantásó egység Ion-gyorsító és anyagvizsgálati rendszer - ECR ionforrás - lineáris gyorsító - ESCA-SIMS egység
Jövőbeli tervek National Institute for Radiologycal Sciences (NIRS) Japán – prof. Atsushi Kitagawa – prof. Toshiyuki Hattori
Köszönöm megtisztelő figyelmüket!