IBRIKSZ TAMÁS Fókuszvariációs 3D felületi topográfiai mikroszkóp gyakorlati alkalmazása

- Alicona InfiniteFocus 3D fókuszvariációs mikroszkóp működése - Alkalmazási példák Június 1.2 Bevezetés/Tartalom Ibriksz Tamás –

- Alicona InfiniteFocus mikroszkóp Június 1.3 Ismertetés Ibriksz Tamás –

- Mélységélesség (DOF) Június 1.4 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás –

1 - szenzor 2 - lencsék 3 - fényforrás 4 - tükör 5 - objektív 6 - minta 7 - vertikális pásztázás 8 - fókusz görbe 9 - fény nyaláb 10 - analizátor 11 - polarizátor 12 - körfény Június 1.5 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás –

- Joystick mozgatása vagy távolság megadása Június 1.6 Működés, irányítás Ibriksz Tamás –

- Alsó- és felső határ (fókuszsík) beállítása Június 1.7 Fókuszvariáció, működési elv Ibriksz Tamás –

- felületi 3D modell Június 1.8 Működés Ibriksz Tamás –

2016. Június 1.9 Működés, paraméterek Ibriksz Tamás – Mozgatási távolság (X-Y-Z)mm100 Max. terhelhetőségkg35 (tárgyasztal szélén: 8-13) Objektív 2.5x5x10x20x50x100x Laterális optikai felbontásµm5,62,21,10,80,60,4 Max. szkennelési magasságmm ,2 Függőleges felbontás (low speed)nm Függőleges felbontás (high speed)nm Szkennelési sebesség (low)µm/s2051,30,50,20,08 Szkennelési sebesség (high)µm/s ,5 Munkatávolságmm8,825,517,313,010,13,5 Látómező Xµm Látómező Yµm Max. látómező (mozaik)mm

- Modulok (érdességmérés) Június 1.10 Működés Ibriksz Tamás – Ra=5,994 µm

- Modulok (profilmérés) Június 1.11 Működés Ibriksz Tamás – ~265 µm ~7,87 mm

- 3D nyomtatott fröccsöntő szerszámbetét kopása Június 1.12 Példák Ibriksz Tamás –

Június 1.13 Példák Ibriksz Tamás – ~80 µm

Június 1.14 Példák Ibriksz Tamás –

- Mikroszikraforgácsolt kerámia vizsgálata Június 1.15 Példák Ibriksz Tamás –

- profil Június 1.16 Példák Ibriksz Tamás – ~22 µm

- profil Június 1.17 Példák Ibriksz Tamás – ~66 µm

- Turbinalapát replika vizsgálata (mintalevétel) Június 1.18 Példák Ibriksz Tamás –

- Turbinalapát replika Június 1.19 Példák Ibriksz Tamás –

Június 1.20 Példák Ibriksz Tamás –

Június 1.21 Példák Ibriksz Tamás – ~137 µm

- Kazánreplika Június 1.22 Példák Ibriksz Tamás –

- Kazánreplika Június 1.23 Példák Ibriksz Tamás –

- Kazánreplika Június 1.24 Példák Ibriksz Tamás –

- Kazánreplika Június 1.25 Példák Ibriksz Tamás –

Köszönöm megtisztelő figyelmüket! Június 1.26 Ibriksz Tamás –