Készítette: Földváry Árpád

Az előadások a következő témára: "Készítette: Földváry Árpád"— Előadás másolata:

1 Készítette: Földváry Árpád e-mail: foldvary@eet.bme.hu
3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád

2 Litográfia Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

3 Negatív litográfia Negatív lakk:
A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva. UV fény Ábra a maszkon Előhívás után megmaradt lakk Megvilágított terület a lakkon Ablak Si szelet Lakk Oxid Árnyékolt terület a lakkon Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

4 Pozitív litográfia Pozitív lakk:
A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva. UV fény Előhívás után megmaradt lakk Ábra a maszk Árnyékolt terület a lakkon Ablak Si szelet Lakk Oxid photoresist silicon substrate oxide Megvilágított terület a lakkon Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

5 Fotolitográfia lépései
UV fény Maszk  4) Pozícionálás, megvilágítás 1) Nedvesség eltávolítása Lakk 2) Lakk felcentrifugálása 3) Beszárítás 6) Beégetés 5) Előhívás 7) Előhívás ellenőrzése Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

6 Lakkfelvitel eszközei
Y X q 4 dimenzióban mozgatható fúvóka Lakk adagoló fúvóka Lakk áramlás Áramló levegő Szelet Rozsdamentes acél tál Vákuumos szelettartó Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás (EBR) Levegő elszívás Maradék lakk elvezetése Motor Vákuum Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

7 Fotolitográfiai gyártósor
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

8 Vákuumtechnika Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

9 Vákuumrendszer általános felépítése
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

10 Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú
Szívási sebesség 1-300m3/óra Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) ,001 mbar (kétfokozatú) Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

11 Elővákuum mérése: Termopár
Mérési elv a hővezetésen alapul Méréshatár: 0,001mbar Szál elkoszolódhat, kiéghet Lassú Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

12 Elővákuum mérése: Pirani mérő
Legelterjedtebb Méréshatár: 2-0,001mbar Gyors W szál elkoszolódhat, kiéghet Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

13 Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
Nagyon elterjedt Egyszerű felépítés Könnyen tisztítható, javítható Szívási sebesség mérettől függ: l/s Végvákuum: ~10-8 mbar Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

14 Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

15 Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú
Nagyon elterjedt Szívási sebesség mérettől függ: l/s Végvákuum: ~10-10 mbar Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

16 Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő
Széles mérési tartomány: 10-2 – mbar Egyszerű Kiéghet a fűtött katód Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

17 Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

18 Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő
Nincs fűtött katód, nem éghet ki Kisebb pontosság Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

19 Fémréteg leválasztási módszerek
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

20 CVD (Chemical Vapor Deposition)
1) Reagens felhő CVD reaktor Gáz befújás 7) Melléktermékek deszorpciója 8) Melléktermék eltávolítás 2) Előreakciók Melléktermék Elszívás 3) Gáz molekulák diffúziója 5) A vegyület bediffundál a hordozóba 6) Felületi reakciók Vékony réteg 4) Vegyület abszorpciója Hordozó Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

21 LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
Három zónás fűtés Nyomás mérő Kifújás a vákuum szivattyúhoz Gáz bemenet Termoelemek Termoelemek Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

22 Katódporlasztás Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

23 Vákuumgőzölés Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

24 Vákuumgőzölés módjai A gőzölés történhet: Huzalról Tégelyből Csónakból
Elektron sugárral A tartó anyaga lehet: Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo). Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

25 Elektronsugaras gőzölés
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

26 Vákuumgőzölő Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

27 Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

28 Kontaktusréteg kialakítása
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

29 Kontaktus réteg a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg
b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg leválasztással Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

30 Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

31 Eltemetett vezetőréteg
Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat