Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia

Az előadások a következő témára: "Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia"— Előadás másolata:

1 Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
Készítette: Némedi-Varga Bálint Témavezető: Fogarassy Zsolt Tanáraim: Alapiné Ecseri Éva, K. Szabó László

2 Rod-sol A nyári iskola keretében az intézetben folyó Rod-sol európai uniós projektbe kapcsolódtam be. ( Cél: újfajta, nagyobb hatásfokú vékonyréteg technológiával kialakított napelemek kifejlesztése.

3 Két különböző eljárással készített mintát vizsgáltam
Jénában és Halléban készültek Az intézetben a minták szerkezet vizsgálatát végzik Au növesztés Ag segítségével maratott minta

4 Ag segítségével maratott minta vizsgálata
Minta előkészítés: ionsugaras vékonyítás Ezt a Philips 200kV-s TEM-mel vizsgáltuk EDS analízis 0 Ag Világos látóterű kép (BF)

5 Au növesztéses tech. Minta előkészítés: ultrahangos fürdő
JEOL 300kV-os HRTEM-es vizsgálat Si rács Amorf C

6 Au növesztéses tech. HRTEM kép EELS elemtérkép Si Au ARANY SZILICIUM

7 Összefoglalás Az elektronmikroszkóp segítségével információkat nyertünk a vizsgált minták mikroszkopikus tulajdonságairól. Mindezeket felhasználhatjuk a gyártási technológia optimalizálására.

8 Köszönetnyilvánítás Mentoromnak: Fogarassy Zsoltnak
Tanáraimnak: Alapiné Ecseri Évának, K. Szabó Lászlónak, Jeneiné Horváth Kingának Az MFA intézetének illetve a Nyári Iskola szervezőinek, külön Daróczi Csabának Vékonyréteg-fizika osztály dolgozóinak

9 Köszönöm a figyelmet!