Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata

Az előadások a következő témára: "Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata"— Előadás másolata:

1 Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Készítette: Borszuk Adrienn Vetési Albert Gimnázium, Veszprém Vezető: Kárpáti Tamás 2011. június 27 – július 1. MFA Nyári Iskola

2 Kapacitív nyomásmérő kialakításának folyamata mikrotechnológiai szeletkötéssel
Si szelet üveg szelet bondolás darabolás chip tokozás

3 Anódos szeletkötés Üveg szelet Borofloat 33, 500µm vastagság Si szelet
Az üvegben, az elmozduló Na+ ionok helyhez kötött negatív töltésű oxigén molekulákat hagynak hátra. Ezáltal a két szelet között elektrosztatikus vonzó erő jön létre.

4 Alkalmazott berendezések

5 Összekötött szeletpár

6 Illesztés, hibajelenségek
Szeletillesztés Newton gyűrűk Lyukas membrán

7 A kötés paraméterei: Hőmérséklet: 200 °C Feszültség: -1000 V
Idő: 40 min Vákuum: 10-3 mbar Présnyomás: 1000 mbar A kötés erőssége szakítószilárdság méréssel: 34 MPa (1 chip)

8 MEMS kapacitív nyomásmérő
100°C feletti működés 1000 mbar alatti méréstartomány kapacitív mérési elv

9 Köszönöm a figyelmet! Köszönetnyilvánítás
Az MFA-nak a Nyári Iskola lehetőségéért; Daróczi Csaba Sándornak a segítségéért; mentoromnak, Kárpáti Tamásnak; Erős Magdolnának; és a Mikrotechnológiai osztály összes dolgozójának.