Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel

Az előadások a következő témára: "Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel"— Előadás másolata:

1 Ismerkedés a mikropellisztor típusú gázérzékelőkkel
Készítette: Szigeti Bertalan György Veszprém, Lovassy László Gimnázium Tanárom: Varga Vince

2 A makropellisztortól a mikropellisztorig
MEMS- technológia Porózus Al2O3 mátrixban diszpergált finomszemcsés Pt- katalizátor Pt fűtőszál

3 A működési elv Levegő- éghető gáz keverék + Pt katalizátor
Katalitikus égés Termikus energia felszabadulás Ellenállás változás – Wheatstone- híd Hőmérsékletváltozás okai: Gázáramlás hűtőhatása Környezet hőmérséklet változása

4 Gázérzékelő chipek előkészítése a teszthez
Egy szilícium-szeleten több száz egyforma chip A szelet fűrészelése Chipek válogatása ép hidak alapján

5 Chipek elektromos tesztelése
Tűs mérővel mérjük a platina fűtőszálának ellenállását (jelenlegi technológiával átlagosan Ω)

6 Chipek termikus vizsgálata
A hotplate fűtőellenállásának hőmérséklete a fűtőáram függvényében áramgenerátoros meghajtás esetén. A platina meander lineáris temperatúra koefficiense 1,9*10-3 1/ºC.

7 Gázérzékelő chipek tokozása
A chipek tokozása DIL16- os és TO12-es fémtokokkal történik. A chip kikötése 50µm-es alumíniumhuzallal

8 A katalizátor anyag felvitele és a kalcinálás folyamata
A katalizátor alapanyaga hexaklór platinasav + Al2O3 + oldószer (víz vagy glicerin) Passzív bevonat: Al2O3 + víz Felvitele: dip&drop technika Kalcinálás (kiégetés): a hotplate saját fűtésével (áramgenerátor, mikroszkóp és színváltozás)

9 A gázérzékelés mikropellisztorral
Tömegáram szabályozók Mágnesszelepek Tesztkamra Keithley 2000 áramgenerátor Gázvezérlő rendszer Sűrített levegő Mérőgázok és szabályozók

10 A tesztkamra és mérési paraméterek
Mérőgáz: propángáz- sűrített levegő keveréke Pellisztor fűtőáram: 7 mA Gázciklusok: 4*60 s levegő, 3*60 s propán+levegő , 1*120 s propán+levegő

11 P+L

12 Köszönetnyilvánítás Először is köszönöm a lehetőséget a Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet vezetőjének, illetve Nyári Iskola szervező bizottságának, hogy részt vehettem az MFA-ban folyó kutatási munkában. Köszönöm a segítséget mentoromnak, Bíró Ferencnek és a Mikrotechnológia Osztály dolgozóinak, akik nélkül nem boldogultam volna. Köszönöm tanáromnak, Varga Vince Tanár Úrnak, hogy támogatott a tanulmányaim során. Végezetül köszönöm szépen a családomnak, hogy ezúttal is számíthattam rájuk.

13 Köszönöm szépen a figyelmet!