Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
1
Nanotechnológiai kísérletek
Lévay Mátyás Udvardi Péter 1
2
Technológia Elektronsugaras litográfia 20nm-es pontosság
Viszonylag gyors eljárás 2
3
Alumínium réteg leválasztása
Lépései Tervezés Resist felvitele Expozíció Hordozó előkészítése Lift-off Alumínium réteg leválasztása Előhívás Kész
4
50µm×120µm méretű MFA felirat
Eredmény 50µm×120µm méretű MFA felirat
5
Mérések, ellenőrzés Optikai mikroszkóp Pásztázó elektronmikroszkóp
Atomi erő mikroszkóp (AFM)
6
Optikai mikroszkópos képek
Visszavert fénnyel Átmenő fénnyel
7
Pásztázó elektronmikroszkópos képek
8
AFM-es képek
9
Köszönjük a figyelmet és mentorainknak a segítséget!
Dr. Lukács István Dr. Volk János
Hasonló előadás
