Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
DINO LITE DIGITÁLIS MIKROSZKÓP.
Advertisements

LEO 1540 XB Nanomegmunkáló Rendszer
A monolit technika alaplépései
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Termikus kérdések, termikus elvű alrendszerek.
Az optikák tulajdonságai
Budapest University of Technology and Economics Elektronikus Eszközök Tanszéke mikofluidika.eet.bme.hu Nagy átbocsátóképességű nanokalorimetriás Lab-on-a-Chip.
MEMS alkalmazása az űrben
MEMS mikrorelé és nanorelé MEMS mikrorelé: Bognár György NEMS nanorelé: Szabó Péter VLSI előadás Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem.
Magyar Mérnökakadémia ELEKTROMÁGNESES KÖRNYEZETVÉDELEM
A térvezérelt tranzisztorok I.
MOS integrált áramkörök alkatelemei
MIKROÁRAMKÖRI TECHNOLÓGIÁK
Felületi plazmonok optikai vizsgálata
Feladatok Mikro és nanotechnika pót ZH-ra na meg pótpótZH-ra 
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 18.
CMOS technológia a nanométeres tartományban
TH SM ALKATRÉSZEK.
REZGŐ TÜKRÖK A KVANTUMVILÁG HATÁRÁN
Szélességi bejárás , 0.
NC - CNC.
Ez a dokumentum az Európai Unió pénzügyi támogatásával valósult meg. A dokumentum tartalmáért teljes mértékben Szegedi Tudományegyetem vállalja a felelősséget,
NC - CNC.
TRANSZMISSZIÓS ELEKTRONMIKROSZKÓP (TEM)
Optikai meghajtók. CD (Compact Disc) 1978 Philips – LaserVision –Filmek optikai tárolón –Kevés siker 1982 – Philips+Sony –audio tárolásra –Bakelit leváltása.
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Elektronikus Eszközök Tanszék
MOS integrált áramkörök Mikroelektronika és Technológia BME Elektronikus Eszközök Tanszéke 1999 október.
Honfy József egyetemi adjunktus SZÉCHENYI I. EGYETEM Távközlési Tanszék Honfy József egyetemi adjunktus SZÉCHENYI I. EGYETEM Távközlési Tanszék
Szemelvények törésmechanikai feladatokból Horváthné Dr. Varga Ágnes egyetemi docens Miskolci Egyetem, Mechanikai Tanszék.
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
Témavezető: Bíró Ferenc
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
Mikroelektronikai szeletkötések kialakítása és vizsgálata
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Integrált mikrorendszerek II. MEMS = Micro-Electro-
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Az elektrosztatikus mozgatás Székely Vladimír Mizsei.
Termomechanikus aktuátorok BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Székely Vladimír Budapest, 2007.
A fésűs meghajtó Nézzük meg, hogy mi a legcélszerűbb kialakítása az elektrosztatikus mozgató szerkezetnek! Céljaink: nagy erőhatást szeretnénk, tehát dC/dx.
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
RF MEMS Microrelays Készítette: Bognár György 2003 május 6. VLSI előadás Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Integrált mikrorendszerek:
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Lesz-e szilíciumon világító dióda?
Megalehetőségek a nanovilágban
ELEKTRONIKAI TECHNOLÓGIA 5. Fotonikai elemek és technológiák 5/5 1.CCD vagy CMOS 2.Kivetitők 3.Érzékelők.
Számítógépes grafika Bevezetés
A méréshatárok kiterjesztése Méréshatár váltás
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Felbontás és kiértékelés lehetőségei a termográfiában
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 A pn átmenet működése: Sztatikus.
IN-SITU MIKROMECHANIKAI DEFORMÁCIÓK Hegyi Ádám István május 27.
Optikai lemezek jellemzői, típusai
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
AZ EGÉR.
Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
A FONTOSABB MÓDSZEREK:
A DIGITÁLIS FÉNYKÉPEZŐGÉP
Az egér.
Digitális tábla az oktatásban Class Mate PC és a digitális tábla alkalmazása az iskolai tanórán.
2014. április 16. Udvarhelyi Nándor NYOMÁSMÉRÉS. Nyomás: Definició: A nyomás egy intenzív állapothatározó, megadja az egységnyi felületre merőlegesen.
Vállcsapágyak miniatűr kivitelben
Hardver.
Nanotechnológiai kísérletek
Gázérzékelők Módszerek: Reakcióhő mérése alapján
Automatikai építőelemek 3.
Automatikai építőelemek 3.
Előadás másolata:

Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems

Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200  m, vastagság 3-4  m HOGYAN KÉSZÜL?

A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függõ, szelektív marás A felület: sík sík síkok síkok

Alkalmazás: gyorsulásmérõ, rezgésmérõ Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelõ (hídkapcsolásban)

Gyorsulásmérő Szeizmikus tömeg

A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO 2 a poli alatt

Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat

Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés “comb-drive”

Elektrosztatikus mozgatás comb-drive

Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés

Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor

A mikro-motor légrése és csapágyazása

Mikro-manipulátorok

Mikro-manipulátorok a meghajtás

Elektro-mechanikus kapcsoló (mikrohullámú hullámvezetőben)

Elektrosztatikus mozgatás: billenõtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System

Digital Micromirror Device (DMD) Árnyalatos kép: impulzus szélesség modulációval

Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör Torziós függesztés, a tükör nélkül

Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör A tokozott chip

Optikai kapcsolók (elektro-sztatikusan mozgatott mikrotükrök)

A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, elõhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!