Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems
Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!
Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m HOGYAN KÉSZÜL?
A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függõ, szelektív marás A felület: sík sík síkok síkok
Alkalmazás: gyorsulásmérõ, rezgésmérõ Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelõ (hídkapcsolásban)
Gyorsulásmérő Szeizmikus tömeg
A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO 2 a poli alatt
Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat
Függesztett membrán, feláldozandó réteggel
Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés “comb-drive”
Elektrosztatikus mozgatás comb-drive
Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés
Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor
A mikro-motor légrése és csapágyazása
Mikro-manipulátorok
Mikro-manipulátorok a meghajtás
Elektro-mechanikus kapcsoló (mikrohullámú hullámvezetőben)
Elektrosztatikus mozgatás: billenõtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System
Digital Micromirror Device (DMD) Árnyalatos kép: impulzus szélesség modulációval
Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör Torziós függesztés, a tükör nélkül
Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör A tokozott chip
Optikai kapcsolók (elektro-sztatikusan mozgatott mikrotükrök)
A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, elõhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!