Anyagtudományi vizsgálati módszerek Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM) Elektronsugaras mikroanalízis (EPMA)

Mikroszkópos leképezési technikák összehasonlítása

½ m·v2 = e· U A c sebességű, m mozgási tömegű részecske hullámhossza: E = m·c2 c = λ· de Broglie Az U feszültséggel gyorsított elektron kinetikus energiája: ½ m·v2 = e· U Az elektron hullámhossza: A 20 kV feszültséggel gyorsított elektron hullámhossza:

A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) felépítése

A Wehnelt termoemissziós katód felépítése

Elektromosan nem vezető minták bevonása, a vezető réteg vastagságának hatása a kép minőségére

Az e- sugárzás keltette jelenségek a mintában Szekunder elektronok Visszaszórt elektronok Abszorbeált elektronok Karakterisztikus röntgensugárzás Folytonos röntgensugárzás Fényemisszió Elektronsugár indukálta áram

Szekunder ill. visszaszórt e- keletkezése

A röntgen- ill. elektronsugárzás által kiváltott jelenségek

Everhart-Thornley detektor (szekunder(SE) és visszaszórt(BSE) elektronok detektálására)

Félvezető detektor (visszaszórt elektronok (BSE) detektálására)

Félvezető detektorok kapcsolása A világos terület főleg réz (Cu) a sötétebb pedig főleg alumínium (Al)

Az elektronsugaras mikroanalízis detektálási lehetőségei EDS WDS EDS

Detektorok Környezetszimuláló Energiadiszperzív szekunder elektron-kép (LVSE) Energiadiszperzív analizátor (EDS) Visszaszórt elektron-kép (BEI) Szekunder elektron-kép (SEI)

Technikai jellemzők Termoemissziós volfrám katód Gyorsítófeszültség: 0,5 – 30kV Nagyítás: x 18 – x 300.000 Felbontás: 3,5nm (SEI) ill. 5,0nm (BEI) Munkatávolság: 5 és 48 mm között Mikroanalízis: spektrum, pontanalízis, vonalanalízis, röntgentérkép (szénnél nagyobb rendszámú elemek)

Mintaelőkészítés mintatartó: réz műanyag bevonat: Au/Pd szén

Optikai vizsgálatok Digitális kamera Megvilágítás: alsó felső Hőmérséklet-programozó Fűthető tárgyasztal

Haj morfológiai vizsgálata Novák Csaba

Kristálymorfológia vizsgálata Kodein acetát Kodein bázis Kodein hidroklorid Kodein foszfát Novák Csaba

Polimerek vizsgálata Márton Andrea, Marosi György

Polimerek vizsgálata Pozsgay Tünde, Pozsgay András, Pukánszky Béla

Aktív szenek vizsgálata polietilén tereftalát 6 óra szobahőmérsékleten 3 óra forrponton László Krisztina

Aktív szenek vizsgálata kezeletlen minta SEI kezeletlen minta BEI László Krisztina

Aktív szenek vizsgálata László Krisztina