Készítette: Földváry Árpád e-mail: foldvary@eet.bme.hu 3. gyakorlat Készítette: Földváry Árpád e-mail: foldvary@eet.bme.hu

Litográfia Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Negatív litográfia Negatív lakk: A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva. UV fény Ábra a maszkon Előhívás után megmaradt lakk Megvilágított terület a lakkon Ablak Si szelet Lakk Oxid Árnyékolt terület a lakkon Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Pozitív litográfia Pozitív lakk: A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva. UV fény Előhívás után megmaradt lakk Ábra a maszk Árnyékolt terület a lakkon Ablak Si szelet Lakk Oxid photoresist silicon substrate oxide Megvilágított terület a lakkon Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Fotolitográfia lépései UV fény Maszk  4) Pozícionálás, megvilágítás 1) Nedvesség eltávolítása Lakk 2) Lakk felcentrifugálása 3) Beszárítás 6) Beégetés 5) Előhívás 7) Előhívás ellenőrzése Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Lakkfelvitel eszközei Y X q 4 dimenzióban mozgatható fúvóka Lakk adagoló fúvóka Lakk áramlás Áramló levegő Szelet Rozsdamentes acél tál Vákuumos szelettartó Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás (EBR) Levegő elszívás Maradék lakk elvezetése Motor Vákuum Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Fotolitográfiai gyártósor Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Vákuumtechnika Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Vákuumrendszer általános felépítése Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú Szívási sebesség 1-300m3/óra Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú) Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Elővákuum mérése: Termopár Mérési elv a hővezetésen alapul Méréshatár: 0,001mbar Szál elkoszolódhat, kiéghet Lassú Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Elővákuum mérése: Pirani mérő Legelterjedtebb Méréshatár: 2-0,001mbar Gyors W szál elkoszolódhat, kiéghet Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú Nagyon elterjedt Egyszerű felépítés Könnyen tisztítható, javítható Szívási sebesség mérettől függ: 100-10000 l/s Végvákuum: ~10-8 mbar Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú Nagyon elterjedt Szívási sebesség mérettől függ: 50-3500 l/s Végvákuum: ~10-10 mbar Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő Széles mérési tartomány: 10-2 – 10-10 mbar Egyszerű Kiéghet a fűtött katód Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő Nincs fűtött katód, nem éghet ki Kisebb pontosság Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Fémréteg leválasztási módszerek Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

CVD (Chemical Vapor Deposition) 1) Reagens felhő CVD reaktor Gáz befújás 7) Melléktermékek deszorpciója 8) Melléktermék eltávolítás 2) Előreakciók Melléktermék Elszívás 3) Gáz molekulák diffúziója 5) A vegyület bediffundál a hordozóba 6) Felületi reakciók Vékony réteg 4) Vegyület abszorpciója Hordozó Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) Három zónás fűtés Nyomás mérő Kifújás a vákuum szivattyúhoz Gáz bemenet Termoelemek Termoelemek Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Katódporlasztás Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Vákuumgőzölés Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Vákuumgőzölés módjai A gőzölés történhet: Huzalról Tégelyből Csónakból Elektron sugárral A tartó anyaga lehet: Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo). Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Elektronsugaras gőzölés http://www.ett.bme.hu/vlab/start.html Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Vákuumgőzölő Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Kontaktusréteg kialakítása Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Kontaktus réteg a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg leválasztással Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat

Eltemetett vezetőréteg Földváry Árpád Napelemek - 3. gyakorlat