XPS – röntgen gerjesztésű fotoelektron spektroszkópia Az anyag felületi rétegének (0-30-100 nm) roncsolásmentes vizsgálata
Energia eltolódás (néhány eV) Csúcsok energiája Milyen anyagok vannak a felületen Energia eltolódás (néhány eV) Kémiai környezet, kötés A csúcsok területének aránya (intenzitás) Összetétel (illesztés szükséges) Rétegvastagság (Szögfeloldású XPS) A spektrum alakja Elektronszerkezeti információk A gerjesztett atomok szerkezetéről A szilárd minta szerkezetéről Rétegvastagság meghatározás
Feladat: a spektrumok menetének összehasonlítása 07_010_n; 07_010, 7nm Ni, 150nm Au, norm. emission 10_017_n, 10_017 05_034_n 10_019_n 10nm Ni, 150nm Au, vékony, felületi réteg Vízszintes tengely (eV) Függőleges: Beütés (beütés) db elektron/elektronvolt Intenzitás: Összes beütés: a spektrum alatti terület Van-e konstans háttér, ha van, kivonni 1-re normált-e a terület, ha nem, egyre normálni! egymásra tenni a spektrumnokat! Vessük össze az Au 4d csúcsok alakját!
Háttérkorrekció: A fotoelektron energia-veszteségének figyelembe vétele A rétegvastagság paraméter
Scanning Tunneling Microscopy (STM) Korszerű felületvizsgálati technika 1981 – a cikk 1986 Nobel díj Binnig, Rohrer Alagúthatás Labda a gödörben Kvantumfizika A berendezés lényege Vékony tű tapogatja le a mintát A mintából az alagúthatás révén a tűre jutnak az elektronok Atomi felbontású kép készíthető a felszínről