BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Kiválasztás (N,A,sorszam) i := 1 Ciklus amíg (A(i) nem T) i := i+1 Ciklus vége sorszam := i Eljárás vége Kiválasztás.
Advertisements

Öntisztuló felületek Tőkés Réka XII. A Bolyai Farkas Elméleti Líceum
Szilícium plazmamarása Készítette: László SándorBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely Tanára:Szász ÁgotaBolyai Farkas Elméleti Líceum Marosvásárhely.
A monolit technika alaplépései
Vékonyréteg Si napelemek, technológia fejlesztési irányok.
Rekonstrukció bizonytalan vetületekből
Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC Okt 18. BME.
Folyadékkristályos kijelzők: Folyadékkristály rétegek
Rétegmegmunkálás marással
Holografikus adattárolásban alkalmazott fázismodulált adatlapok kódolása kettőstörő kristály segítségével Sarkadi Tamás 5.évf. mérnök-fizikus hallgató.
A talajok mechanikai tulajdonságai V.
Határfelületi jelenségek kerámia, porcelán termékek mázazásakor PUSKÁS Nikoletta Témavezető: Dr. GÖMZE A. László Miskolci Egyetem Műszaki Anyagtudományi.
Elképesztő csíkos jéghegyek.
Elképesztő csíkos jéghegyek.
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
Szén erősítésű kerámia kompozitok és grafit nanoréteg előállítása
1 Pórusos szilícium struktúra kialakítása Bedics Gábor Ciszterci Rend Nagy Lajos Gimnáziuma, Pécs.
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
Gázérzékelők, mikro méretű eszközök kutatása és fejlesztése
Rideg anyagok tönkremenetele Ván Péter BME, Kémiai Fizika Tanszék
II. főtétel általánosan és egységesen? Stabilitás és folyamatok
1 Mikrofluidika DIGITÁLIS és FOLYTONOS MIKROFLUIDIKA Szuperhidrofób felületek kialakítása és Áramlási folyamatok vizsgálata mikrorendszerekben (keveredés.
Elektronikus Eszközök Tanszék
(Mikrokalorimetria) q: immerziós hő
(Mikrokalorimetria) q: immerziós hő
MFA Nyári Iskola június Ádám Andrea 1 FOTÓLITOGRÁFIA Ádám Andrea Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők: Vázsonyi Éva,
SiC szemcsék TEM vizsgálata Si hordozón Készítette: Bucz Gábor, Földes Ferenc Gimnázium Tanára: dr. Zsúdel László, Földes Ferenc.
Súrlódási jelenségek vizsgálata (Tribológia)
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
Mikroelektronikai szeletkötések Nyári Iskola Készítette: Kovács Noémi Mentor: Kárpáti Tamás 2010.
Nagyfelbontású transzmissziós elektronmikroszkópia
MFA Nyári Iskola június Horváth András Zoltán 1 MIKROFLUIDIKA Horváth András Zoltán Tamási Áron Elméleti Líceum, Székelyudvarhely Témavezetők:
ZnO réteg adalékolása napelemkontaktus céljára
Mikroelektronika szeletkötések kialakítása és vizsgálata Készítette: Szele Dávid Témavezető:Kárpáti Tamás MFA nyári iskola
Hősugárzás vizsgálata integrált termoelemmel
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
Fotolitográfia a nanoelektronikában
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Technológia: alaplépések,
Monolit technika MOS technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
Mikroelektronikába: technológiai eljárások
Megalehetőségek a nanovilágban
Többszintű Tenyéralapú Biometrikus Azonosító Rendszer
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 11.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke 1. zárthelyi megoldásai október 10.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306 Technológia: alaplépések,
Szén nanoszerkezetekkel erősített szilícium nitrid alapú kerámiák vizsgálata Berezvai Orsolya Témavezető Dr. Tapasztó Orsolya Vékonyréteg-fizika osztály.
Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány
Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
7. Litográfiai mintázatkialakítási eljárások. Nedves kémiai maratás.
a laboratórium egy chipen?
Nagyfeloldású Mikroszkópia Dr. Szabó István 9. Litográfia TÁMOP C-12/1/KONV projekt „Ágazati felkészítés a hazai ELI projekttel összefüggő.
Az integrált áramkörök gyártása. Mi is az az integrált áramkör?  Több, néha igen sok alapelemet tartalmazó egyetlen, nem osztható egységben elkészített.
Ellipszometria laboratórium Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium Székesfehérvár Kopacz.
Ellipszometria laboratórium ELLIPSZOMETRIÁS MÉRÉSEK Fehérjerétegek előállítása és optikai minősítése Előadók:Kiss Benjamin Ciszterci Szent István Gimnázium.
Napelemek laboratórium 1. gyakorlat
Pt vékonyrétegek nanomintázása
Fotonikus kristályok előállítása és vizsgálata
Elképesztő csíkos jéghegyek.
ADSZORPCIÓS MŰVELETEK
a laboratórium egy chipen?
a laboratórium egy chipen?
Elképesztő csíkos jéghegyek.
MOS technológia Mizsei János Hodossy Sándor BME-EET
2. A számító- gépes grafika eszközei
Rideg anyagok tönkremenetele Ván Péter BME, Kémiai Fizika Tanszék
A talajok mechanikai tulajdonságai V.
Előadás másolata:

BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás

Mi is az a lótusz-effektus? Biomimetika – a „természet utánzása” Lótuszvirág Lehetőség: öntisztuló felületek (Barthlott & Ehler, 1977) Pl. szélvédő, textilek, napelemek Mi okozza? Mikro-nanostrukturáltság oszlopocskák viaszos réteggel borítva Hogyan? Kontaktszög Két egyensúlyi állapot: Wenzel Cassie-Baxter

 

Mesterséges megvalósítás – Laboratóriumban Szilícium szeleten vékonyréteg mikromegmunkálással Maszktervezés Litográfia 3D marás: izotróp/anizotróp Anizotróp marások: Irányszelektív marás a. NaOH+hipó 0 fok, 45 fok maszk orientáció b. DRIE – Mély Reaktív Ionmarás Szuperhidrofób felület feltétele: Strukturált, hidrofób réteg (C4F8)

Mintapreparáció Litográfiás maszk 1. Fotolitográfia Fotoreziszt SiO2 2. Oxidmarás Tömény HF NaOH + hipó DRIE – Mély Reaktív Ionmarás 3. Lúgos marás / DRIE

Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk Fénymikroszkópos kép Elektronmikroszkópos kép Lúgos marás, 0 fokban elforgatott maszk Lúgos marás, 45 fokban elforgatott maszk DRIE – Mély Reaktív Ionmarás

Hidrofób réteg szerepe        

Kontaktszög – oszloptávolság összefüggése DRIE - mart    

BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS Nedvesítési tulajdonságok vizsgálata mikromegmunkált szilícium vékonyrétegeken Köszönöm a figyelmet! Köszönöm a MEMS Labor minden dolgozójának segítőkészségét! Borsay Zsuzsanna Tamási Áron Elméleti Liceum, Székelyudvarhely Témavezetők: dr. Fürjes Péter, Fekete Zoltán, Pardy Tamás