Vékonyréteg Si napelemek, technológia fejlesztési irányok.

Slides:



Advertisements
Hasonló előadás
Semmelweis Egyetem, Fogorvostudományi Kar, Oktatási Centrum
Advertisements

Az optikai sugárzás Fogalom meghatározások
Tallósy Szabolcs Péter, Dr. Janovák László, Prof. Dr
PowerPoint animációk Hálózatok fizikai rétege
Vékonyrétegek jelentősége, alkalmazásai
Sugárzás kölcsönhatása az anyaggal Készítette: Fehértói Judit (Z0S8CG)
5. GÁZLÉZEREK Lézeranyag: kis nyomású (0, Torr) gáz, vagy gázelegy Lézerátmenet: elektronszintek között (UV és látható lézerek) rezgési szintek.
Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC Okt 18. BME.
Félvezető fotodetektorok és napelemek elmélete és gyakorlati megvalósítása 2 dr. Mizsei János, 2006.
MOS integrált áramkörök alkatelemei
VLSI áramkörök Gyártástechnológiai újítások Készítette: Borbíró Péter Czett Andor.
Dr. Mizsei János előadásai alapján készítette Balotai Péter
CMOS technológia a nanométeres tartományban
Vékonyfilm nm körüli vastagság ultravékonyfilm - 1 nm körüli vastagság CVD (chemical vapour deposition) kémiai gőz leválasztás LPD (laser photo-deposition)
HŐSUGÁRZÁS (Radiáció)
Agrár-környezetvédelmi Modul Vízgazdálkodási ismeretek KÖRNYEZETGAZDÁLKODÁSI MÉRNÖKI MSc TERMÉSZETVÉDELMI MÉRNÖKI MSc.
VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Készítette: Dénes Karin (Ipolyság) és Patyi Gábor (Szabadka)
1 Mikrofluidika Atomi rétegleválasztás (ALD) Készítette: Szemenyei F. Orsolya Témavezető: Baji Zsófia
Fényszórás (sztatikus és dinamikus) Ülepítés gravitációs erőtérben
Ülepítés gravitációs erőtérben Fényszórás (sztatikus és dinamikus)
LÉZEREK MŰSZAKI ÉS ORVOSI ALKALMAZÁSAI
Cellulóz-acetát lágyítása ε-kaprolaktonnal Katalizátortartalom hatása a lágyításra Készítette: Kiss Elek Zoltán Témavezető: Dr. Pukánszky Béla Konzulens:
Lézerspektroszkópia Előadók: Kubinyi Miklós Grofcsik András
Geotermikus energia hasznosítása
5. GÁZLÉZEREK Lézeranyag: kis nyomású (0, Torr) gáz, vagy gázelegy Lézerátmenet: elektronszintek között (UV és látható lézerek) rezgési szintek.
Kubinyi Miklós ) Lézerspektroszkópia Kubinyi Miklós )
Vékonyréteg szerkezetek mélységprofil-analízise
STACIONÁRIUS RÉSZECSKETRANSZFER SZIMULÁCIÓJA MONTE CARLO ALAPOKON Kristóf Tamás Pannon Egyetem, Kémia Intézet Fizikai Kémia Intézeti Tanszék „Szabadenergia”
Móra Ferenc Gimnázium (Kiskunfélegyháza)
BIOMIMETIKA – LÓTUSZ-EFFEKTUS
Szuperhidrofób felületek kialakítása mikromegmunkálással
ZnO réteg adalékolása napelemkontaktus céljára
Kártyás Bálint MFA nyári iskola Puskás Tivadar Távközlési Technikum
Megújuló energiaforrások – Lehetőségek és problémák
Maszkkészítés Planár technológia Kvázi-sík felületen
MIKROELEKTRONIKA, VIEEA306
Kémiai leválasztás gőzfázisból (CVD) Mizsei János 2013.
Félvezető napelemek elmélete és gyakorlati megvalósítása (Bevezetés) Habilitációs előadás dr. Mizsei János, 2003.
Félvezető fotodetektorok és napelemek elmélete és gyakorlati megvalósítása (Bevezetés) Habilitációs előadás dr. Mizsei János, 2003.
Fehérjerétegek leválasztása és vizsgálata Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet (MTA-MFA), Budapest Lovassy László Gimnázium, Veszprém Janosov.
Lesz-e szilíciumon világító dióda?
Megalehetőségek a nanovilágban
IC gyártás Új technológiák. 2 Strained Silicon (laza szilícium)
Kutatóegyetemi stratégia - NNA NANOFIZIKA, NANOTECHNOLÓGIA és ANYAGTUDOMÁNY Dr. Mihály György Tanszékvezető egyetemi tanár Budapest november 17.
Kutatóegyetemi stratégia - NNA FELÜLETI NANOSTRUKTÚRÁK Dr. Harsányi Gábor Tanszékvezető egyetemi tanár Budapest november 17. Nanofizika, nanotechnológia.
Aktív nanoszerkezetű anyagok
SZERKEZETI ÉS FUNKCIONÁLIS ANYAGOK Polimer nanokompozitok
Nanoelektronika Csonka Szabolcs Fizika Tanszék, BME
SZERKEZETI ÉS FUNKCIONÁLIS ANYAGOK Polimer mátrixú nanokompozitok
Napenergia és felhasználása
Optomechatronika II. Vékonyrétegek - bevonatok
Optomechatronika II. Vékonyrétegek - bevonatok
FÉNY ÉS ELEKTROMOSSÁG.
Nanotechnika az iparban és az autóiparban
Optikai koncentráció félvezető napelemekhez Fogalma A hatásfok javulásának eredete A koncentrátorok gyakorlati megvalósítási lehetőségei Példák.
Polimer elektronika Alapanyagok Kis szerves molekulák Polimerek
Optikai lemezek jellemzői, típusai
Készítette: Baricz Anita - Áprily Lajos Főgimnázium, Brassó Gréczi László – Andrássy Gyula Szakközépiskola, Miskolc Csoportvezetők:dr. Balázsi Katalin.
Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány
Ipari vékonyrétegek Lovics Riku Phd. hallgató.
Fő alkalmazási területek
Fotonika Vékonyrétegek - bevonatok
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke Minőségbiztosítás a mikroelektronikában A monolit technika.
Egykristályok előállítása
A tüzelőanyag cella, mint az energia tárolás és hasznosítás eszköze Készítette: Nagy Linda Konzulens: Dr. Kovács Imre.
Napelemek laboratórium 1. gyakorlat
Nanotechnológiai kísérletek
Direct Metal Laser Sintering – DMLS Fémporok lézeres szinterezése
Előadás másolata:

Vékonyréteg Si napelemek, technológia fejlesztési irányok

CÉL: GYÁRTÁSI KÖLTSÉGEK CSÖKKENTÉSE (0.6$/Wp ) Eszközök: • munkaerő csökkentése – automatizálás • kapacitás növelése • fajlagos beruházási költség csökkentése • hatásfok és kihozatal növelése – technológia fejlesztés • anyagköltség csökkentése

NAGYOBB KAPACITÁSÚ, AUTOMATIZÁLT GYÁRTÓSOR

SAM MWp/év gyártósor (6% stab. hatásfok)

SAM-840 TCO 36MWp/év gyártósor (6% stab. hatásfok)

HATÁSFOK NÖVELÉSE ÉS ANYAGKÖLTSÉG CSÖKKENTÉSE

LEHETŐSÉGEK: 1/ Fény hasznosítása Fehér üveg („low iron glass” v.„white glass”) 7-8%-kal nagyobb transzparencia a 400nm -1100nm tartományban még drága -üveggyár TCO • Transzparencia • Fénycsapdázás sokszoros belső reflexió • Előállítási költség vásárolt TCO-s üveg vs. helyszíni előállítás ARC • Leválasztott réteg Nanotechnológia •Nanostrukrurált üveg •Nanostrukturált TCO •Nanokristály QD

LEHETŐSÉGEK: 2/ Abszorber réteg (Si) α-Si /µc-Si (micromorph® ) • felső dióda α-Si 1,75eV • alsó µc-Si 1,1eV • triple junction •Diódák illesztése •α-Si degradáció vs. vastagság •Vastagság vs. fényabszorpció Rétegek tulajdonsága: •Egyenletesség (m 2 !) •Rétegleválasztási sebesség •Szennyezés, •H-passziválás α-Si • Single – junction • Double junction •Sávszélesség – abszorpció •Diódák illesztése •Degradáció vs. vastagság •Vastagság vs. fényabszorpció

α-Si kettős átmenet α-Si/µ-Si tandem

T=76-80% normál üveg, ˇ~90% low iron glass (<100ppmFe x O y ) ÜVEG

Üveg ARC TCO α-Si v. µ-Si kontaktus FÉNY HASZNOSÍTÁSA

TCO - SnO 2 :F Felület strukturálása – diffúz transzmisszió Asahi TCO (SnO 2 :F) a: standard (U-type), b:kettős struktúráltságú c,d: kettős struktúráltságú struktúrált űveghordozón. →5-20%-kal nagyobb fényút a Si-ban

TCO - ZnO:Al, ZnO:B ZnO vs. SnO 2 : • Kisebb α (λ > 400nm) • Nagyobb kémiai stabilitás H 2 plazmában • beállítható felületi érdesség • alacsony T dep Leválasztási technikák • porlasztás ZnO:Al-ból (+ HCl-es visszamarás) • reaktív porlasztás (+ HCl-es visszamarás) • LPCVD ZnO:Al/B In-situ érdesség • PECVD ZnO:/Al/B

LPCVD ZnO

ABSZORBER – Si Tandem cella: • + U oc, - I sc, → • vékonyabb rétegek, kisebb degradáció (Staebler-Wronski) • Két dióda közötti kontaktus : tunnel recombination, illesztés • Band gap: a-Si ~1,75eV, a-SiGe 1,3-1,5eV (Ge tartalom), u-Si, 1,1eV → a spektrum nagyobb része hasznosul • 1-2%-kal nagyobb hatásfok Nehézségek: •bonyolultabb technológia, •hosszabb leválasztási idő, •drága GeH 4

Tandem cella • α-Si:H/µ-Si:H (IMT) Optimális működés feltételei: µ-Si:H: kis α (λ =1,1-1,7 µm )→ nagy fényút → 8-10 µm → irreális leválasztási idők (v dep, µ-Si <1/2 v dep a-Si ) anyagfelhasználás és beruházás („cluster tool” típusú PECVD reaktor) Megoldás: • TCO érdesítése, szórt fény arány növelése → ~ 1,5-2 µm µ-Si • µ-Si leválasztási paraméterek v dep : 5-10 A/sec • és reaktortípus: lehetőleg egykamrás rendszer Üveg ARC TCO α-Si µ-Si kontaktus Tandem cella áramkorlátja: α-Si:H vs. degradáció → minél vékonyabb α-Si:H → köztes reflektor alkalmazása

Tandem cella • α-SiC:H/α-Si:H • α-Si:H/µ-Si:H (IMT)

NANOTECHNOLÓGIAI ÍGÉRETEK NANOSTRUKTURÁLT ÜVEG • antireflexió Θ>150 o, - szuperhidrofób felület • öntisztuló felület Molylepke szeme: nm-es tartományban periodikus strukturáltság → ARC széles hullámhossz tartományban Előállítási technika: nagy sebességű/teljesítményű laser SiOx nanoszemcsék sol-gel leválasztása Várt eredmény 20-25%-kal nagyobb fényhasznosítás

NANOTECHNOLÓGIAI ÍGÉRETEK Sno 2 :F ZnO NANOSTRUKTURÁLT TCO Szórt fény arányának növelése → megnövelt úthossz a Si-ban, → vékonyabb Si réteg, α-Si és α-Si/µ-Si-nál egyaránt Technológia: SnO 2 :multistep CVD+ plazmás visszamarás ZnO: - „litográfia”+hidrothermal dep v. akt.centrum + CVD (bottom up -laser interferencia marás (top down)

NANOTECHNOLÓGIAI ÍGÉRETEK „QUANTUM DOT – UPCONVERSION” α-Si α-Si/µ-Si Multiple exciton generation • NaYF 4 :Er X IR → látható emisszió 4,3nm az ideális méret Si-ra Sol-gél technika (Technion) PbSe PbSe 1-x S x • IR lumineszcencia

Technológia fejlesztési terv R & D Technológia Q1Q2Q3Q4Q1Q2Q3Q4Q1Q2Q3Q4 α-Si tandemeff. 7%+ mirokristalyos-Sieff. 8%eff. 10+% ZnO TCOPorlasztott és LPCVD BIPV, színes„tetszőleges” szín fényszűrő vékonyrétegek BIPVNem átlátszó és, semi-transzparens - ábra semi transzparens-TCO automatizálássemi→full

„ÚJGENERÁCIÓS, KÖRNYEZETBARÁT VÉKONYRÉTEG NAPELEMEK” TECH08-2 Célok: • laboratórium • α-Si: min. 7% • mikrokristályos Si technológia – egykamrás megoldás • a-Si/u-Si : 8%+ • ZnO TCO (porlasztott és CVD) • BIPV, színezett napelem Konzorcium: OPTILAB Kft. Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet MTA Atommagkutató Intézete