Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.

Az előadások a következő témára: "Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems."— Előadás másolata:

1 Elektronikus Eszközök Tanszék 1999 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems

2 Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

3 Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200  m, vastagság 3-4  m HOGYAN KÉSZÜL?

4 A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függõ, szelektív marás A felület: sík sík síkok síkok

5 Alkalmazás: gyorsulásmérõ, rezgésmérõ Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelõ (hídkapcsolásban)

6 A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO 2 a poli alatt

7 Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat

8 Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

9 Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés

10 Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés

11 Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor

12 A mikro-motor légrése és csapágyazása

13 A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, elõhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!

14 Elektrosztatikus mozgatás: billenõtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System