Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems.

Az előadások a következő témára: "Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems."— Előadás másolata:

1 Elektronikus Eszközök Tanszéke 2003 INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems

2 Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

3 Egy “befüggesztett” elem Funkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200  m, vastagság 3-4  m HOGYAN KÉSZÜL?

4 A front-oldali megmunkálás Kristálytani iránytól függõ, szelektív marás A felület: sík sík síkok síkok

5 Alkalmazás: gyorsulásmérõ, rezgésmérõ Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelõ (hídkapcsolásban)

6 Gyorsulásmérő Szeizmikus tömeg

7 A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO 2 a poli alatt

8 Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat

9 Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

10 Elektrosztatikus mozgatás: elmozdulás keltés “comb-drive”

11 Elektrosztatikus mozgatás comb-drive

12 Elektrosztatikus mozgatás: szögelfordulás keltés

13 Elektrosztatikus mozgatás: mikro-motor

14 A mikro-motor légrése és csapágyazása

15 Mikro-manipulátorok

16 Mikro-manipulátorok a meghajtás

17 Elektro-mechanikus kapcsoló (mikrohullámú hullámvezetőben)

18 Elektrosztatikus mozgatás: billenõtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System

19 Digital Micromirror Device (DMD) Árnyalatos kép: impulzus szélesség modulációval

20 Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör Torziós függesztés, a tükör nélkül

21 Digital Micromirror Device (DMD) Pl. 640x480 vagy 1280x1024 tükör A tokozott chip

22 Optikai kapcsolók (elektro-sztatikusan mozgatott mikrotükrök)

23

24

25

26 A LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, elõhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!