Előadást letölteni
Az előadás letöltése folymat van. Kérjük, várjon
KiadtaZsigmond Gulyás Megváltozta több, mint 10 éve
1
A főzőedénytől a nanoméretű eszközig: lépések a nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása felé Szemes Gábor Bence Garay János Gimnázium, Szekszárd MTA-MFA Nyári iskola ‘10 MFA mentor: Nguyen Quoc Khánh
2
Hova kerültem? MTA MFA - Kerámia és Nanokompozitok Osztály Milyen témához? ZnO nanoszál alapú bioszenzor megvalósítása MTA-MFA Nyári iskola ‘10
3
Hogy néz ki az ilyen bioszenzor? MTA-MFA Nyári iskola ‘10 Amikor a detektálandó részecske rátapad a szálra, a szál ellenállása megváltozik! Detektálandó biorészecske Fogó (receptor) Kontaktus ZnO nanoszál
4
Növesztés Oldat: Zn nitrát vizes oldata Szubsztrát: Si/ZnO T:95C t:13h
5
1 mmol 5 mmol 20 mmol
7
5 mmol
8
1 mmol
9
Rázás Ultrahang Etil alkohol
10
Szálainkat rácseppentése a chipre
11
Szálaink keresése a LEO-ban
12
ZnO nanoszál Si SiO 2
13
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
14
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
15
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
16
Si ZnO nanoszál Rezisztréteg Fém SiO 2
17
ZnO nanoszál Rezisztréteg Fém Aceton Si SiO 2
18
Fém ZnO nanoszál Si SiO 2
19
Reziszt réteg feltétele
20
Kontaktustervezés
21
Elektronnyalábos litográfia
22
Rezisztréteg előhívás után
23
ZnO nanoszál Rezisztréteg Si SiO 2
24
Fémezés
25
Acetonfürdő (Lift-off) Idő híjján elmaradt
26
Élményeim Jó volt!
27
Köszönöm Dr. Nguyen Quoc Khanh mentoromnak munkavezetésért Dr. Lukács Istvánnak SEM képekért és elektronnyalábos litográfiában nyújtott segítségéért Dr. Molnár Györgynek a fémréteg párologtatásáért Dr. Daróczi Csabának a nyáriiskola szervezéséért MFA vezetőségének a lehetőségért, hogy itt lehettem És mindazoknak akik segítettek
28
Köszönöm a figyelmet
Hasonló előadás
© 2024 SlidePlayer.hu Inc.
All rights reserved.